下载一种基板检测装置及方法的技术资料

文档序号:11370018

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本发明公开了一种基板检测装置及方法,以准确、快速地检测基板是否存在缺陷,从而可以有效的对产品品质进行管控,减少生产成本的浪费。基板检测装置包括线光源发光装置和反射光接收装置,其中:线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光,入射光随线光源...
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