检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。

【技术实现步骤摘要】
检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法
本专利技术的实施方式涉及检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法。
技术介绍
在现有技术中，公知的是利用了有机EL(Electroluminescence：电致发光)发光的发光二极管即有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。使用了有机发光二极管的有机EL显示器不仅薄型轻量且低耗电，而且具有在响应速度和视角以及对比度方面优异这样的优点。因此，近年来作为下一代的平板显示器(FPD)受到关注。有机发光二极管具有在基板上的阳极与阴极之间夹着有机EL层的构造。有机EL层例如从阳极侧起依次层叠空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层而形成。在这样的层叠结构中，例如空穴注入层、空穴输送层和发光层分别通过在基板上以喷涂方式涂敷有机材料，并在减压环境下使涂敷有有机材料的基板干燥来形成(例如参照专利文献1)。但是，上述的直至干燥完成的干燥时间例如根据被涂敷在基板的有机材料的种类和量、基板的表面状态等各种因素而发生变化。因此，例如在量产有机发光二极管的情况下，需要事先设定最佳的干燥时间的工作。在现有技术中，例如，将进行干燥处理的时间一点一点改变的同时制作大量的样品，测量所制作的样品的各层的膜厚和光学特性。然后，在得到了良好的测定结果的样品的情况下，断定为可靠地完成了干燥，将对这样的样品所进行的干燥处理的时间设定为最佳的干燥时间。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-181079号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题但是，在现有技术中，因为通过在样品做成后测量膜厚和光学特性，检测基板的干燥状态，所以需要较多的时间。因此，在现有技术中，对于在早期检测基板的干燥状态方面还有改善的余地。实施方式的一个方式的目的在于，提供一种能够在早期检测在基板涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态的检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法。用于解决技术问题的技术方案实施方式的一个方式的检查装置具有拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部拍摄在基板中涂敷有有机材料的涂敷区域。干燥状态检测部基于由上述拍摄部拍摄的上述涂敷区域的色浓度来检测上述涂敷区域的干燥状态。专利技术效果根据实施方式的一个方式，能够在早期检测出基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。附图说明图1是表示有机发光二极管的构成的概况的示意截面图。图2是表示有机发光二极管的堤的构成的概括的示意平面图。图3是表示有机发光二极管的制造方法的主要的步骤的流程图。图4是表示本实施方式的基板处理系统的构成的概括的示意平面图。图5A是表示涂敷有用于形成空穴注入层的有机材料的基板的示意截面图。图5B是表示在减压干燥装置中被减压干燥后的基板的示意截面图。图6A是表示涂敷有用于形成空穴输送层的有机材料的基板的示意截面图。图6B是表示在减压干燥装置中被减压干燥后的基板的示意截面图。图7A是表示涂敷有用于形成发光层的有机材料的基板的示意截面图。图7B是表示在减压干燥装置中被减压干燥后的基板的示意截面图。图8是表示本实施方式的减压干燥装置的构成的示意平面图。图9是表示图8的IX－IX线示意截面图。图10是表示控制装置的框图。图11是放大表示拍摄部所拍摄的拍摄图像的一部分的示意放大图。图12是表示减压干燥处理中由色浓度测量部所测量的色浓度的图表。图13是表示具备本实施方式的检查装置的减压干燥装置中，设定干燥时间的处理的处理流程的流程图。图14是表示周边部的涂敷区域和中央部的涂敷区域的G色浓度的图表。图15是表示第二实施方式的拍摄单元的拍摄部附近的示意放大截面图。附图标记说明11、311拍摄部12、312照明部21涂敷区域100基板处理系统121c、122c、123c减压干燥装置140控制装置141控制部141a照明控制部141b拍摄控制部141c图像取得部141d色浓度测量部141e判断部141f干燥状态检测部141g减压控制部141h升降控制部160基板保持机构161保持部163升降部170减压机构200检查装置400偏振滤光片G基板。具体实施方式以下，基于附图详细说明本专利技术所公开的检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法的实施方式。