转移治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种转移治具，包括第一主体和至少两个夹持部。其中，夹持部连接于第一主体，且分布在第一主体的相对的两侧，夹持部上设置有夹持槽，夹持槽用于夹持第一光罩。通过夹持部上的夹持槽来夹持第一光罩，然后再通过搬运第一主体来实现对第一光罩的搬运目的，在第一光罩的搬运过程中无需人为接触，从而减少了许多痕迹，同时有效降低了废品率。同时有效降低了废品率。同时有效降低了废品率。

【技术实现步骤摘要】
转移治具


[0001]本技术涉及光罩生产领域，尤其涉及转移治具。

技术介绍

[0002]在相关技术中，往往通过人为接触的方式来转移光罩，在转移过程中，无法避免地会留下许多痕迹，且容易碰到光学膜，造成光学膜报废，提高了废品率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种转移治具，能够有效降低废品率。
[0004]本技术一方面实施例提供了转移治具，包括：
[0005]第一主体；
[0006]至少两个夹持部，所述夹持部连接于所述第一主体，且分布在所述第一主体的相对的两侧，所述夹持部上设置有夹持槽，所述夹持槽用于夹持第一光罩。
[0007]根据本技术实施例的转移治具，至少具有如下技术效果：
[0008]通过夹持部上的夹持槽来夹持第一光罩，然后再通过搬运第一主体来实现对第一光罩的搬运目的，在第一光罩的搬运过程中无需人为接触，从而减少了许多痕迹，同时有效降低了废品率。
[0009]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括第一防护部，所述第一防护部连接于所述第一主体，所述第一防护部用于防止所述第一光罩脱离所述夹持槽。
[0010]根据本技术的一些实施例的转移治具，所述第一防护部包括第一限位件和第一调向件，所述第一限位件连接于所述第一调向件，所述第一调向件固定于所述第一主体，所述第一限位件能够相对于所述第一调向件定轴转动。
[0011]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括第二主体和第二防护部，所述第二主体固定于所述第一主体连接有所述第一防护部的侧面，所述第二防护部连接于所述第二主体，所述第二防护部用于防止第二光罩脱离所述夹持槽，所述第二光罩的长度长于所述第一光罩的长度。
[0012]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括调位部，所述调位部包括调位件，所述调位件连接于所述第一主体，且能够相对于所述第一主体发生移动，所述调位件抵在所述夹持部的一端，所述夹持部能够在所述调位件的作用下相对于所述第一主体发生定轴转动。
[0013]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括定位部，所述定位部固定于所述第一主体设置有所述夹持部的侧面，所述定位部上设置有定位槽，所述定位槽用于辅助所述夹持槽夹持所述第一光罩。
[0014]根据本技术的一些实施例的转移治具，所述调位部还包括第一转动件、第二转动件和卡接件，所述第一转动件和所述第二转动件均连接于所述调位件，且均能够相对
于所述调位件定轴旋转，所述卡接件固定于所述第一主体，且设置于所述第一转动件与所述第二转动件之间，所述卡接件的两侧设置有第一锯齿，所述第一转动件的朝向所述卡接件的侧面，和所述第二转动件的朝向所述卡接件的侧面上均设置有第二锯齿，所述第一锯齿能够与所述第二锯齿相啮合。
[0015]根据本技术的一些实施例的转移治具，所述调位部还包括锁死件，所述锁死件连接于所述调位件，且能够相对于所述调位件定轴转动，当所述锁死件的一部分转动至所述第一转动件与所述第二转动件之间时，所述第一锯齿啮合于所述第二锯齿，当所述锁死件完全从所述第一转动件与所述第二转动件之间脱离时，所述第一锯齿能够与所述第二锯齿相分离。
[0016]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括监测部，所述监测部固定于所述第一主体，所述监测部用于监测所述第一光罩在所述夹持槽中的位置。
[0017]根据本技术的一些实施例的转移治具，还包括扶手，所述扶手固定于所述第一主体，所述扶手用于搬运所述第一主体。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1为本技术实施例中转移治具的立体示意图；
[0021]图2为本技术实施例中转移治具的右视图；
[0022]图3为本技术实施例中,在仰视视角下，当第一锯齿与第二锯齿相啮合时，调位部的结构示意图；
[0023]图4为本技术实施例中，在仰视视角下，当调位件可移动时，调位部的结构示意图。
[0024]附图标记：第一主体100、第一面101、第二面102、第三面103、第四面104、第二主体110、扶手120、夹持部200、夹持槽210、定位部220、第一防护部300、第一限位件310、第一调向件320、第一调向孔321、第一定位销330、第二防护部400、第二限位件410、第二调向件420、第二调向孔421、第二定位销430、调位部500、调位件510、按压槽511、第一转动件520、第一端521、第二端522、第二转动件530、第三端531、第四端532、卡接件540、第一锯齿550、第二锯齿560、第一弹性件570、锁死件580、第二光罩600。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用
新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0028]下面参考图1至图4描述根据本技术实施例的转移治具。
[0029]根据本技术一方面实施例的转移治具，包括第一主体100和至少两个夹持部200。其中，夹持部200连接于第一主体100，且分布在第一主体100的相对的两侧，夹持部200上设置有夹持槽210，夹持槽210用于夹持第一光罩。
[0030]具体地，如图1和图2所示，第一主体100呈板状，为减轻重量，还可以设计为框状，为方便描述，将第一主体100的四个面积较小的侧面分别命名为第一面101、第二面102、第三面103和第四面104，其中第一面101与第三面103互为相对的面，第二面102与第四面104互为相对的面。可以理解的是，此处的第一面101、第二面102、第三面103和第四面104仅指代第一主体100的四个不同的侧面，其面积和形状并没有受到限制，即在实际使用中，第一面101、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.转移治具，其特征在于，包括：第一主体；至少两个夹持部，所述夹持部连接于所述第一主体，且分布在所述第一主体的相对的两侧，所述夹持部上设置有夹持槽，所述夹持槽用于夹持第一光罩。2.根据权利要求1所述的转移治具，其特征在于，还包括第一防护部，所述第一防护部连接于所述第一主体，所述第一防护部用于防止所述第一光罩脱离所述夹持槽。3.根据权利要求2所述的转移治具，其特征在于，所述第一防护部包括第一限位件和第一调向件，所述第一限位件连接于所述第一调向件，所述第一调向件固定于所述第一主体，所述第一限位件能够相对于所述第一调向件定轴转动。4.根据权利要求3所述的转移治具，其特征在于，还包括第二主体和第二防护部，所述第二主体固定于所述第一主体连接有所述第一防护部的侧面，所述第二防护部连接于所述第二主体，所述第二防护部用于防止第二光罩脱离所述夹持槽，所述第二光罩的长度长于所述第一光罩的长度。5.根据权利要求1所述的转移治具，其特征在于，还包括调位部，所述调位部包括调位件，所述调位件连接于所述第一主体，且能够相对于所述第一主体发生移动，所述调位件抵在所述夹持部的一端，所述夹持部能够在所述调位件的作用下相对于所述第一主体发生定轴转动。6.根据权利要求5所述的转移治具，其特征在于，还包括定位部，所述定位部固定于所述第一主...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘猛，司继伟，杜武兵，
申请(专利权)人：深圳市路维光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：