光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。该光学装置用于使镜的反射面变形，所述光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，并且被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。

【技术实现步骤摘要】
光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法
本专利技术涉及一种用于使镜的反射面变形的光学装置、使用该光学装置的投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。
技术介绍
由于天文望远镜以及用来制造半导体设备等的曝光装置需要提高分辨率，因此有必要精确地校正这些装置中使用的光学系统的光学像差。为了实现此，提出了如下光学装置：通过使光学系统中包括的镜的反射面变形，校正光学系统的光学像差(参见专利文献1和2)。专利文献1和2中描述的各光学装置具有各自用于向镜的背面(与反射面相背对的面)施加力的多个致动器，并且能够通过控制各致动器的驱动以使镜的反射面变形，校正光学系统的光学像差。如果当光学装置使镜的反射面变形时镜发生振动，则可能难以精确地校正光学系统的光学像差。因此，需要光学装置以镜的固有频率变高的方式支持镜。然而，在专利文献1和2中描述的光学装置中，使用具有低刚度的致动器作为用于向镜的背面施加力的各致动器，并且能够由支持构件在镜的周边部支持镜。因此，在专利文献1和2中描述的光学装置中，难以以镜的固有频率变高的方式支持镜。[专利文献1]日本特开第2005-4146号公报[专利文献2]日本特开第2004-64076号公报
技术实现思路
本专利技术提供例如一种在使镜的反射面变形方面有利的光学装置。根据本专利技术的一个方面，提供了一种用于使镜的反射面变形的光学装置，该光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自具有连接到与所述镜的所述反射面相背对的面的第一端子以及连接到所述底板的第二端子，并且被构造为通过以改变所述第一端子与所述第二端子之间的距离的方式进行变形，向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，布置在所述镜与所述底板之间，并且被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。根据本专利技术的一个方面，提供了一种物品的制造方法，该物品的制造方法包括以下步骤：使用曝光装置对基板进行曝光；使所曝光的基板显影；以及对所显影的基板进行处理以制造所述物品，其中，用于对所述基板进行曝光的所述曝光装置包括投影光学系统，该投影光学系统具有光学装置，其中，用于使镜的反射面变形的所述光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自具有连接到与所述镜的所述反射面相背对的面的第一端子以及连接到所述底板的第二端子，并且被构造为通过以改变所述第一端子与所述第二端子之间的距离的方式进行变形，向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，布置在所述镜与所述底板之间，并且被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其他特征将变得清楚。附图说明图1A是示出根据第一实施例的光学装置的截面图；图1B是示出根据第一实施例的光学装置的图；图2是示出根据第一实施例的光学装置的截面图；图3是示出第二致动器的示例的图；图4是示出当生成柔度矩阵时的光学装置的布置的截面图；图5是示出根据第二实施例的光学装置的截面图；图6是示出根据第二实施例的光学装置的截面图；图7是示出根据第三实施例的光学装置的截面图；图8是示出曝光装置的图；图9是示出使用耦合机构连接第一致动器和镜的情况的图；图10是用于说明耦合机构的图；图11A是用于说明使用耦合机构对光学装置的组装的截面图；图11B是用于说明使用耦合机构对光学装置的组装的截面图；图11C是用于说明使用耦合机构对光学装置的组装的截面图；以及图11D是用于说明使用耦合机构对光学装置的组装的截面图。具体实施方式下面，将参照附图描述本专利技术的示例性实施例。请注意，相同的附图标记在所有图中表示相同的构件，并且将不给出其重复描述。<第一实施例>将参照图1A描述根据第一实施例的光学装置100。图1A是示出根据第一实施例的光学装置100的截面图。第一实施例的光学装置100包括镜1、底板6、多个第一致动器2、多个第二致动器4、多个位移传感器3以及控制单元15。控制单元15包括CPU和存储器，并且控制各第一致动器2的驱动以及各第二致动器4的驱动。镜1包括反射光的反射面1a、以及作为与反射面1a相背对的面的背面1b。镜1经由多个第一致动器2被底板6支持。镜1可以经由至少3个第一致动器2被底板6支持。各第一致动器2包括连接到镜1的背面1b的第一端子2a、以及连接到底板6的第二端子2b。各第一致动器2能够变形，以改变第一端子2a与第二端子2b之间的距离，从而将力施加至背面1b上的连接第一端子2a的位置。诸如压电致动器、磁致伸缩元件或电丝杠等具有高刚度的致动器被用作第一致动器2。参照图1A，第一致动器2的第一端子2a直接连接到镜1的背面1b，第一致动器2的第二端子2b直接连接到底板6。