7600nm长波通红外滤光敏感元件制造技术

本发明专利技术公开了一种7600nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明专利技术所得到的一种7600nm长波通红外滤光敏感元件，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件50％Cut on=7600±50nm，7700～11000nm，Tavg≥90%，8000～11000nm，T≥88%，1500～7400nm，T≤3%。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种7600nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Ge为原材料的基板（2），以Ge、ZnS为第一镀膜层（1）和以Ge、ZnS为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有165nm厚度的Ge层、237nm厚度的ZnS层、223nm厚度的Ge层、411nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、338nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、254nm厚度的ZnS层、171nm厚度的Ge层、263nm厚度的ZnS层、157nm厚度的Ge层、499nm厚度的ZnS层、141nm厚度的Ge层、247nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、273nm厚度的ZnS层、391nm厚度的Ge层、178nm厚度的ZnS层、166nm厚度的Ge层、487nm厚度的ZnS层、131nm厚度的Ge层、623nm厚度的ZnS层、183nm厚度的Ge层、263nm厚度的ZnS层、310nm厚度的Ge层、498nm厚度的ZnS层、139nm厚度的Ge层、583nm厚度的ZnS层、191nm厚度的Ge层、363nm厚度的ZnS层、344nm厚度的Ge层、888nm厚度的ZnS层、69nm厚度的Ge层、291nm厚度的ZnS层、49nm厚度的Ge层、402nm厚度的ZnS层、614nm厚度的Ge层、949nm厚度的ZnS层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有178nm厚度的Ge层、371nm厚度的ZnS层、309nm厚度的Ge层、614nm厚度的ZnS层、381nm厚度的Ge层、530nm厚度的ZnS层、264nm厚度的Ge层、571nm厚度的ZnS层、94nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、292nm厚度的Ge层、575nm厚度的ZnS层、366nm厚度的Ge层、654nm厚度的ZnS层、347nm厚度的Ge层、802nm厚度的ZnS层、274nm厚度的Ge层、663nm厚度的ZnS层、411nm厚度的Ge层、736nm厚度的ZnS层、276nm厚度的Ge层、576nm厚度的ZnS层、525nm厚度的Ge层、653nm厚度的ZnS层、240nm厚度的Ge层、575nm厚度的ZnS层、558nm厚度的Ge层、1070nm厚度的ZnS层。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕晶，胡伟琴，王继平，
申请(专利权)人：杭州麦乐克电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33