【技术实现步骤摘要】
故障检测系统以及故障检测方法
本专利技术涉及一种能够对操作者没有正常操作温度调节计等控制器这一故障进行检测和预测的故障检测系统以及故障检测方法。
技术介绍
在半导体制造装置中,EES(设备工程系统(EquipmentEngineeringSystem))正向实用阶段过渡。EES是用数据来对半导体制造装置是否正常地发挥功能进行检查,使装置的可靠性、生产效率提高的系统。EES的主要目的是以装置本身为对象的故障检测(FD:FaultDetection)、故障预测(FP:FaultPrediction)(参照非专利文献1)。FD/FP中有装置控制层次、模块层次、子系统层次、I/O设备层次这样的层次化的掌握方法。装置控制层次的FD/FP是基于由主机或操作人员所指示的处理条件,对装置的功能是否在装置规格的允许范围内动作进行监视/检测的FD/FP。模块层次的FD/FP是对由设备或者子系统构成的模块是否能按指示值执行处理进行监视/检测的FD/FP。子系统层次的FD/FP是对由如执行反馈控制那样的多台设备构成的复合系统是否基于若干参数设定稳定地动作进行监视/检测的FD/FP。I/O设备层次的FD/FP是对构成装置的传感器、执行器是否按设计值稳定地动作进行监视/检测的FD/FP。这样,I/O设备层次的主体是传感器及执行器。关于执行器的FD/FP,对于用(0,1)位串的数据(执行器数据)就可以完成的顺序控制性的动作,尤其可以说已处于实用阶段。另一方面,关于传感器的FD/FP,温度、压力、流量等过程量则成为对象数据。关于这些数据,不能说以msec.层次保存全部数据是合理的。因此, ...
【技术保护点】
一种故障检测系统,其特征在于,具有:操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;频率信息处理单元,所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持;以及重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零。
【技术特征摘要】
2013.09.24 JP 2013-1965121.一种故障检测系统,其特征在于,具有:操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;频率信息处理单元,所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持;重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零;警报输出单元,所述警报输出单元在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报;频率信息取得单元,所述频率信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息;重置信号发送单元,所述重置信号发送单元在所述操作频率信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元;频率信息履历存储单元,所述频率信息履历存储单元对由所述频率信息取得单元取得的操作频率信息进行存储;以及判定单元,所述判定单元在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时,输出警报。2.如权利要求1所记载的故障检测系统,其特征在于,所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:变更频率信息,所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率;再变更频率信息,所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率;以及反方向变更频率信息,所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率,且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。3.如权利要求1所记载的故障检测系统,其特征在于,所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:再变更频率信息,所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率;以及反方向变更频率信息,所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率,且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。4.一种故障检测系统,其特征在于,具有:操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;累计信息处理单元,所述累计信息处理单元对示出该设定值操作单元变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持;以及重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零;警报输出单元,所述警报输出单元在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报;累计信息取得单元,所述累计信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息;重置信号发送单元,所述重置信号发送单元在所述操作累计信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元;累计信息履历存储单元,所述累计信息履历存储单元对由所述累计信息取...
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