【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种立轴式激光小角度测量装置,其特征在于:它包括干涉镜组(2)、轴系(3)和微动机构(6),所述的轴系(3)上设有正弦臂(4)和旋转臂(5),所述的干涉镜组(2)位于轴系(3)的一侧,微动机构(6)位于轴系(3)的另一侧;所述的干涉镜组(2)包括沿着光入射方向依次安装的偏振分光棱镜(17)和反射镜A(18),所述的反射镜A(18)的上方光反射方向上设有反射镜B(19),偏振分光棱镜(17)的下方分光方向上设有反射镜C(20),所述的反射镜B(19)的光反射方向上设有上角隅棱镜(11),所述的反射镜C(20)的光反射方向上设有下角隅棱镜(21);所述的轴系(3)包括主轴(22)和套装在主轴(22)外的轴套(12),轴套(12)上固定设有压盖(14),所述的主轴(22)和轴套(12)之间安装有轴承;所述的正弦臂(4)固定安装在主轴(22)上,所述的主轴(22)的上端为平面的工作台(10);所述的正弦臂(4)的两端分别固定上述上角隅棱镜(11)和下角隅棱镜(21)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘勇,梁雅军,王东伟,霍晓飞,
申请(专利权)人:北京航天计量测试技术研究所,中国运载火箭技术研究院,
类型:发明
国别省市:北京;11
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