【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板检测装置，其特征在于，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李发顺，崔富毅，白雪飞，阮士薪，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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