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一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法技术
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文档序号:11411440
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本发明公开一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后...
该专利属于西安建筑科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安建筑科技大学授权不得商用。
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