此外，本专利技术并不限定于以下所示的实施方式。(第一实施方式)<1.有机发光二极管的构成和制造方法>首先，利用图1～图3对有机发光二极管的构成的概况及其制造方法进行说明。图1是表示有机发光二极管500的构成的概况的示意性截面图。图2是表示有机发光二极管500的堤(bank)540的构成的概略的示意性平面图。图3是表示有机发光二极管500的制造方法的主要步骤的流程图。如图1所示，有机发光二极管500在作为基板的玻璃基板G(以下记作“基板G”)上具有在阳极510和阴极520之间夹着有机EL层530的构造。有机EL层530通过从阳极510侧依次层叠空穴注入层531、空穴输送层532、发光层533、电子输送层534和电子注入层535而形成。具体而言，首先，在阳极形成处理(图3的步骤S101)中，在基板G上形成阳极510。阳极510例如使用蒸镀法形成。此外，在阳极510例如使用由ITO(IndiumTinOxide：氧化铟锡)构成的透明电极。接着，在堤形成处理(图3的步骤S102)中，在阳极510上形成堤540。堤540例如通过光刻处理或者蚀刻处理等图案化为规定的图案。如图2所示，堤540在行方向和列方向上形成有多个。并且，在堤540的内部，如后文所述，层叠有机EL层530和阴极520而形成像素。在堤540中，例如使用感光性聚酰亚胺树脂。接着，在堤540的阳极510上形成有机EL层530。具体而言，在空穴注入层形成处理(图3的步骤S103)中，在阳极510上形成空穴注入层531。然后，在空穴输送层形成处理(图3的步骤S104)中，在空穴注入层531上形成空穴输送层532。然后，在发光层形成处理(图3的步骤S105)中，在空穴输送层532上形成发光层533。此外，在发光层533中包含R色发光层(红色发光层)、G色发光层(绿色发光层)和B色发光层(蓝色发光层)。接着，在电子输送层形成处理(图3的步骤S106)中，在发光层533上形成电子输送层534，在电子注入层形成处理(图3的步骤S107)中，在电子输送层534上形成电子注入层535。在本实施方式中，在后述的基板处理系统100中分别形成空穴注入层531、空穴输送层532和发光层533。在基板处理系统100中，依次进行基于喷涂方式的有机材料的涂敷处理、有机材料的减压干燥处理、有机材料的烧制处理，形成这些空穴注入层531、空穴输送层532和发光层533。此外，关于空穴注入层531、空穴输送层532和发光层533的形成使用图4～图7B等进行叙述。另外，电子输送层534和电子注入层535分别例如使用蒸镀法形成。并且，在阴极形成处理(图3的步骤S108)中，在电子注入层535上形成阴极520。阴极520例如使用蒸镀法形成。此外，在阴极520中例如能够使用铝。并且，为了将经由步骤S101～S108所形成的层叠构造与大气中的水分等阻隔，对其进行密封处理(图3的步骤S109)。在经由这样的成膜步骤～密封步骤所制造的有机发光二极管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，其特征在于，包括：对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄的拍摄部；和干燥状态检测部，其基于由所述拍摄部拍摄的所述涂敷区域的色浓度来检测所述涂敷区域的干燥状态。

【技术特征摘要】
2015.10.09 JP 2015-2008691.一种检查装置，其特征在于，包括：对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄的拍摄部；和干燥状态检测部，其基于由所述拍摄部拍摄的所述涂敷区域的色浓度来检测所述涂敷区域的干燥状态。2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，包括：判断部，其计算出表示所述涂敷区域的色浓度的变化的值，并判断所述计算出的值是否在预先设定的规定范围内，在由所述判断部判断为所述计算出的值在所述规定范围内的情况下，所述干燥状态检测部检测出所述涂敷区域已成为干燥了的状态。3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：所述色浓度包括红色浓度、绿色浓度和蓝色浓度，所述干燥状态检测部依照所述涂敷区域的种类选择所述红色浓度、所述绿色浓度和所述蓝色浓度中的至少一种色浓度，基于所述选择的色浓度来检测所述干燥状态。4.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：所述干燥状态检测部基于所述涂敷区域中多个部位的色浓度来检测所述干燥状态。5.如权利要求1或2所述的检...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐田彻也，佐竹顺，植田稔彦，西山淳，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP