本实用新型专利技术涉及一种光阻预烤炉加热器的多区结构，特别是指一种运用在液晶显示设备(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品质量及生产良率。其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于底部的支撑底板向上依序设置有加热器及热板，使加热器可对热板进行加热，而加热器以复数个相等区域分布在热板下方，则该热板能投影加热器的数量产生复数个小分区，且该每一小分区可独立控制温度，以调整热板的各区域的温度，控制热板中央、环边或端边的温度一致，使放置于热板上烘烤的玻璃基板达到均匀受热。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种光阻预烤炉加热器的多区结构，特别是指一种运用在液晶显示设备(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品质量及生产良率。其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于底部的支撑底板向上依序设置有加热器及热板，使加热器可对热板进行加热，而加热器以复数个相等区域分布在热板下方，则该热板能投影加热器的数量产生复数个小分区，且该每一小分区可独立控制温度，以调整热板的各区域的温度，控制热板中央、环边或端边的温度一致，使放置于热板上烘烤的玻璃基板达到均匀受热。【专利说明】光阻预烤炉加热器的多区结构
本技术有关于一种光阻预烤炉加热器的多区结构，其于热板下方设置复数个加热器，使热板透过加热器的数量的投影产生复数个相同的小分区，并凭借每一小分区的独立温度控制，使热板表面的温度达到均匀一致。
技术介绍
目前，玻璃基板是液晶显示设备(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示设备(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示设备(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精度的要求近乎完美。 其次，液晶显示设备(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，在无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示设备(TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。 因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅第I图所示，该基板I进行烘烤时，先将基板I放在热板11上，再凭借热板11的热度使基板I表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70-150°C，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以1-15个区域设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已经设置1-15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响液晶显示设备的生产质量。 有鉴于此，专利技术人特别针对加热装置进行改良，而研发一种加热器的位置设定，其在热板下方分设有复数个加热器，并对应加热器的数量投影在热板上，使热板产生有复数个相同面积的小分区，且该小分区都为独立的温度控制，则加热器能针对每一小分区的温度进行单独加热，有效提升加热区域内的温度均匀一致，当加热区域在温度偏离设定值时可以更快速的进行回复至设定范围内，以增加热板的均温性，并提高产品生产良率，显为一理想的光阻预烤炉热板的加热器的改良。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的在于:提供一种光阻预烤炉加热器的多区结构，特别是指一种运用在液晶显示设备(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品质量及生产良率。 为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是:一种光阻预烤炉加热器的多区结构，其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部的支撑底板向上依序设有加热器及热板，该加热器能对该热板进行加热，该腔体的顶端面则利用一上盖板将其封闭成一加热空间，该加热空间仅保留侧边的排风口，以便于空气流通， 该加热器以复数个设置在该热板下方的小分区组成，该小分区能够使该热板能投影该加热器，且该小分区在该热板上划分成相等面积，该小分区的以直轴区及横轴区的隐形线交错产生，使直轴区及横轴区都能分别划出复数个加热小分区，且在该每一小分区内或小分区下方的加热器内设有温度传感器，该温度传感器用以侦测每一小分区的温度，来调整每一小分区的加热与否。 其中，该腔体的长度介于900-3000mm(公厘)、宽度介于900-3000mm(公厘)。 其中，该直轴区能划出4-10个加热小分区，而横轴区也能划出4-10个加热小分区。其中，该热板对应加热器的数量能够设置16-100个加热小分区。 与现有技术相比，采用上述技术方案的本技术的优点在于:当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时，因为腔体内为一封闭空间，先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，以便于空气进行流通，而位于腔体内的热板，受加热器的加温，使其达到约70-150°C的温度，从而以将玻璃基板进行加热并使光阻内的溶剂挥发，当烘烤一段时间后，该热板会产生些微的温度变化，一般来说，位于热板中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，此时维持热板的均温相当重要，因此本技术刻意设置16至100组加热器，使热板具有16至100个小分区，并利用各自独立的加热器，来调整热板的每一区域的温度加热与否，避免产生加热不均匀的问题，且能针对每一区域的温度进行改善，使加热器投影至热板上相对应的小分区上的温度达到均温，有效提升产品生产良率。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有烘烤玻璃基板的剖面示意图。 图2为本技术的立体图。 图3为本技术的立体分解图。 图4为本技术区域分布的示意图。 图5为本技术的另一实施例图。 图6为本技术烘烤时的剖面示意图。 图7为本技术烘烤时热板的示意图。 图8为本技术加热区域分布的另一实施例图。 附图标记说明:1_基板；11_热板；12-加热器；2_腔体；20-上盖板；201-支撑底板；202-排风P ；203- A P ;21-加热器;22_热板；221~小分区；22a-隐形线；227~直轴区；228_横轴区；23_温度传感器；3_玻璃基板。 【具体实施方式】 下面结合具体实施例来进一步描述本技术，本技术的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但实施例仅是范例性的，并不对本技术的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本技术的精神和范围下可以对本技术技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本技术的保护范围内。 首先，请参阅图2并配合图3所示，其主要由腔体2、加热器21、热板22及温度传感器23所组成，该腔体2为一容槽状，其长度约900-3000mm(公厘)、宽度约900-3000mm(公厘)，位于腔体2底部的支撑底板201向上依序设有加热器21及热板22，使加热器21能够对热板22进行加热，顶端面则利用上盖板20将其封闭而成一加热空间，位于腔体2 —侧设有入口 203，供置入玻璃基板3，而于任一侧边开设有排风口 202，以便于空气流通。 其次，请仍然参阅图3并配合图4所示，该加热器21以复数个相等面积的区域分布在热板22下方，使热板22能投影加热器21的数量形成复数个小分区221，至于小分区221的分配则以直轴区227及横轴区本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光阻预烤炉加热器的多区结构，其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部的支撑底板向上依序设有加热器及热板，该加热器能对该热板进行加热，该腔体的顶端面则利用一上盖板将其封闭成一加热空间，该加热空间仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，其特征在于：该加热器以复数个设置在该热板下方的小分区组成，该小分区能够使该热板能投影该加热器，且该小分区在该热板上划分成相等面积，该小分区的以直轴区及横轴区的隐形线交错产生，使直轴区及横轴区都能分别划出复数个加热小分区，且在该每一小分区内或小分区下方的加热器内设有温度传感器，该温度传感器用以侦测每一小分区的温度，来调整每一小分区的加热与否。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李东明，
申请(专利权)人：李东明，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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