【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种石英坩埚磨具车装置,其特征在于:主要是由石墨磨具(1)、水冷套(2)、多孔石墨底座(3)、倾动台(4)、旋转轴(5)和电机(6)组成,所述石墨磨具(1)外层套一层水冷套(2),所述石墨磨具(1)的底部装有多孔石墨底座(3),所述多孔石墨底座(3)置于倾动台(4)上;所述倾动台(5)的下部装有电机(6)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:祝军武,高喜梅,张新丽,
申请(专利权)人:西安艾力特电子实业有限公司,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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