本实用新型专利技术公开了一种测量设备，所述测量设备包括测量薄膜晶体管TFT像素区域尺寸的电耦合器件测量系统、驱动所述电耦合器件测量系统进行旋转的驱动器、以及控制所述驱动器进行驱动的控制模块。本实用新型专利技术的测量设备，能在测量复杂TFT像素结构时自动调整所述测量设备的测量结构，从而减小了对复杂TFT像素区域尺寸的测量误差。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液晶显示技术，尤其涉及一种用于测量TFT像素区域尺寸的测量 设备。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显不器（TFT-LCD，ThinFilmTransistorLiquidCrystal Display)具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。 而TFT-IXD包括阵列基板和彩膜基板。其中，在阵列基板的生产过程中，TFT像素 区域中各膜层的尺寸是非常重要的参数，如果制造出的尺寸与所设计的尺寸有偏差，很可 能导致TFT像素显示异常。因此，需要对TFT像素区域尺寸进行测量，如栅（Gate)线宽、数 据（Data)线宽、以及透明导电膜（ITO，IndiumTinOxides)层间距等，以确认各膜层的实 际尺寸是否满足设计要求。 但随着TFT像素结构的复杂化，如线宽越来越小，Gate线或Data线不再是横平竖 直方式，现有的用于测量TFT像素区域尺寸的测量设备，在测量时无法根据实际的TFT像素 设计结构进行调整，以横平竖直方式进行测量计算，如此，会增大测量的误差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种测量设备，能在测量复杂TFT像 素结构时自动调整所述测量设备的测量结构，减小对复杂TFT像素区域尺寸的测量误差。 为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的： 本技术提供了一种测量设备，所述测量设备包括：测量TFT像素区域尺寸的 电耦合器件（CCD，ChargeCoupledDevice)测量系统、驱动所述CCD测量系统进行旋转的 驱动器、以及控制所述驱动器进行驱动的控制模块； 其中，所述电耦合器件测量系统与所述驱动器相连接，所述驱动器与所述控制模 块相连接。 优选地，所述C⑶测量系统包括获取TFT像素区域图像的CXD相机、在所述TFT像 素区域图像中采集预测量的TFT像素区域尺寸所对应的图像的采集模块、以及根据采集的 测量的TFT像素区域尺寸所对应的图像计算所述预测量的TFT像素区域尺寸的图像处理模 块；其中，所述CCD相机与所述采集模块以及驱动器相连接；所述采集模块与所述图像处理 模块相连接。 优选地，所述电耦合器件相机与所述驱动器连接。 优选地，所述控制模块包括根据所述采集模块所采集的预测量的TFT像素区域尺 寸所对应的图像计算所述CCD相机待偏转角度的偏转角度计算模块、以及根据所述偏转角 度计算模块计算的待偏转角度控制所述驱动器的主控模块。【主权项】1. 一种测量设备，其特征在于，所述测量设备包括：测量薄膜晶体管像素区域尺寸的 电禪合器件测量系统、驱动所述电禪合器件测量系统进行旋转的驱动器、W及控制所述驱 动器进行驱动的控制模块； 其中，所述电禪合器件测量系统与所述驱动器相连接，所述驱动器与所述控制模块相 连接。2. 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述电禪合器件测量系统包括获取薄膜 晶体管像素区域图像的电禪合器件相机、在所述薄膜晶体管像素区域图像中采集预测量的 薄膜晶体管像素区域尺寸所对应的图像的采集模块、W及根据采集的测量的薄膜晶体管像 素区域尺寸所对应的图像计算所述预测量的薄膜晶体管像素区域尺寸的图像处理模块；其 中，所述电禪合器件相机与所述采集模块W及驱动器相连接；所述采集模块与所述图像处 理模块相连接。3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述电禪合器件相机与所述驱动器连接。4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述控制模块包括根据所述采集模块所 采集的预测量的薄膜晶体管像素区域尺寸所对应的图像计算所述电禪合器件相机待偏转 角度的偏转角度计算模块、W及根据所述偏转角度计算模块计算的待偏转角度控制所述驱 动器的主控模块。5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述偏转角度计算模块为根据公式 ^ =afclan^计算所述电禪合器件相机待偏转角度的偏转角度计算模块； 其中，0为电禪合器件相机待偏转角度，y为所述测量的薄膜晶体管像素区域尺寸所 对应的图像的宽度在y轴上的投影，X为所述测量的薄膜晶体管像素区域尺寸所对应的图 像的宽度在X轴上的投影。6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述主控模块为在所述偏转角度计算模 块确定所述电禪合器件相机待偏转角度不为0时，控制所述驱动器带动所述电禪合器件相 机旋转0角的主控模块。7.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述主控模块为在所述偏转角度计算模 块确定所述电禪合器件相机待偏转角度为0时，不驱动所述驱动器的主控模块。8.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述图像处理模块为在所述偏转角度计 算模块确定所述电禪合器件相机待偏转角度不为0时，根据所述电禪合器件相机旋转0角 后所述采集模块采集到的测量的薄膜晶体管像素区域尺寸所对应的图像计算所述预测量 的薄膜晶体管像素区域尺寸的图像处理模块。9.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述图像处理模块为在所述偏转角度计 算模块确定所述电禪合器件相机待偏转角度为0时，计算时所采用的测量的薄膜晶体管像 素区域的尺寸所对应的图像为所述采集模块最初采集的测量的薄膜晶体管像素区域尺寸 所对应的图像的图像处理模块。10. 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述驱动器为电机。【专利摘要】本技术公开了一种测量设备，所述测量设备包括测量薄膜晶体管TFT像素区域尺寸的电耦合器件测量系统、驱动所述电耦合器件测量系统进行旋转的驱动器、以及控制所述驱动器进行驱动的控制模块。本技术的测量设备，能在测量复杂TFT像素结构时自动调整所述测量设备的测量结构，从而减小了对复杂TFT像素区域尺寸的测量误差。【IPC分类】G01B11-02, G02F1-13, G01B11-00【公开号】CN204496134【申请号】CN201320538220【专利技术人】林子锦, 赵海生, 邓朝阳 【申请人】北京京东方光电科技有限公司【公开日】2015年7月22日【申请日】2013年8月30日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种测量设备，其特征在于，所述测量设备包括：测量薄膜晶体管像素区域尺寸的电耦合器件测量系统、驱动所述电耦合器件测量系统进行旋转的驱动器、以及控制所述驱动器进行驱动的控制模块；其中，所述电耦合器件测量系统与所述驱动器相连接，所述驱动器与所述控制模块相连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林子锦，赵海生，邓朝阳，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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