一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮制造技术

本发明专利技术提供一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上支架上设有两个平行设置的石英棒支架，所述中部支架内侧设有卡塞固定孔。本发明专利技术结构合理，可以解决提篮数量有限、尺寸不兼容问题以及不同规格产品不能同时作业问题；清洗效率大幅度提高，完美解决部分芯片边缘清洗不干净的技术难题，提高产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及LED芯片生产
，具体为一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮。
技术介绍
在现代LED生产制造过程中，某些GaN晶片在匀上光刻胶、蒸镀ITO、沉积SiO2后需要进行化学去胶、蚀刻、腐蚀、正划后侧壁腐蚀等清洗工艺处理，其中GaN晶片在做完正划处理后，需要将划道内的杂质利用3:1溶液(H2SO4：H3PO4＝3：1)高温(280℃)腐蚀处理，将划道内的杂质清洗干净，此时需要将晶片放入石英卡塞中，再将石英卡塞放入石英清洗提篮内，由机械手将清洗提篮运输至特定的化学槽内进行以上多道工序清洗处理，化学处理的主要目的是去除保护胶、ITO、SiO2蚀刻、正划后划道内的等杂物，由于是300℃高温清洗作业，所以必须使用机械手进行作业，而高温清洗作业就需要使用这种专用的石英清洗提篮治具现有国内大部分LED制作行业都是使用同一种结构的石英清洗提篮，虽然提篮外观设计略有不同，但总体整体设计思路都是相同的，即卡塞放入提篮内时，卡塞都是水平放置在清洗提篮内；2、4寸提篮尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，其特征在于：所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上支架上设有两个平行设置的石英棒支架，所述中部支架内侧设有卡塞固定孔。

【技术特征摘要】
1.一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，
其特征在于：所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之
间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架
两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上
支架上设有两个平...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁维才，
申请(专利权)人：合肥彩虹蓝光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34