微流量传感器及其制造与使用方法技术

一种微流量传感器，包括覆盖层、电极层及隔离层，所述电极层包括基板以及沉积于基板上的至少一电极，所述至少一电极的厚度小于10μm，所述隔离层设置于电极层与覆盖层之间，隔离层上形成有至少一流道用于容纳液体，其制造与使用方法包括：提供一基板并在所述基板上沉积导电材料形成至少一厚度小于10μm电极；提供一隔离层并将所述隔离层的第一表面贴附于基板上，所述隔离层形成有至少一流道横跨所述至少一电极；以及提供一覆盖层并将所述覆盖层贴附于所述隔离层的第二表面，本发明专利技术微流量传感器电极的厚度小于10μm，为液体在流道内的流动留出了更多的空间，降低了其对液体流动的影响，从而得到更为准确的检测结果。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微流量传感器，包括覆盖层、电极层以及隔离层，其特征在于：所述电极层包括基板以及沉积于所述基板上的至少一电极，所述至少一电极的厚度小于10μm，所述隔离层设置于电极层与覆盖层之间，隔离层上形成有至少一流道用于容纳液体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：章立冰，
申请(专利权)人：德昌电机深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44