配管接头、流体供给控制装置以及配管连接结构制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是将装置结构良好地小型化或集成化。本发明专利技术的配管接头中设置有主体部、第一开口部、第二开口部以及一对螺丝插入孔。主体部是大体长方体状的部件，并具有接合面(以高度方向作为法线并与安装对象接合的平面)。第一开口部在接合面开口。第二开口部在主体部的长度方向上的一侧端部开口。一对螺丝插入孔在第一开口部的两侧，被设置在主体部的长度方向上的一侧端部侧和另一侧端部侧。从第一开口部穿过第二开口部的流体通路被设置为绕过螺丝插入孔。

【技术实现步骤摘要】
配管接头、流体供给控制装置以及配管连接结构
本专利技术涉及配管接头，以及使用该配管接头的流体供给控制装置和配管连接结构。
技术介绍
作为这种配管接头和配管连接结构的构成，已知有例如下述专利文献1、专利文献2等中记载中的结构。但是，具有在内部形成有流体的流路的流路块和安装在该流路块上的多个流体控制器件的流体供给控制装置例如作为半导体制造工序中的气体供给装置使用。具体地，例如，在下述专利文献3中公开的气体供给单元中，在内部形成有气体流路的流路块上，通过螺丝(螺栓)固定有多个流体控制器件(流体控制阀或流量控制器等)。此外，这些多个流体控制器件沿流路块的长度方向呈一列地配置。用于半导体制造工序的上述气体供给装置有时被构成为供给多种气体。在此情况下，上述气体供给单元被设置成并列有多个(例如，参照下述专利文献4)。现有技术文献专利文献专利文献1日本专利申请公报“实开平7-4980”专利文献2日本专利申请公报“专利2940292”专利文献3日本专利申请公报“特开2001-227657”专利文献4日本专利申请公报“特开2006-46494”
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题例如，存在以下情况，即，将沿着与上述管部正交的方向(例如，水平)设置的配管与作为现有的凸缘接头的T型凸缘接头中的、从凸缘部垂直(即向上)延伸的管部连接。在上述配管连接结构的情况下，配管的前端部(以下，将其称为“弯曲部”)朝向凸缘接头大体呈L字形弯曲，上述弯曲部与上述管部连接。此时，通过使配管的主要部分(除上述的弯曲部以外的部分)与凸缘部的长度方向平行，能够使配管容纳在凸缘接头的宽度范围内。但是，在上述结构中，用于将凸缘部安装(固定)在其他安装对象上的安装螺丝的安装方向也与上述管部平行。因此，在上述结构中，需要将用于(例如，从斜上方)插入安装螺丝或紧固用工具的空间设置在配管的上述主要部分的下方。因此，在上述结构中，需要确保上述弯曲部的长度比较长。即，在上述结构中，需要确保配管连接结构的高度方向的空间是大的空间。而且，在沿着凸缘接头的宽度方向排列多个如上所述的配管连接结构时，即使确保如上所述的高度方向的空间是大的空间，将安装螺丝或紧固用工具插入排列方向上的端部以外的凸缘接头也变得极其困难。通过以上示例，在如上所述的现有技术中，需要将装置结构良好地小型化或集成化。本专利技术是鉴于上述例示的情况作出的专利技术。解决问题所采用的手段本专利技术的第一结构，一种配管接头，被构成为能够通过螺丝被固定在预定的安装对象上，在内部具有流体通路，其特征在于，具有：主体部，是被形成为具有预定的长度方向的大体长方体状的外形形状的部件，并具有接合面，所述接合面是被设置为将与所述长度方向正交的高度方向作为法线并与所述安装对象接合的平面；第一开口部，被设置为在所述接合面开口；第二开口部，被设置为在所述主体部的所述长度方向上的第一端面开口；以及一对螺丝插入孔，形成为能够沿着所述高度方向插入所述螺丝，位于所述第一开口部两侧，并且设置在所述主体部的所述长度方向上的所述第一端面侧和所述第二端面侧，从所述第一开口部穿过所述第二开口部的所述流体通路绕过所述螺丝插入孔。