【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于亲疏水交替表面的浸没流场密封方法,其特征在于:在浸没式光刻系统中投影透镜组(1)和待曝光硅片衬底(3)之间的浸没单元(2)的下表面进行浸没流场密封的方法,包括第一级亲疏水密封(4)以及第二级亲疏水密封(5),其中:1)第一级亲疏水密封(4)位于浸没单元(2)的回收流道(2B)与浸没单元外缘边界(2C)之间,第一级亲疏水密封(4)靠近回收流道(2B);2)第二级亲疏水密封(5)位于浸没单元(2)第一级亲疏水密封(4)的疏水环(4B)和浸没单元外缘边界(2C)之间,第二级亲疏水密封(5)靠近浸没单元外缘边界(2C)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:傅新,黄瑶,胡亮,陈文昱,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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