【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片插片机用供片装置，其特征在于：包括硅片分片机构、硅片输送机构和硅片位置校正装置；所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口；所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置，所述第一输送带位于所述第二输送带的上方，且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上，所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置，所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置；所述吹气口位于所述第一输送带的下方，吹气方向朝向所述储片盒设置；所述硅片输送机构包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带；所述第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上，所述第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒；所述第三输送带和第四输送带串连设置；所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送机构对接；所述硅片输送机构的两侧设有硅片位置校正装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱文良，
申请(专利权)人：苏州博阳能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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