本实用新型专利技术提供一种超纯氨中痕量水测定用气体调制装置，所述装置包括依次连接的超纯氮吹扫气瓶接头、第一内抛光管、压力调节器、波纹调节阀、气体过滤器和接水分析仪进口的接头，在第一内抛光管上并联有高压隔膜阀，在压力调节器与波纹调节阀之间通过第二内抛光管连接有超纯氨被测气瓶的接头。该超纯氨中痕量水测定用气体调制装置具有缩短了分析检测时间，应用该装置后，减少了进样调制系统的吹扫时间，检测一瓶(罐)氨样，从原来5-6h缩短到2h左右，大大提高了工作效率；在装卸被测的超纯氨样品瓶或超纯氮吹扫气瓶时，防止了大气对气体调制系统的污染，大大减少样品气或吹扫气的消耗，节约成本；流程简单，操作方便，测值可靠，安全实用。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及高纯氨和超纯氨检测设备
，具体地说，涉及一种超纯氨中痕量水测定用气体调制装置。
技术介绍
高纯氨和超纯氨是电子工业中太阳能电池，发光二级管和液晶显示器等元器件生产中一种重要的电子气体。对于半导体器件生产所用的电子气体中，水是严重影响产品质量的有害杂质之一，据报导，在气体中只要含有十亿分之几(PPb级)的水含量，就可以使硅片上出现瑕疵，因此严格监控电子气体中的水含量是保证半导体器件产品质量的关键，所以电子气体中痕量水的检测是生产中必不可少的一道工序。经过相关领域技术人员多年的技术攻关，已有多家企业可自行生产纯度为99.9995%的电子级氨和纯度不小于99.99994%的光电子级氮，随着电子工业用氨量的增力口，当前急需解决氨中痕量水快速准确测定的方法及技术。电子工业用氨中国国家标准规定，纯度为99.9995%的电子级氮中允许水含量<3X 1^6VA,纯度小于等于99.99994%的光电子级氨中允许水含量〈0.2X 10_6V/V，最近国际上出现纯度为99.99999%的氨中允许的水含量〈0.1X10_6V/V。我国国标规定产品出厂时，必须要测定氨中痕量水。用水分仪测定氨中痕量水，由于要测的水含量已不大于lOOppb，尽管中国国内所用的检测仪器都是从国外进口的，但把检测系统内的水含量吹扫到PPb级，费气、费时、费钱，欲检测一瓶(罐)超纯氨产品中的水，往往需几小时或更长，满足不了生产之需。现有技术中，电子工业用氨的生产厂或使用单位测定氨中痕量水时，大都采用的水分仪，如HALO-LP型光腔衰荡光谱仪或DF-740型可调谐激光二级管吸收光谱仪，由使用单位自行配套氨中痕量水测定的进样用气体调制装置。图1为通用的氨中痕量水测定单点进样气体调制系统工艺流程图，图中I为超纯氮吹扫气瓶或被测超纯氨气瓶的G 5/8"接头；2为高压手动隔膜阀；3为压力调节器；4为4UW型波纹调节阀；5为气体过滤器；6为接水分析仪进口的1/4” VCP接头。测定时，先将超纯氮吹扫气接到标号为I的G 5/8"接头上吹扫整个气体调制系统及水分仪，当吹扫气流量为1000ml/min，大约吹扫12h后，整个系统水含量可吹扫到10ppb左右，拆卸超纯氮吹扫气瓶后，在标号I的G 5/8〃接头上接上被测的超纯氨气瓶，调流量，通氨检测，由于吹扫气与被测气换瓶拆装过程中，气体调制系统会进入大气，需再次吹扫系统。用这样进样调制流程进行一次氨气瓶(罐)检测，大约需5-6h左右。图2为通用的氨中痕量水测定另一种单点进样气体调制装置工艺流程图，图中除增加一条与超纯氮吹扫气瓶接口并联的被测超纯氨气瓶G 5/8"接头7外，其它都和图1相同。测定完一瓶(罐)氨样需换另一瓶(罐)被测氨样时，可以在超纯氮气吹扫情况下换，十分方便。欲换超纯氮吹扫气瓶时，则需停止分析操作，关氨瓶(罐)瓶阀，换瓶拆装过程中，气体调制系统会进大气，再次测定时还需花一定时间吹扫系统。用图2的工艺流程检测一个氮样，大约需4h左右。
技术实现思路
为了克服上述技术问题，本技术提供了一种可实现快速检测的超纯氨中痕量水测定用气体调制装置。为了实现上述目的，本技术提出了一种超纯氨中痕量水测定用气体调制装置，其特征在于，所述装置包括依次连接的超纯氮吹扫气瓶接头、第一内抛光管、压力调节器、波纹调节阀、气体过滤器和接水分析仪进口的接头，在第一内抛光管上并联有高压隔膜阀，在压力调节器与波纹调节阀之间通过第二内抛光管连接有超纯氨被测气瓶的接头。其中优选的技术方案是，所述超纯氮吹扫气瓶接头与超纯氨被测气瓶接头的尺寸为 G5/8”。优选的技术方案还有，所述第一内抛光管、第二内抛光管为316L型不锈钢制成的内抛光管。优选的技术方案还有，所述压力调节器为316L型不锈钢制成的压力调节器。优选的技术方案还有，所述波纹调节阀为4UW型无填料污染的波纹调节阀。进一步优选的技术方案还有，所述气体过滤器为过滤0.003微米颗粒的气体过滤器。优选的技术方案还有，所述接水分析仪进口的接头的尺寸为1/4”的VCR接头。优选的技术方案还有，所述高压隔膜阀采用316L型不锈钢制成。进一步优选的技术方案还有，所述高压隔膜阀为高压手动隔膜阀。优选的技术方案还有，在所述压力调节器上连接有压力表。本技术的优点及效果在于:该超纯氨中痕量水测定用气体调制装置具有下述一些优点。1、缩短了分析检测时间，应用该装置后，减少了进样调制系统的吹扫时间，检测一瓶(罐)氨样，从原来5-6h缩短到2h左右，大大提高了工作效率；2、在装卸被测的超纯氨样品瓶或超纯氮吹扫气瓶时，防止了大气对气体调制系统的污染，大大减少样品气或吹扫气的消耗，节约成本；3、氨气是一种有毒气体，减少氨气吹扫系统的排放量，确保员工安全，避免污染环境;4、流程简单，操作方便，测值可靠，安全实用。【附图说明】图1为现有技术氨中痕量水测定进样用气体调制装置的结构示意图；图2为现有技术氨中痕量水测定进样用气体调制装置的另一种结构示意图；图3本技术超纯氨中痕量水测定用气体调制装置的结构示意图。图中:1、超纯氮吹扫气瓶接头；2、高压隔膜阀；3、压力调节器；4波纹调节阀；5、气当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种超纯氨中痕量水测定用气体调制装置，其特征在于，所述装置包括依次连接的超纯氮吹扫气瓶接头、第一内抛光管、压力调节器、波纹调节阀、气体过滤器和接水分析仪进口的接头，在第一内抛光管上并联有高压隔膜阀，在压力调节器与波纹调节阀之间通过第二内抛光管连接有超纯氨被测气瓶的接头。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘炜炜，蔡体杰，
申请(专利权)人：上海浦江特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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