固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备制造方法及图纸

本技术提供了能够保持焦点检测的精度且抑制图像的图像质量劣化的固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备。该固体摄像装置包括多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素。在该固体摄像装置中，所述焦点检测像素包括：微透镜；接收从所述微透镜入射的光的光电转换部；遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的遮光部；以及调暗入射到所述光电转换部上的光并且被形成为含有黑色颜料的调暗滤光片。本技术能够被应用于例如CMOS图像传感器。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了能够保持焦点检测的精度且抑制图像的图像质量劣化的固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备。该固体摄像装置包括多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素。在该固体摄像装置中，所述焦点检测像素包括：微透镜；接收从所述微透镜入射的光的光电转换部；遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的遮光部；以及调暗入射到所述光电转换部上的光并且被形成为含有黑色颜料的调暗滤光片。本技术能够被应用于例如CMOS图像传感器。【专利说明】固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备
本技术涉及固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备，且更具体地，涉及能够保持焦点检测的精度且抑制图像的图像质量劣化的固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备。
技术介绍
作为固体摄像装置中的用于检测焦点的方法，已经使用了所谓的瞳孔分割型(split-pupil type)相位差焦点检测方法,在该方法中，焦点检测像素生成与由穿过光学系统的一对光束形成的图像对应的一对图像信号，并且基于这一对所生成的图像信号的偏差量来检测焦点。 然而，因为被设置于像素区中的摄像像素和焦点检测像素具有不同的结构，所以当它们被曝光相同的曝光时间时，可能会使焦点检测像素的输出饱和。因此，在某些情况下，焦点检测的精度严重降低。 此外，在焦点检测像素中，必须在光路上使用金属等来形成遮光膜以便将图像信号分割为两个；然而，存在如下的可能性:因入射光被遮光膜反射以及入射光漏入到邻接的摄像像素中而造成的混色会使颜色再现性降低。 相比之下，已经提议了把摄像像素中所使用的分色滤光片形成于焦点检测像素中或者把半反射镜构件设置于焦点检测像素中(例如，参照日本未经审查的专利申请公开案第 2010-129783 号)。 然而，当把分色滤光片形成于焦点检测像素中时，有可能发生的是:焦点检测所必需的光量被减少了，从而导致焦点检测的精度降低。此外，当把半反射镜构件设置于焦点检测像素中时，有可能发生的是:由于入射光的不规则反射而出现重影(ghosting)，从而导致图像的图像质量的劣化。
技术实现思路
目前所期望的是能够保持焦点检测的精度并且能够抑制图像的图像质量的劣化。 本技术的一个实施例提供了一种固体摄像装置，其包括多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素。在所述固体摄像装置中，所述焦点检测像素包括:微透镜；接收从所述微透镜入射的光的光电转换部；遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的遮光部；以及调暗入射到所述光电转换部上的光并且被形成为含有黑色颜料的调暗滤光片。 在所述固体摄像装置中，所述黑色颜料可以含有碳黑。 在所述固体摄像装置中，所述黑色颜料可以含有钛黑。 在所述固体摄像装置中，所述调暗滤光片的折射率可以大约是1.5至2.0。 在所述固体摄像装置中，所述调暗滤光片在可见光的波长带域内的透过率可以大约是5%至95%。 在所述固体摄像装置中，所述调暗滤光片的膜厚度可以大约是200nm至1200nm。 