本实用新型专利技术涉及一种新型焊管装置，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通，本实用新型专利技术的装置进行砷化镓合成时可避免氢、氧焊接时发生意外爆炸；采用电加热方式不需近距离操作，且能使石英管受热均匀，保证操作员工安全及石英管气密性；还采用两道密封胶圈，既保障石英管口在抽真空时不被损坏，又保障装置气密性良好；大大降低能源消耗，节约能源，降低成本，降低安全事故的发生率。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种新型焊管装置，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通，本技术的装置进行砷化镓合成时可避免氢、氧焊接时发生意外爆炸；采用电加热方式不需近距离操作，且能使石英管受热均匀，保证操作员工安全及石英管气密性；还采用两道密封胶圈，既保障石英管口在抽真空时不被损坏，又保障装置气密性良好；大大降低能源消耗，节约能源，降低成本，降低安全事故的发生率。【专利说明】一种新型焊管装置
本技术涉及一种新型焊管装置，属于半导体合成
。
技术介绍
半导体行业砷化镓合成需在密封的石英管中进行，石英管一般一段密封，一段开口以便于放置砷和镓，开口部分密封时需将石英管帽套进石英管中，在高温焊接区进行高温焊接。目前此工艺多采用氢、氧焊接，人工进行。此工艺的缺点是:1、人工操作不便，高温状态下，会对员工身体造成伤害；2、氢气易爆，操作不当会发生爆炸；3、石英管受热不均匀，会发生焊接不完全，石英管漏气的现象。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为克服上述问题，提供一种安全进行半导体砷化镓合成的新型焊管装置。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是: 一种新型焊管装置，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通。 优选地，所述石英管帽与所述第一密封胶圈之间设置有滞移单元。 优选地，所述滞移单元为石英棒或石英卡套，并可移动。 优选地，所述卡套通过真空管与所述真空机连通，所述卡套与所述真空管连接处设置有第二密封胶圈。 优选地，电加热单元为电加热丝，所述电加热丝缠绕在所述石英管的外壁上。 本技术的有益效果是:本技术的装置进行砷化镓合成时可避免氢、氧焊接时发生意外爆炸；采用电加热方式不需近距离操作，且能使石英管受热均匀，保证操作员工安全及石英管气密性；还避免了大量氢、氧气体保存，消除隐性安全隐患；还采用两道密封胶圈，既保障石英管口在抽真空时不被损坏，又保障装置气密性良好；滞移单元保证石英管帽不偏离高温焊管区，有利于焊接操作；大大降低能源消耗，节约能源，降低成本，降低安全事故的发生率。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 图1是本技术一个实施例的主视图。 图中标记:1-石英管，2-石英管帽，3-电加热单元，4-第一密封胶圈，5-卡套，6-第二密封胶圈，7-真空管，8-真空机，9-滞移单元。 【具体实施方式】 现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。 如图1所示的本技术所述一种新型焊管装置，包括石英管1，所述石英管I的外壁上设置有电加热单元3，所述电加热单元3在所述石英管I内形成高温焊管区，本装置采用电加热的方式，安全并且石英管I受热均匀，保障石英管I内完全密封，防止砷泄漏，所述石英管I内在高温焊管区里设置有石英管帽2，所述石英管帽2的边缘与所述石英管I的内壁贴合，所述石英管I的管口与卡套5连接处设置有第一密封胶圈4，所述卡套5与真空机8连通，本装置改进了氢、氧气混合加热工艺，避免意外爆炸事故的发生，同时避免了人工焊接加热石英管I时可能造成受热不均匀，导致焊接不完全发生泄漏的问题。 在优选的实施方案中，所述石英管帽2与所述第一密封胶圈4之间设置有滞移单元9并可移动，便于放置石英管帽2，同时保证抽真空时石英管帽2不偏离高温焊管区。 在优选的实施方案中，所述滞移单元9为石英棒或石英卡套5，但不限定于此，还可以根据需要进行其他选择。 在优选的实施方案中，所述卡套5通过真空管7与所述真空机8连通，所述卡套5与所述真空管7连接处设置有第二密封胶圈6。 在优选的实施方案中，电加热单元3为电加热丝，所述电加热丝缠绕在所述石英管I的外壁上，但不限于电加热丝，还可以为其他加热装置。 本装置的操作步骤如下: 一、将石英管帽2放置于石英管I中，将石英管I放入卡套5内，打开真空机8逐渐将石英管I中的空气抽出； 二、抽真空时，石英管帽2随因为气压差移动，因此卡套5内的滞移单元9会阻止石英管帽2位移过大，影响焊接效果；石英管I开口以及装置卡套5里侧均设有密封胶圈，抽真空过程中无漏气发生； 三、石英管I和石英管帽2固定好后，打开电源，加热石英管1，石英管I中管内壁和石英管帽2的边缘紧紧贴住，当温度加热到1300?1350°C时，将两者焊接结实，石英管I内为密封状态，可进行砷化镓合成工艺。 以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。【权利要求】1.一种新型焊管装置，其特征在于，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通。2.如权利要求1所述的新型焊管装置，其特征在于，所述石英管帽与所述第一密封胶圈之间设置有滞移单元。3.如权利要求2所述的新型焊管装置，其特征在于，所述滞移单元为石英棒或石英卡套。4.如权利要求1所述的新型焊管装置，其特征在于，所述卡套通过真空管与所述真空机连通，所述卡套与所述真空管连接处设置有第二密封胶圈。5.如权利要求1所述的新型焊管装置，其特征在于，电加热单元为电加热丝，所述电加热丝缠绕在所述石英管的外壁上。【文档编号】C03B20/00GK204224430SQ201420734899【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月28日 优先权日:2014年11月28日 【专利技术者】易德福, 吴城, 张明文 申请人:易德福本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种新型焊管装置，其特征在于，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：易德福，吴城，张明文，
申请(专利权)人：易德福，
类型：新型
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。