本发明专利技术提供一种结构简单，转换效率高量子效率高，能够显著提高短路电流，开路电压没有明显降低，电池效率高的硅基薄膜太阳能电池及其制备方法。所述硅基薄膜太阳能电池，包括在硅基薄膜太阳能电池p/i层或n/i层界面±10nm范围内分布的金属纳米颗粒。所述的其制备方法，将基底在等离子增强化学气相沉积设备中，分步进行薄膜太阳能电池的n层、i层和p层沉积；并在电池的p/i层界面或者n/i层界面中制备金属纳米颗粒；最后沉积ITO电极得到硅基薄膜太阳能电池。通过在硅基薄膜太阳能电池单个层间界面处加入金属纳米颗粒，通过金属纳米颗粒产生量子限域效应，使得反射率下降，量子效率明显改善，短路电流密度提高了9.5％。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，包括在硅基薄膜太阳能电池p/i层或n/i层界面±10nm范围内分布的金属纳米颗粒(1)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘生忠，贾露建，
申请(专利权)人：陕西师范大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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