一种蓝宝石长晶设备的晶转机构制造技术

技术编号:11378708 阅读:102 留言:0更新日期:2015-04-30 21:56
公开了一种蓝宝石长晶设备的晶转机构,包括水冷系统、底部密封件、顶部密封件和称重系统,水冷系统通过底部密封件与晶体炉(18)连接,通过顶部密封件与称重系统连接,顶部密封件设置密封法兰(12)和磁流体(9),密封法兰(12)设置法兰盘和中心圆柱,磁流体(9)设置在法兰盘上,称重系统设置称重容腔(2),容腔顶盖(1),称重传感器(3),籽晶杆支架(4)和籽晶杆(5),称重容腔(2)套在密封法兰(12)的中心圆柱上,中心圆柱和称重容腔(2)之间设置第一轴承(10)和第二轴承(11),磁流体(9)套在称重容腔(2)上,进行真空密封,水冷系统设置水冷套管(13),水冷套管(13)设置进水口、进水管(16)、出水口和出水管(17),水冷套管(13)安装在连接套管(14)上,连接套管(14)与密封法兰(12)和底部密封件连接。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蓝宝石长晶设备的晶转机构,其特征在于:包括水冷系统、底部密封件、顶部密封件和称重系统,所述的水冷系统与提拉平台(19)刚性连接,并通过所述的底部密封件与晶体炉(18)连接,通过所述的顶部密封件与所述的称重系统连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐波胡张通刘瑜杜慧江
申请(专利权)人:杭州晶一智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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