一种适用于复杂工作介质的真空过滤器制造技术

本发明专利技术涉及真空系统中过滤介质的设备，具体地说是一种适用于复杂工作介质的真空过滤器。包括壳体、捕集阱和静电吸附装置，其中壳体的一端及侧壁上分别设有排气口和进气口，所述捕集阱和静电吸附装置均设置于壳体内，并且捕集阱设置于壳体内远离排气口的一端，所述静电吸附装置设置于壳体的靠近排气口的一端。本发明专利技术还包括设置于壳体外部的冷却装置和加热装置，所述冷却装置和加热装置分别设置于所述壳体的进气口和排气口上。本发明专利技术清除了从真空系统出口处排出的介质中的粉尘颗粒，提高了真空管道和真空元器件的洁净度和使用寿命，可避免泵的损害，从而提高了泵的使用寿命，减少了设备维修时间和成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种适用于复杂工作介质的真空过滤器，其特征在于：包括壳体、捕集阱(3)和静电吸附装置(4)，其中壳体的一端及侧壁上分别设有排气口(8)和进气口(7)，所述捕集阱(3)和静电吸附装置(4)均设置于壳体内，并且捕集阱(3)设置于壳体内远离排气口(8)的一端，所述静电吸附装置(4)设置于壳体的靠近排气口(8)的一端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓玉，王光玉，李昌龙，郭东民，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21