【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种传感器，特别涉及一种流量传感器。
技术介绍
作为测量流体的流量或流速的热式流量传感器，有两种类型，第一类是通过发热体发出的热流测定流体的空间温度分布，并由温度传感器检测不均匀性；第二类是在因流体使发热体的热量丧失时，检测所发生的功率或电阻方面的变化，从而检测流速或流率。现有类型的流量传感器中在硅的表面上对传感器进行构图、被测流体直接流过该传感器图形的类型，其灵敏度和响应性较差，容易受到腐蚀性气体腐蚀。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种灵敏度和响应性良好，且适合于测量腐蚀性流体的流速或流量的流量传感器。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的本技术的流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。作为优选，所述传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层。作为优选，所述缓冲层由氮化硅或氧化铝制成。作为优选，所述盖板与基部上部卡接。作为优选，所述传感器芯片由奥氏体不锈钢制成。与现有技术相比，本技术的优点在于本技术结构简单，采用奥氏体不锈钢的传感器芯片，提高了灵敏度和响应性，传感器芯片上设置有绝缘膜，使其不易受到腐蚀气体的腐蚀，传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层，可缓和形成传感器图形的绝缘膜和传感器芯片之间的热膨胀系数差异，可以分阶段地改变缓冲部件的线膨胀系数，即使在高温环境下，绝缘膜也不会产生裂纹，仍能长期获得稳定的传感器检测输出特性。附图说明图I为本技术的结构示意图。图中...
【技术保护点】
一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，其特征在于：所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘稼涛，詹宝驹，杜嘉晖，
申请(专利权)人：成都驹涛网络科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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