一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法技术

技术编号:11411440 阅读:90 留言:0更新日期:2015-05-06 11:12
本发明专利技术公开一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后将贴合在一起的硅橡胶膜与金属Ti放入烘箱中进行加热处理;加热完成后,从烘箱取出硅橡胶膜与金属Ti,完成了硅橡胶膜与金属Ti的永久性粘结。本发明专利技术提出的粘结方法不需要额外的粘结剂,只需要对硅橡胶膜与Ti层进行表面处理——反应离子刻蚀,然后将它们贴合在一起,最后进行加热处理即可。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后将贴合在一起的硅橡胶膜与金属Ti放入烘箱中进行加热处理;加热完成后,从烘箱取出硅橡胶膜与金属Ti,完成了硅橡胶膜与金属Ti的永久性粘结。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶向东蔡安江阮晓光
申请(专利权)人:西安建筑科技大学
类型:发明
国别省市:陕西;61

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