一种分子束外延的材料生长原位监测装置制造方法及图纸

一种分子束外延的材料生长原位监测装置，其中，包括激光光源模块、接收模块、数据处理模块和分子束外延腔体，所述分子束外延腔体内设置有用于监测的样品，所述激光光源模块用于发射光束照射所述样品，经样品反射后形成反射光束，被所述接收模块接收，所述数据处理模块与接收模块连接，用于处理反射光束携带的信息。本实用新型专利技术提供的一种分子束外延的材料生长原位监测装置具有结构简单、采集信息准确、计算误差小以及制造成本低的特点，同时，有效解决了国外产品中功能单一的问题，实现样品材料的多种信息监测与计算，极大地满足科研人员和本领域技术人员的使用需求。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及材料生长的监测系统，尤其涉及基于分子束外延的材料生长原位监测装置。
技术介绍
随着时代的发展，各种高科技材料被应用于航空工业、电子信息技术产业、制造业等领域，同时，为了满足不同领域的使用要求，判断材料的特性也显得尤为重要。传统的材料监测方法中，采用红外高温计、反射高能电子衍射仪(reflection high-energy electron diffraction，RHEED)、实时温度测试仪(Bandit)等监测设备无法对生长材料的组份、表面粗糙度、折射率、吸收系数进行有效地监测研究，特别是对失配材料在生长时的应力演变过程，从而无法对材料生长的参数作实时调整，使外延层材料的质量无法提高。目前，为了解决对材料生长进行监测的问题，国外的公司基于分子束外延技术研发了一种监测装置，分子束外延(Molecular beam epitaxy，MBE)是使单晶材料生长的一种方法，该监测装置主要由德国的Laytec公司和美国的KSA公生产、垄断，而且都具有产品功能单一、价格昂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在于，包括激光光源模块(10)、接收模块(20)、数据处理模块(30)和分子束外延腔体(6)，所述分子束外延腔体(6)内设置有用于监测的样品(5)，所述激光光源模块(10)用于发射光束照射所述样品(5)，经样品(5)反射后形成反射光束，被所述接收模块(20)接收，所述数据处理模块(30)与接收模块(20)连接，用于处理反射光束携带的信息。

【技术特征摘要】
1.一种分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在于，包括激光光源
模块(10)、接收模块(20)、数据处理模块(30)和分子束外延腔体(6)，所述分子束
外延腔体(6)内设置有用于监测的样品(5)，所述激光光源模块(10)用于发射光束
照射所述样品(5)，经样品(5)反射后形成反射光束，被所述接收模块(20)接收，
所述数据处理模块(30)与接收模块(20)连接，用于处理反射光束携带的信息。
2.根据权利要求1所述的分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在
于，所述激光光源模块(10)包括激光器(11)、激光分束透镜(12)、准直透镜(13)，
所述激光器(11)用于产生激光光束，激光光束经过所述激光分束透镜(12)后形成
阵列光束，阵列光束再经过所述准直透镜(13)形成平行光束。
3.根据权利要求1所述的分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在
于，所述分子束外延腔体(6)设有入光口(3)和出光口(4)，所述入光口(3)与所述激
光光源模块(10)发射光束的位置对应，所述出光口(4)与接收模块(20)接收光束的
位置对应。
4.根据权利要求1所述的分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在
于，所述接收模块(20)包括图像传感器(21)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宝吉，赵勇明，季莲，陆书龙，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：新型
国别省市：江苏;32