用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置制造方法及图纸

一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄、挡块、钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖。钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。根据本发明专利技术的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，采用了双重保护结构，挡玻璃置于腔室保护监测装置座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽腔室保护监测装置视口，构成第二重保护。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空镀膜
，具体的说是一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置。
技术介绍
保护监测装置是真空镀膜设备运行过程中至关重要的装置，起着非常重要的作用。操作者使用保护监测装置实时监测真空腔室内设备的运行状况，从而控制镀膜进度，保证镀膜质量和设备运行的安全性。传统的保护监测装置结构简单，在镀膜过程中，真空腔室内会有少量溅射物附着在观察玻璃上。随着溅射物的不断沉积，保护监测装置玻璃会变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况，直接影响到了作业的监控，带来安全隐患，不够安全可靠。
技术实现思路
本专利技术旨在解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置。为了达成上述目的，提供了一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄、挡块、钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖。钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。一些实施例中，在腔室保护监测装置底座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述腔室保护监测装置底座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合。一些实施例中，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。一些实施例中，所述的钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈由腔室保护监测装置座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同固定。一些实施例中，所述的挡板玻璃由钢丝挡圈卡持在腔室保护监测装置座内腔，并与观察玻璃贴合。一些实施例中，所述的钢丝挡圈开设有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。一些实施例中，所述的磁流体密封件作为旋转机构。一些实施例中，所述快卸连接器对磁流体密封件进行密封联接。根据本专利技术的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，采用了双重保护结构，挡玻璃置于腔室保护监测装置座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽腔室保护监测装置视口，构成第二重保护。其次，本专利技术的挡玻璃由钢丝挡圈卡持在腔室保护监测装置座内腔，并与观察玻璃贴合，可以更好的保护观察玻璃。钢丝挡圈开有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。通过捏住弯爪即可拆卸钢丝挡圈，方便取出挡玻璃进行更换。另外，本专利技术采用磁流体密封件作为旋转动力传输件，使得传动机构简洁紧凑，密封性好。采用快卸连接器进行密封联接，便于装置拆卸，且密封性能好。遮板可在重力的作用下，自动转回直至其下沿与挡块相接，将腔室保护监测装置完全遮蔽。以下结合附图，通过示例说明本专利技术主旨的描述，以清楚本专利技术的其他方面和优点。附图说明结合附图，通过下文的详细说明，可更清楚地理解本专利技术的上述及其他特征和优点，其中：图1为根据本专利技术实施例的腔室保护监测装置的结构示意图；及图2为根据本专利技术实施例的腔室保护监测装置的遮板施用示意图。具体实施方式参见本专利技术具体实施例的附图，下文将更详细地描述本专利技术。然而，本发明可以以许多不同形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本
的技术人员完全了解本专利技术的范围。现参考附图详细说明根据本专利技术实施例的腔室保护监测装置。根据本专利技术实施例的腔室保护监测装置包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述腔室保护监测装置还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。所述腔室保护监测装置的第一重保护由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成。在腔室保护监测装置座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，该五个部件由腔室保护监测装置座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同作用固定。所述腔室保护监测装置座密封焊接在真空腔室上。挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合，保护观察玻璃。所述腔室保护监测装置的第二重保护由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成。磁流体密封件使用快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上。所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上。磁流体密封件的真空腔内一端安装遮板，另一端安装卡环和手柄。遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接，将腔室保护监测装置完全遮蔽，保护挡玻璃和观察玻璃。如图1所示，是本专利技术的结构示意图，所述的腔室保护监测装置包括：钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12和法兰盖13，所述腔室保护监测装置还包括遮板1、密封圈2、快卸连接器3、磁流体密封件4、卡环5、手柄6和挡块15。如图1所示，在腔室保护监测装置座14的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈8、挡玻璃9、密封圈10、观察玻璃11、橡胶垫圈12，该五个部件由腔室保护监测装置座14内腔的凹槽、法兰盖13和螺钉共同作用固定。磁流体密封件4安装在法兰连接器7上，使用快卸连接器3对两部件进行连接。磁流体密封件4和法兰连接器7的安装面之间置有密封圈2。遮板1安装在磁流体密封件4的真空腔室内一端，使用键进行固定。卡环5安装在磁流体密封件4的真空腔室外一端，使用键和螺钉进行固定。卡环5上安装手柄6。挡块15置于真空腔室内部，靠近腔室保护监测装置的侧壁上，用于定位遮板1的位置。挡玻璃9由钢丝挡圈8卡持在腔室保护监测装置座14内腔，并与观察玻璃11贴合。在挡玻璃9观察玻璃11与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板1置于真空腔室内，遮挡腔室保护监测装置视口，防止镀膜过程中的溅射物直接在挡玻璃9上沉积，间接保护观察玻璃11，构成第二重保护。钢丝挡圈8设有弯爪结构，捏住弯爪，即可卸下钢丝挡圈8，取出挡玻璃9进行更换，操作过程简便快捷。如图2所示，遮板1在重力的作用下，自动转回直至其下沿与挡块15相接，将腔室保护监测装置完全遮蔽。逆时针旋转手柄6，通过磁流体密封件4带动遮板1旋转，即可重新打开腔室保护监测装置视口。根据本专利技术的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，采用了双重保护结构，挡玻璃置于腔室保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板(1)、密封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、橡胶垫圈(12)和法兰盖(13)，其特征在于，钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板(1)、密
封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、
挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、
橡胶垫圈(12)和法兰盖(13)，其特征在于，钢丝挡圈、挡玻璃、密封
圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快
卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。
2.根据权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，在腔室保
护监测装置底座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、
观察玻璃和橡胶垫圈，所述腔室保护监测装置底座密封焊接在真空腔室上，
挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作
用下与观察玻璃贴合。
3.根据权利要求2所述的腔室保护监测装置，其特征在于，磁流体密
封件通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，魏晓俊，官敏，惠建秋，谷天奇，王海林，杨黎虹，蒋鸿，于涛，赵永，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31