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一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法技术

技术编号:11514281 阅读:189 留言:0更新日期:2015-05-27 22:17
本发明专利技术公开了一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法。它的制备方法包括如下步骤:1)在扭转双层石墨烯上涂覆光敏材料,然后在所述扭转双层石墨烯上刻蚀,并进行显影、定影,做出电极图案;2)将经步骤1)处理的所述扭转双层石墨烯的所述电极图案上,进行蒸镀金属得到电极,即得到所述光电探测器。本发明专利技术通过制备得到特定角度的扭转角双层石墨烯,其制备的光电探测器件具有很高迁移率,对特定波长光具有高效的光电探测效率,光电响应平均增强,且具有极低的暗电流,以及无需偏压、栅压提供额外能量的优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器的制备方法,包括如下步骤:1)在扭转双层石墨烯上涂覆光敏材料,然后在所述扭转双层石墨烯上刻蚀,并进行显影、定影,做出电极图案;2)在经步骤1)处理的所述扭转双层石墨烯的所述电极图案上,蒸镀金属得到电极,即得到所述光电探测器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘忠范尹建波王欢彭海琳
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:北京;11

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