【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种顶针升降装置，其特征在于，所述顶针升降装置包括托架和顶针，其中：所述托架设置在腔室主体外，所述顶针下端穿过位于所述腔室主体的底壁上并与所述腔室主体内部相通的竖直引导孔，与所述托架连接，且所述顶针能够在所述竖直引导孔中随所述托架作竖直移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李冬冬，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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