吸音隔声装置及光刻设备制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种吸音隔声装置及光刻设备，采用中空板进行隔音，且对中空板内抽真空，降低空气密度可以获得极佳的隔声效果，并且吸声材料具有良好的吸声性能，能够进一步的起到隔音效果；进一步的，本发明专利技术提出的梯形结构可以增加中空板的吸声能力，将其应用在光刻设备内部，可以增加光刻设备内的总体吸声面积，降低混响噪声，梯形结构顶层的微穿孔可以扩展结构吸声频段和吸声能力，同时，提出的光刻设备采用上述吸音隔声装置，由于吸音隔声装置具有宽频隔声吸声能力，降低噪声对光刻设备整机动态性能的影响，保证了物镜系统的曝光精确度和调平调焦系统的准确性，进而提高了光刻工艺的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种吸音隔声装置及光刻设备。
技术介绍
在集成电路(IC)的制造过程中，通常需要用到光刻设备。光刻设备是一种将所需图案应用到硅片上的设备。光刻设备可以将掩模的图案对应形成于硅片的表面，作为单层的电路图案。具体的，由照明装置提供光线，光线经过掩模，并将掩模的图案经过物镜照射至硅片的表面，并与硅片表面的化学物(例如光阻)进行反应，形成图案。由于高精度和高分辨率作为光刻技术当前追求的目标，光刻设备的各部件之间的相互定位需要十分精确，例如保持图案形成装置(例如掩模)的掩模台、投影系统和承载硅片的工件台。除了掩模台和工件台的定位外，投影系统也面临定位精准的需求。在当前光刻设备中的投影系统包括承载结构和光学元件，承载结构例如是透镜座架(用于检测透射光的情形)或反射镜框架(用于检测反射光的情形)，光学元件例如是物镜等。在光刻设备中，噪声会对光刻设备内部环境产生影响，例如影响物镜以及主基板等。噪声主要包括环境噪声、电气噪声、掩模台以及工件台的运动噪声。声噪载荷(Acoustics Load)定义为空气的压力随时间的变化作用在物镜和主基板等内部环境上的效应。若想要提高光刻设备的光刻精度以及分辨率，就必须将声噪载荷降低甚至消除。那么如何对光刻设备内部环境进行降噪处理便成为本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种吸音隔声装置及光刻设备，能够降低光刻设备内部环境的噪音。为了实现上述目的，本专利技术提出了一种吸音隔声装置，用于消除噪声源产生的噪声，所述装置包括:中空板，所述中空板内部中空，并将中空板内部抽成真空；吸声材料，所述吸声材料粘附于所述中空板的表面。进一步的，本专利技术还提出了一种吸音隔声装置，包括:中空板，所述中空板内部中空，并将中空板内部抽成真空；梯形结构，粘附于所述中空板的表面；吸声材料，粘附于所述梯形结构的表面。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述梯形结构的厚度小于1mm。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述梯形结构上设有若干微穿孔；所述吸声材料设置在所述梯形结构的内表面。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述梯形结构顶层设有若干微穿孔；所述顶层内表面黏附有吸声材料。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述微穿孔的孔径小于1mm。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述微穿孔在所述梯形结构顶层的穿孔率范围是1%?5%。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述吸音隔声装置还包括分叉结构，所述分叉结构设于所述中空板的外侧壁。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述分叉结构为Y型或者T型。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述分叉结构表面粘附有吸声材料。进一步的，在所述的吸音隔声装置中，所述吸声材料的材质为泡沫铝。进一步的，本专利技术还提出了一种光刻设备，内部设有如上文中任意一种吸音隔声装置，所述设备包括:基础框架，所述基础框架采用吸音隔声装置组成的吸音隔声壁，设于所述基础框架内部的掩膜台，设于所述基础框架内的减振器，与所述减振器相固定的主基板，与所述主基板相固定的物镜，与所述主基板相固定的测量装置，设于所述基础框架的工件台以及设于所述基础框架内部的吸音隔声装置，所述吸音隔声装置位于所述物镜与所述掩膜台之间。进一步的，在所述的光刻设备中，所述吸音隔声装置还位于所述物镜与所述工件台之间。进一步的，在所述的光刻设备中，所述光刻设备还包括透光材料，所述透光材料位于所述物镜与所述掩膜台之间，以及所述物镜与所述工件台之间。进一步的，在所述的光刻设备中，所述掩膜台为磁悬浮式，所述掩膜台分为掩膜台粗动台与掩膜台微动台，所述透光材料位于所述掩膜台粗动台与掩膜台微动台之间。进一步的，在所述的光刻设备中，所述工件台为磁悬浮式，所述工件台分为工件台粗动台与工件台微动台，所述透光材料位于所述工件台粗动台与工件台微动台之间。进一步的，在所述的光刻设备中，所述透光材料为透光膜或者透光玻璃。进一步的，在所述的光刻设备中，所述透光材料为单层或多层。进一步的，在所述的光刻设备中，对所述透光材料施加张拉预应力，以提高所述透光材料法向刚度。与现有技术相比本专利技术的有益效果主要体现在:中空板比实心板隔声效果好，重量轻，且对中空板内抽真空，降低空气密度后，可以获得极佳的隔声效果，并且吸声材料具有良好的吸声性能，能够进一步的起到隔音效果。进一步的，本专利技术提出的梯形结构可以增加中空板的吸声能力，将其应用在光刻设备内部，可以增加光刻设备内的总体吸声面积，降低混响噪声，梯形结构顶层的微穿孔可以扩展结构吸声频段和吸声能力，同时，提出的光刻设备采用上述吸音隔声装置，由于吸音隔声装置具有宽频隔声吸声能力，降低噪声对光刻设备整机动态性能的影响，保证了物镜系统的曝光精确度和调平调焦系统的准确性，进而提高了光刻工艺的精度。【附图说明】图1为本专利技术实施例一中吸音隔声装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例二中吸音隔声装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例二中吸音隔声装置的俯视图；图4为本专利技术实施例三中吸音隔声装置的结构示意图；图5-图7为本专利技术实施例三中光刻设备内采用吸音隔声装置的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本专利技术的吸音隔声装置及光刻设备进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本专利技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。实施例一请参考图1，在本实施例中，提出了一种吸音隔声装置，用于消除噪声源产生的噪声，所述装置包括:中空板11，所述中空板11内部中空,并将所述中空板11内部抽成真空；吸声材料12，所述吸声材料12粘附于所述中空板11的表面，在本实施例中，所述吸声材料12为泡沫铝，泡沫铝具有良好的吸声性能，并可进行表面喷涂。所述中空板11较实心板的隔声效果好，重量轻，将所述中空板11内抽真空，降低空气密度后，可以获得较好的隔声效果，并且在所述中空板11的表面喷涂泡沫铝之后能进一步的提高吸音性能，得到极佳的隔音效果。实施例二请参考图2，在本实施例中提出的吸音隔声装置相比于实施例一中的吸音隔声装置多了梯形结构，所述吸音隔声装置包括:中空板21、吸声材料22以及梯形结构23，其中所述中空板21和吸声材料22均与实施例一中的相同，具体请参考实施例一，在此不再赘述。在本实施例中，所述梯形结构23粘附于所述中空板21的表面，可以是一个表面也可以是多个表面，优选的，梯形结构23粘附于所述中空板21相对的两个表面，所述吸声材料22与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸音隔声装置，用于消除噪声源产生的噪声，所述装置包括：中空板，所述中空板内部中空，并将中空板内部抽成真空；吸声材料，所述吸声材料粘附于所述中空板的表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟亮，王璟，季采云，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31