下载一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法的技术资料

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本发明公开一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后...
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