一种基于二维光栅结构的全金属增透系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电子领域，具体是一种基于二维光栅结构的全金属增透系统。
技术介绍
在光电子领域中，器件表面经常需要镀一层金属薄膜做电极或增加导电性，这种技术在太阳能电池、电镜检测、微纳加工等领域应用广泛。然而金属薄膜本身对入射光的低透过率和高反射率使得极少量入射光到达器件本身，影响器件本身的性能。传统方法通过镀一层介质膜，利用多光束干涉原理增加金属薄膜透光性，但表面覆盖的介质膜改变了原有金属表面的电学性质。目前还没有有效的解决方法，能够既提高器件的光学性能，又不影响金属薄膜电学性质。
技术实现思路
本专利技术针对上述现有构想与技术的不足，利用二维光栅结构可以激发金属薄膜表面等离子激元共振的特性，提出了一种基于二维光栅结构的全金属增透系统。本专利技术采用了全金属结构，具体解决方案如下：本专利技术增透系统沿光线传播方向依次包括高度为30～80nm的二维光栅结构、厚度小于50nm的金属薄膜、透明衬底；所述的透明衬底主要起支撑二维光栅结构和金属薄膜作用，对入射光几乎透明，没有吸收；可以选择普通玻璃（SiO2）、蓝宝石玻璃(Al2O3)、透明塑料等；所述的金属薄膜主要起导电作用，但本身对入射光有较高的反射率和较低的透射率；所述的二维光栅结构在金属薄膜表面呈周期性阵列分布；入射光透射峰值波长大小由二维光栅结构的阵列周期决定。所述的二维光栅结构起增透作用，入射光照射在有二维光栅结构的金属薄膜上，会激发金属薄膜表面等离子激元共振，从而增强金属薄膜对入射光的透射率。所述的二维光栅结...
【技术保护点】
一种基于二维光栅结构的全金属增透系统，其特征在于沿光线传播方向依次包括二维光栅结构、金属薄膜、透明衬底，其中二维光栅结构采用金属材料。
【技术特征摘要】
1. 一种基于二维光栅结构的全金属增透系统，其特征在于沿光线传播方向依次包括二维光栅结构、金属薄膜、透明衬底，其中二维光栅结构采用金属材料。
2.根据权利要求1所述的一种基于二维光栅结构的全金属增透系统，其特征在于所述的二维光栅结构由与金属薄膜相同的金属材料构成。
3.根据权利要求1所述的一种基于二维光栅结构的全金属增透系统，其特征在于所述的二维光...
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