柱状隔垫物的对位标识的制备方法和精度检测方法技术

本发明专利技术公开了一种柱状隔垫物的对位标识的制备方法和精度检测方法，属于液晶技术领域。所述方法包括：制备彩色滤光片的过程中，在制作黑矩阵层时，在基板上制备至少一个第一亚像素开口区域和多个第二亚像素开口区域，其中，所述第一亚像素开口区域的尺寸小于所述第二亚像素开口区域；在制作彩色膜层RGB层时，将所述至少一个第一亚像素开口区域上彩色膜层的尺寸制作成小于所述多个第二亚像素开口区域上彩色膜层的尺寸；在所述RGB层上制备平坦层；在所述平坦层上制作柱状隔垫物层时，在所述至少一个第一亚像素开口区域周围的指定位置，制作对位标识。本发明专利技术可以实现对柱状隔垫物位置精度的检测，从而实现对层间位置精度的精确管控。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶
，特别涉及一种。
技术介绍
彩色滤光片是液晶技术中的重要部分。彩色滤光片的结构主要包括基板、黑矩阵、彩色膜层、保护膜层和柱状隔垫物膜层构成。目前彩色滤光片仍通过接近式曝光工艺形成，膜层间的位置精度直接影响着彩色滤光片的品质，尤其对于柱状隔垫物层，因在与TFT对盒中，其设计往往与TFT相应位置对应，且精度要求很高。对于常规尺寸产品(显示区域尺寸小于掩膜板尺寸)，在每个曝光单元曝光时，往往在其周边(显示区域外)制作一组位置精度检测标识，从而精确管控各工序间的位置精度。然而，随着产品尺寸的增大，拼接曝光技术的应用越来越多。对于超大尺寸产品(显示区域尺寸大于掩膜板尺寸)，其显示区域往往需多个曝光单元拼接曝光完成制作，由于掩膜板尺寸小于显示区域尺寸，则将无法在每个曝光单元曝光时制作位于显示区域外的位置精度检测标识。而进一步地，由于每个曝光单元无法将所有位置精度检测标识都制作于显示区域外，因此，无法精确管控各工序间的位置精度。出现位置偏差时(显微观察发现)，无法测量快速补正位置精度。
技术实现思路
为了解决现有技术的问题，本专利技术实施例提供了一种。所述技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柱状隔垫物的对位标识的制备方法，其特征在于，所述方法包括：制备彩色滤光片的过程中，在制作黑矩阵层时，在基板上制备至少一个第一亚像素开口区域和多个第二亚像素开口区域，其中，所述第一亚像素开口区域的尺寸小于所述第二亚像素开口区域；在制作彩色膜层RGB层时，将所述至少一个第一亚像素开口区域上彩色膜层的尺寸制作成小于所述多个第二亚像素开口区域上彩色膜层的尺寸；在所述RGB层上制备平坦层；在所述平坦层上制作柱状隔垫物层时，在所述至少一个第一亚像素开口区域周围的指定位置，制作对位标识。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎敏，姜晶晶，肖宇，李晓光，杨同华，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11