基板载置台以及具备其的基板处理装置制造方法及图纸

基板载置台(10)包括：载置基板(S)的载置面(13)；设置于载置面(13)，用于吸附基板(S)的吸附槽(15)；和在载置面(13)的至少一部分随机地设置的多个微小的凹凸(16)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种基板载置台，其特征在于，包括：载置基板的载置面；设置于所述载置面，用于吸附所述基板的吸附槽；和在所述载置面的至少一部分随机地设置的多个微小的凹凸。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田吉典，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP