【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种传感器，特别涉及一种流量传感器。
技术介绍
作为测量流体的流量或流速的热式流量传感器，有两种类型，第一类是通过发热体发出的热流测定流体的空间温度分布，并由温度传感器检测不均匀性；第二类是在因流体使发热体的热量丧失时，检测所发生的功率或电阻方面的变化，从而检测流速或流率。现有类型的流量传感器中在硅的表面上对传感器进行构图、被测流体直接流过该传感器图形的类型，其灵敏度和响应性较差，容易受到腐蚀性气体腐蚀。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种灵敏度和响应性良好，且适合于测量腐蚀性流体的流速或流量的流量传感器。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的本技术的流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。作为优选，所述传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层。作为优选，所述缓冲层由氮化硅或氧化铝制成。作为优选，所述盖板与基部上部卡接。作为优选，所述传感器芯片由奥氏体不锈钢制成。与现有...
【技术保护点】
一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，其特征在于：所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘稼涛，詹宝驹，杜嘉晖，
申请(专利权)人：成都驹涛网络科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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