然而，本专利技术并不限于此。例如，第一致动器2的第一端子2a可以经由弹性构件或刚体连接到镜1的背面1b，第一致动器2的第二端子2b可以经由弹性构件或刚体连接到底板6。由于光学装置100包括多个第一致动器2，因此当组装光学装置100时难以使所有第一致动器的长度与预定值匹配。因此，镜1在组装时可能被扭曲。为了在维持镜1的满意的形状精度的同时组装光学装置100，有必要吸收各第一致动器2的长度的误差。此外，驱动镜1以使其变形，因此镜1具有低刚度，并且容易因外力而变形。由于一般的螺纹紧固方法对镜1施加外力，因此无法在组装时使用该方法，从而使得不能够维持满意的形状精度。如图9所示，耦合机构18能够通过吸收各第一致动器2的长度的误差，连接镜1和第一致动器2。耦合机构18能够根据各第一致动器2的长度的误差(第一端子2a与第二端子2b之间的距离的误差)进行调整。下面，将参照图10描述耦合机构18。耦合机构18包括锥形部18a、V形槽部18b及球端杆18c。锥形部18a由磁铁部18a2以及形成有圆锥状凹槽(下文中称为“锥形”)的、由非磁性材料制成的非磁性锥形部18a1构成。在V形槽部18b中，在垂直方向上形成V形槽。锥形部18a连接到镜1，V形槽部18b连接到第一致动器2。球端杆18c的锥形部18a侧的球由磁性材料制成。下面，将参照图11A至图11D说明使用耦合机构18对光学装置100的组装。图11A至图11D是各自示出由图10中的单点划线表示的面的截面图。锥形部18a被附装到镜1侧，V形槽部18b被附装到第一致动器2。如图11A所示，使球端杆18c的一个球沿V形槽部18b的V形槽接触。如图11B所示，使球与V形槽轻微接触。如图11C所示，在使球与V形槽保持轻接触的同时，另一个球被插入至锥形部18a的锥形。此时，锥形部18a的磁铁部18a2的磁力吸引球。因此，没有必要施加力以将球插入至锥形部18a，从而使由于施加力以插入球而导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于使镜的反射面变形的光学装置，该光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自具有连接到与所述镜的所述反射面相背对的面的第一端子以及连接到所述底板的第二端子，并且所述多个第一致动器被构造为通过以改变所述第一端子与所述第二端子之间的距离的方式进行变形，向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，布置在所述镜与所述底板之间，并且所述多个第二致动器被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。

【技术特征摘要】
2013.09.30 JP 2013-2053531.一种用于使镜的反射面变形的光学装置，该光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自具有连接到与所述镜的所述反射面相背对的面的第一端子以及连接到所述底板的第二端子，并且所述多个第一致动器被构造为通过改变所述第一端子与所述第二端子之间的距离以使所述镜的反射面变形，来向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，布置在所述镜与所述底板之间，并且所述多个第二致动器被构造为向与所述反射面相背对的面施加力以使所述镜的反射面变形，其中，所述多个第二致动器中的各个包括彼此不接触的定子和可动元件，并且所述定子和所述可动元件中的一个被固定至所述镜，并且另一个被固定至所述底板；多个传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于由所述多个传感器检测到的信息，确定所述多个第一致动器中的各个的驱动命令值和所述多个第二致动器中的各个的驱动命令值，以使所述反射面的形状改变为目标形状，并且基于所确定的驱动命令值，对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制，其中，所述多个第一致动器以在相邻的第一致动器之间布置有所述多个第二致动器中的至少一个的方式彼此分开布置。2.根据权利要求1所述的光学装置，所述光学装置还包括：固定构件，其被构造为将所述镜的一部分固定至所述底板。3.根据权利要求1所述的光学装置，其中，所述多个第二致动器中的各个被构造为驱动可动元件，所述可动元件包括连接到所述镜的弹性构件。4.根据权利要求1所述的光学装置，其中，所述多个传感器包括位移传感器，所述位移传感器被构造为检测所述多个第一致动器中的各个的所述第一端子与所述第二端子之间的位移，作为表示所述驱动状态的信息。5.根据权利要求1所述的光学装置，其中，所述多个传感器中的各个包括力传感器，所述力传感器被构造为检测由所述多个第一致动器中的各个施加至与所述反射面相背对的面的力，作为表示所述驱动状态的信息。6.根据权利要求1所述的光学装置，所述光学装置还包括：基准板，其布置在所述镜与所述底板之间，其中，所述多个传感器中的各个检测所述基准板与所述镜之间的距离，作为表示所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔长植，井本浩平，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP