力检测装置、机器人、电子部件输送装置以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。所述力检测装置具备：第一基部；第二基部；元件，其被设置在第一基部与第二基部之间，根据外力来输出电荷；转换电路，其将从元件输出的电荷转换为电压；补偿用转换电路，其对转换电路进行温度补偿；温度传感器，其检测转换电路的温度；以及外力运算电路，其根据温度传感器的检测结果、从转换电路输出的电压、和从补偿用转换电路输出的电压来运算外力。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基部；第二基部；元件，其被设置在所述第一基部与所述第二基部之间，根据外力来输出电荷；转换电路，其将从所述元件输出的所述电荷转换为电压；补偿用转换电路，其对所述转换电路进行温度补偿；温度传感器，其检测所述转换电路的温度；以及外力运算电路，其根据所述温度传感器的检测结果、从所述转换电路输出的电压、以及从所述补偿用转换电路输出的电压来运算所述外力。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松本隆伸，斋藤英俊，荒川丰，神谷俊幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP