振子、振荡器、电子设备以及移动体制造技术

振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)沿与基板的法线相交的方向延伸的多个振动部(24)，设在俯视时所述振动部的从所述基部延伸的方向上的长度为L、所述振动部的与从所述基部延伸的方向相交的方向上的长度为W时，所述振动部的尺寸比(L/W)满足0.2≤(L/W)≤7.0的关系。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振子，其特征在于，该振子具有：基板；基部，其配置在所述基板上；以及振动部，其从所述基部沿与所述基板的法线相交的方向延伸，设在俯视所述基板时所述振动部的从所述基部延伸的方向上的长度为L、所述振动部的与从所述基部延伸的方向相交的方向上的长度为W时，所述振动部的尺寸比(L/W)满足0.2≤(L/W)≤7.0的关系。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：永田和幸，木原龙儿，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP