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本实用新型公开了一种测量设备，所述测量设备包括测量薄膜晶体管TFT像素区域尺寸的电耦合器件测量系统、驱动所述电耦合器件测量系统进行旋转的驱动器、以及控制所述驱动器进行驱动的控制模块。本实用新型的测量设备，能在测量复杂TFT像素结构时自动调整...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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