一种过滤装置，用于超纯水系统的终端过滤环节，其包括壳体与多个滤芯，多个滤芯安装于壳体内，壳体的底部设有进水口，壳体的顶部设有集水腔及与集水腔连通的出水口，每个滤芯的顶端为开口端，每个滤芯的底端为封闭端，多个滤芯的开口端分别与集水腔连通，多个滤芯的封闭端朝向进水口，需要过滤的水从进水口进入壳体内，透过多个滤芯并在多个滤芯内形成过滤水，过滤水通过多个滤芯的开口端进入并汇聚在集水腔内，再经由出水口排出。本实用新型专利技术的进水方式为下部进水、上部产水，无需在原有的纯水系统管路上进行改动，方便对现有超滤进行替换，同时，滤芯采用全量过滤方式可降低装置的运行动力。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超纯水过滤技术，特别是关于一种超纯水过滤装置，用于超纯水系统的终端过滤环节。
技术介绍
在显示面板，集成电路芯片等生产领域会用到大量的超纯水(Ultra PureWater，UPW)作为清洗用水，超纯水系统是服务生产工艺的一部分。现有的超纯水系统的终端过滤器采用超滤膜设备，超滤膜设备，是一种孔径规格一致，额定孔径范围为0.001-0.02微米的微孔过滤膜的技术设备，超滤膜过滤是以压力差为推动力的膜过滤方法。然而，由于超滤膜的过滤方式为错流过滤，待过滤水是在泵的推动下平行于膜面流动，因此需要较高的运行动力。此外，超滤设备价格昂贵，高规格的超滤膜设备备货周期较长，导致不能及时更换，不能满足生产的需要。
技术实现思路
有鉴于此，本技术目的在于提供一种过滤装置，可代替现有的超滤膜设备并降低生产成本，缩短备货周期。为达上述优点，本技术提供一种过滤装置，用于超纯水系统的终端过滤环节，其包括壳体与多个滤芯，所述多个滤芯安装于所述壳体内，所述壳体的底部设有进水口，所述壳体的顶部设有集水腔及与所述集水腔连通的出水口，每个滤芯的顶端为开口端，每个滤芯的底端为封闭端，所述多个滤芯的开口端分别与所述集水腔连通，所述多个滤芯的封闭端朝向所述进水口，需要过滤的水从所述进水口进入所述壳体内，透过所述多个滤芯并在所述多个滤芯内形成过滤水，所述过滤水通过所述多个滤芯的开口端进入并汇聚在所述集水腔内，再经由所述出水口排出。在本技术的一个实施例中，所述出水口位于所述集水腔的顶部。在本技术的一个实施例中，所述壳体包括上壳体与下壳体，所述下壳体呈一筒状结构并在内部形成一容纳空间，所述多个滤芯收容位于所述容纳空间内，所述上壳体呈一平面圆板状结构并覆盖在所述下壳体上以密闭所述下壳体的顶部。在本技术的一个实施例中，所述多个滤芯平行间隔排列于所述壳体中，所述多个滤芯的长度均小于所述壳体的容纳空间的高度。在本技术的一个实施例中，所述滤芯的数量为5个，且以所述壳体的竖直轴线为中心沿周向对称分布。在本技术的一个实施例中，所述集水腔位于所述上壳体的外表面，所述上壳体对应所述多个滤芯的开口端的位置贯穿设有多个通孔，所述多个通孔分别连通所述多个滤芯的开口端与所述集水腔。在本技术的一个实施例中，所述集水腔位于所述上壳体的内表面，所述集水腔的底部对应所述多个滤芯的开口端的位置贯穿设有多个通孔，所述多个通孔分别连通所述多个滤芯的开口端与所述集水腔。在本技术的一个实施例中，所述多个滤芯与所述多个通孔的连接处通过卡槽式密封圈密封。在本技术的一个实施例中，每个滤芯的圆周面上分布设有过滤微孔，所述多个滤芯上的过滤微孔的孔径为0.02微米。在本技术的一个实施例中，所述多个滤芯与一水泵相连，所述水泵用于将所述过滤水从所述多个滤芯内抽送至所述集水腔中。综上所述，本技术的进水方式为下部进水、上部产水，无需在原有的纯水系统管路上进行改动，方便对现有超滤进行替换，缩短设备更换周期，用滤芯代替原有的超滤膜设备，所生产的超纯水既达到标准，同时也降低了生产成本，同时，滤芯采用全量过滤方式可降低装置的运行动力。【附图说明】图1为本技术一个实施例中过滤装置的结构示意图。图2为图1中沿I1-1I线的截面示意图。【具体实施方式】为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本技术的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。图1为本技术一个实施例中过滤装置的结构示意图，图2为图1中沿I1-1I线的截面示意图。请参考图1和图2所示，本技术的过滤装置包括壳体11与多个滤芯12，这些滤芯12收容于壳体11内，壳体11的底部设有进水口 13，壳体11的顶部设有集水腔113及与该集水腔113连通的出水口 14，每个滤芯12的顶端为开口端121，每个滤芯12的底端为封闭端(图未标)。多个滤芯12的开口端121分别与集水腔113连通，多个滤芯12的封闭端朝向进水口 13，即滤芯12是倒置安装于壳体11内的。过滤时，需要过滤的水从进水口 13进入壳体11内，透过多个滤芯12并在多个滤芯12内形成过滤水，过滤水通过多个滤芯12的开口端121进入并汇聚在集水腔113内，再经由出水口 14排出。进一步的，壳体11包括上壳体111与下壳体112，下壳体112呈一筒状结构并在内部形成一容纳空间，滤芯12收容位于该容纳空间内，上壳体111呈一平面圆板状结构并覆盖在下壳体112上以密闭下壳体112的顶部。滤芯12平行间隔排列于壳体11中，且滤芯12的长度均小于壳体11的容纳空间的高度。优选的，如图2所示，在本实施例中，滤芯12的数量为5个，且以壳体11的竖直轴线为中心沿周向对称分布。此外，每个滤芯12的圆周面上分布设有过滤微孔，多个滤芯12上的过滤微孔的孔径均小于0.1微米，优选的，在本实施例中过滤微孔的孔径为0.02微米。需要说明的是，滤芯12的数量及过滤微孔的孔径大小以实际所需产水量及过滤效果为准，在此不作限制。请再参考图1，在本实施例中，集水腔113位于上壳体111的外表面，即集水腔113位于壳体11的外部上方，滤芯12的开口端121分别与上壳体111连接，上壳体111上对应多个滤芯12的开口端121的位置贯穿设有多个通孔(图未标)当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种过滤装置，用于超纯水系统的终端过滤环节，其包括壳体(11)与多个滤芯(12)，所述多个滤芯(12)安装于所述壳体(11)内，其特征在于：所述壳体(11)的底部设有进水口(13)，所述壳体(11)的顶部设有集水腔(113)及与所述集水腔(113)连通的出水口(14)，每个滤芯(12)的顶端为开口端(121)，每个滤芯(12)的底端为封闭端，所述多个滤芯(12)的开口端(121)分别与所述集水腔(113)连通，所述多个滤芯(12)的封闭端朝向所述进水口(13)，需要过滤的水从所述进水口(13)进入所述壳体(11)内，透过所述多个滤芯(12)并在所述多个滤芯(12)内形成过滤水，所述过滤水通过所述多个滤芯(12)的开口端(121)进入并汇聚在所述集水腔(113)内，再经由所述出水口(14)排出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海志，张学玉，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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