本专利技术的第二结构，其特征在于，在所述第一结构中，所述流体通路具有：第一通路，是从所述第一开口部沿着所述高度方向设置的所述流体通路；以及第二通路，是沿着长度方向设置的所述流体通路，穿过所述第二开口部并且与所述第一通路连接，并绕过所述螺丝插入孔，所述第二通路具有：开口侧通路，是从所述第二开口部沿着所述长度方向形成的非贯通孔，不到达一对所述螺纹插入孔之中设置在所述主体部中的所述第一端面侧的流路侧螺纹插入孔；以及中间通路，沿着所述长度方向被形成为在比所述流路侧螺丝插入孔更靠近侧面的位置上，沿着所述长度方向不与所述流路侧螺丝插入孔连通而穿过所述流路侧流路插入孔的侧方，所述侧面是以与所述长度方向和所述高度方向正交的宽度方向作为法线的平面，所述中间通路被设置为一端与所述第一通路连通并且另一端与所述开口侧通路中的所述流路侧螺丝插入孔侧的端部连通。本专利技术的第三结构，其特征在于，在上述第一或第二结构中，其被构成为所述第二开口部的中心轴线与所述第一开口部的中心轴线交叉。本专利技术的第四结构，其特征在于，在具有上述第一至第三结构的配管接头的流体供给控制装置中，所述流体供给控制装置具有：流路块，在内部形成有供所述流体流通的内部流路；以及多个流体控制器件，沿着所述内部流路排列并且被安装在所述流路块上，所述配管接头被构成为以所述流路块作为所述安装对象，与设置在所述流路块上的所述流体的出入口连接，所述螺丝插入孔被形成为不具有螺纹部的贯通孔，所述接合面被形成为与设置在所述流路块的所述流体的出入口连接。本专利技术的第五结构，其特征在于，在所述第四结构中，所述流体控制器件通过设置在所述流路块上的一对内螺纹部以能够任意拆装的方式安装在所述流路块上，沿着与所述流路块中的所述流体的流通方向平行的方向，即多个所述流体控制器件的排列方向呈大体直线状地配置一对所述内螺纹部与连接流路，所述连接流路是在所述流路块上被设置为连接不同的所述流体控制器件的所述内部流路。本专利技术的第六结构是，在所述第五结构中，其特征在于，所述内螺纹部被形成为在所述安装面开口的非贯通孔，以使得所述流体控制器件能够安装在所述流路块中的形成有所述出入口的表面，即安装面侧，所述连接流路被形成为在所述内螺纹部的深度方向上绕过所述内螺纹部。本专利技术的第七结构，其特征在于，在所述第六结构中所述流路块被构成为将在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件的组在与所述排列方向正交的方向上排列并且能够进行安装。本专利技术的第八结构是，配管连接结构，其特征在于，具有一对所述配管接头，其中，一对所述配管接头中的一个将另一个作为所述安装对象，具有所述螺丝插入孔，所述螺丝插入孔是不具有螺纹部的贯通孔，一对所述配管接头中的所述另一个将所述一个作为所述安装对象，具有所述螺丝插入孔，所述螺丝插入孔是不具有螺纹部的非贯通孔。本专利技术的第九结构是，其特征在于，在所述第八结构中一对所述配管接头中的每一个分别被构成为所述第二开口部的中心轴线与所述第一开口部的中心轴线交叉。有益效果在所述第一结构的所述配管接头中，从所述第一开口部穿过所述第二开口部的所述流体通路绕过所述螺丝插入孔。上述结构的所述配管接头通过将所述螺丝沿着所述高度方向插入一对所述螺丝插入孔而被固定(安装)在所述安装对象上。这里，通过使一对所述螺丝插入孔中的所述第二开口部侧的螺丝插入孔和所述第二通路以互相不连通的程度在所述宽度方向(与所述长度方向和所述高度方向正交的方向)上尽可能地接近，使得能够尽可能地减小主体部在宽度方向上的尺寸。因此，如果使用上述结构，则在宽度方向上能够对装置结构良好地进行小型化或集成化。而且，如果使用上述结构，与所述配管接头连接的配管不干扰所述螺丝及其紧固用工具，因此操作性变得良好并且也无需确保如上述现有技术的高度方向的空间是大的空间。如果使用上述第二结构，则能够尽可能地减小上述主体部的所述宽度方向上的尺寸。如果使用上述第三结构，则能够将对应所述配管接头中的流体的出入口的、所述第一开口部和所述第二开口部设置为彼此的中心轴线在同一面上交叉，因此配管设计变得容易。