本技术的另一个实施例提供了一种固体摄像装置制造方法，所述固体摄像装置包括多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素，并且在所述固体摄像装置中所述焦点检测像素包括:微透镜；接收从所述微透镜入射的光的光电转换部；遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的遮光部；以及调暗入射到所述光电转换部上的光的调暗滤光片。所述方法包括:用含有黑色颜料的树脂形成所述调暗滤光片。 本技术的又一实施例提供了一种电子设备，其包括固体摄像装置，所述固体摄像装置包括多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素。在所述固体摄像装置中，所述焦点检测像素包括:微透镜；接收从所述微透镜入射的光的光电转换部；遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的遮光部；以及调暗入射到所述光电转换部上的光并且被形成为含有黑色颜料的调暗滤光片。 在本技术的各实施例中，所述焦点检测像素包括所述微透镜、接收从所述微透镜入射的光的所述光电转换部、遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分的所述遮光部、以及调暗入射到所述光电转换部上的光并且由含有黑色颜料的树脂形成的所述调暗滤光片。 根据本技术的各实施例，能够保持焦点检测的精度且能够抑制图像的图像质量的劣化。 【专利附图】【附图说明】 图1是示出了应用了本技术的固体摄像装置的构造示例的框图； 图2是用于说明像素阵列部的像素配置的图； 图3是示出了本技术的摄像像素和焦点检测像素的构造示例的截面图； 图4是用于说明本技术的焦点检测像素中的优点的图； 图5是用于说明本技术的焦点检测像素中的优点的图； 图6是用于说明本技术的焦点检测像素中的优点的图； 图7是示出了调暗滤光片(dimming filter)的透过率跟与邻接像素的混色量之间的关系的图； 图8是用于说明像素形成处理的流程图； 图9A至图9F是用于说明像素形成的工艺的图；以及 图10是示出了应用了本技术的电子设备的构造示例的框图。 【具体实施方式】 以下，将参照附图来说明本技术的实施例。 固体摄像装置的构造示例 图1是示出了应用了本技术的固体摄像装置的实施例的框图。下面的说明是针对于表面照射型的互补金属氧化物半导体(CMOS:Complementary Metal OxideSemiconductor)图像传感器(它是放大型固体摄像装置之一)的构造。本技术不仅能够被应用于表面照射型的CMOS图像传感器，还能够被应用于背面照射型的CMOS图像传感器或者电荷传输型的固体摄像装置，例如其他的放大型固体摄像装置和电荷耦合器件(CCD:Charge Coupled Device)图像传感器诸如此类。 图1所示的CMOS图像传感器10被构造成具有:形成于半导体基板(未图示)上的像素阵列部11;以及与像素阵列部11集成于该同一半导体基板上的周边电路部。这些周边电路部被构造成具有例如垂直驱动部12、列处理部13、水平驱动部14和系统控制部15。 此外，CMOS图像传感器10还包括信号处理部18和数据存储部19。 像素阵列部11采用如下的构造:该构造中，具有光电转换部的单位像素(以下，简称为像素)呈二维状地被布置于行方向和列方向上，即，以矩阵的方式被布置着，所述光电转换部用于生成与受光量对应的光电电荷且用于积累光电电荷。这里，行方向代表着像素行中的像素的排列方向(水平方向)，并且列方向代表着像素列中的像素的排列方向(垂直方向)。多个像素被设置于像素阵列部11中，所述多个像素包括:生成用来基于所接收的对象光而生成摄取图像的信号的像素(摄像像素)；以及生成用来检测焦点的信号的像素(焦点检测像素)。 在像素阵列部11中，像素排列以矩阵的方式而被设置着，其中，对应于各像素行而将像素驱动线16沿着行方向进行布线，并且对应于各像素列而将垂直信号线17沿着列方向进行布线。当从像素读出信号时，像素驱动线16传输用于执行驱动的驱动信号。在图1中，像素驱动线16被示出为一条布线；然而，其不局限于一条。像素驱动线16的一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像装置，其包括：多个像素，所述多个像素包括用于生成摄取图像的摄像像素和用于检测焦点的焦点检测像素，其中所述焦点检测像素包括：微透镜；光电转换部，所述光电转换部接收从所述微透镜入射的光；遮光部，所述遮光部遮挡入射到所述光电转换部上的光的一部分；以及调暗滤光片，所述调暗滤光片调暗入射到所述光电转换部上的光，并且被形成为含有黑色颜料。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：原沢正规，关勇一，狭山征博，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP