【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光罩制作过程中的参数优化方法,其特征在于,所述方法包括:参数选取步骤:选取至少3种影响光罩品质的参数,每种参数赋予预定数目个参数值,以构成实验用正交表,其他参数保持固定不变;实验步骤:根据所述正交表进行实验获得实验结果,并对每次实验的结果进行参数设计,求出每个参数在不同取值时的平均信噪比值即S/N;及绘图步骤:根据所述S/N绘制S/N效应图,通过所述S/N效应图分析预测出优化参数组合。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杜武兵,林伟,
申请(专利权)人:深圳市路维光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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