在上述第四结构中，上述配管接头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种配管接头，被构成为能够通过螺丝被固定在预定的安装对象上，并在内部具有流体通路，其特征在于，具有：主体部，是被形成为具有预定的长度方向的大体长方体状的外形形状的部件，并具有接合面，所述接合面是被设置为将与所述长度方向正交的高度方向作为法线并与所述安装对象接合的平面；第一开口部，被设置为在所述接合面开口；第二开口部，被设置为在所述主体部的所述长度方向上的第一端面开口；以及一对螺丝插入孔，形成为能够沿着所述高度方向插入所述螺丝，位于在所述第一开口部两侧，并且设置在所述主体部的所述长度方向上的所述第一端面侧和所述第二端面侧，从所述第一开口部穿过所述第二开口部的所述流体通路绕过所述螺丝插入孔。

【技术特征摘要】
2013.12.05 JP 2013-251810;2013.12.05 JP 2013-252101.一种配管接头，被构成为能够通过螺丝被固定在预定的安装对象上，并在内部具有流体通路，其特征在于，具有：主体部，是被形成为具有预定的长度方向的长方体状的外形形状的部件，并具有接合面，所述接合面是被设置为将与所述长度方向正交的高度方向作为法线并与所述安装对象接合的平面；第一开口部，被设置为在所述接合面开口；第二开口部，被设置为在所述主体部的所述长度方向上的第一端面开口；以及一对螺丝插入孔，形成为能够沿着所述高度方向插入所述螺丝，位于在所述第一开口部两侧，并且设置在所述主体部的所述长度方向上的所述第一端面侧和第二端面侧，从所述第一开口部穿过所述第二开口部的所述流体通路绕过所述螺丝插入孔。2.如权利要求1所述的配管接头，其特征在于，所述流体通路具有：第一通路，是从所述第一开口部沿着所述高度方向设置的所述流体通路；以及第二通路，是沿着长度方向设置的所述流体通路，穿过所述第二开口部并且与所述第一通路连接，并绕过所述螺丝插入孔，所述第二通路具有：开口侧通路，是从所述第二开口部沿着所述长度方向形成的非贯通孔，不到达一对所述螺丝插入孔之中设置在所述主体部中的所述第一端面侧的流路侧螺丝插入孔；以及中间通路，沿着所述长度方向被形成为在比所述流路侧螺丝插入孔更靠近侧面的位置上，不与所述流路侧螺丝插入孔连通而穿过所述流路侧流路插入孔的侧方，该侧面是以与所述长度方向和所述高度方向正交的宽度方向作为法线的平面，所述中间通路被设置为一端与所述第一通路连通并且另一端与所述开口侧通路中的所述流路侧螺丝插入孔侧的端部连通。3.如权利要求2所述的配管接头，其特征在于，具有第三开口部，被设置为在所述主体部的所述长度方向上的所述第二端面开口，所述流体通路具有：第三通路，是沿长度方向设置的所述流体通路，穿过所述第三开口部并且与所述第一通路连接，并绕过所述螺丝插入孔，所述第三通路具有：开口侧通路，是从所述第三开口部沿着所述长度方向形成的非贯通孔，不到达一对所述螺丝插入孔之中设置在所述主体部中的所述第二端面侧的第二螺丝插入孔；以及中间通路，沿着所述长度方向被形成为在比所述第二螺丝插入孔更靠近侧面的位置上，不与所述第二螺丝插入孔连通而穿过所述第二螺丝插入孔的侧方，所述侧面是以与所述长度方向和所述高度方向正交的宽度方向作为法线的平面，所述中间通路被设置为一端与所述第一通路连通并且另一端与所述开口侧通路中的所述流路侧螺丝插入孔侧的端部连通。4.如权利要求2或3所述的配管接头，其特征在于，所述中间通路是通过利用平板状的盖部气密地或液密地封闭从所述侧面侧形成的槽而形成的空间。5.如权利要求2或3所述的配管接头，其特征在于，所述第一通路被设置为从所述第一开口部在所述高度方向上贯通的贯通孔。6.如权利要求1至3中任一项所述的配管接头，其特征在于，被构成为所述第二开口部的中心轴线与所述第一开口部的中心轴线交叉。7.一种具有权...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤启介，板藤宽，三原由极，广濑克宪，三轮敏一，西田成伸，伊藤一寿，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP