本发明专利技术涉及半导体集成单路及其制造领域，尤其涉及一种探针保护装置。本发明专利技术提出的一种探针保护装置，在探针卡上设置距离传感器，当探针过度靠近硅片时通过警报装置发送警报以提醒探针操作者停止探针移动的动作，以避免因探针下降过度，造成探针碰到硅片使得探针变形或压断。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及半导体集成单路及其制造领域，尤其涉及一种探针保护装置。本专利技术提出的一种探针保护装置，在探针卡上设置距离传感器，当探针过度靠近硅片时通过警报装置发送警报以提醒探针操作者停止探针移动的动作，以避免因探针下降过度，造成探针碰到硅片使得探针变形或压断。【专利说明】一种探针保护装置
本专利技术涉及半导体集成单路及其制造领域，尤其涉及一种探针保护装置。
技术介绍
现有的手动探针台探针卡没有限制探针下降高度或chuck上升高度的有效措施， 不能防止误操作时探针撞到硅片表面。在此情况下，如果探针下降过度或chuck上升过度， 就有可能发生探针撞到硅片表面，导致探针针尖弯曲变形及硅片出现较深表面划痕的情 况。 中国专利（CN103616008A)记载了一种表面粗糙度仪探针保护装置，涉及表面粗 糙度仪。设有支撑架结构、缓冲端冒结构、探针端部结构；支撑架结构设有支撑架、电磁铁和 控拉弹簧；支撑架左右两侧设有线圈，线圈和电磁铁相连接；电磁铁安装在支撑架底座上； 控位弹簧安装在支撑架的上部中心位置；缓冲端帽结构设有缓冲端帽、小支架；缓冲端帽 设有蝶形槽轨和小支架连接帽；缓冲端帽和支撑架之间通过控位弹簧连接；小支架上设有 支撑脚，小支架安装在缓冲端帽上的小支架连接帽上，小支架与小支架连接帽之间螺接；探 针端部结构设有微型滑轨、检出器、螺母、定位片、中轴、探针，中轴两端设有螺纹；中轴安装 在检出器上，中轴左右两侧安装定位片、微型滑轮、螺母。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术涉及一种探针卡，其特征在于，应用于对放置在承载台上的 硅片进行测试的工艺中，所述探针卡包括： 针座； 探针，固定于所述针座上； 传感器，固定设置在所述针座上，以获取该传感器与所述硅片之间的实时距离； 报警装置，与所述传感器连接； 其中，所述传感器中还预存储有一安全距离，且当所述实时距离小于或等于所述 安全距离时，触发所述报警装置报警。 上述的探针保护装置，其特征在于，所述警报装置通过声音或信号灯进行警报。 上述的探针保护装置，其特征在于，所述传感器为距离传感器。 上述的探针保护装置，其特征在于，所述传感器通过发出辐射波与接收到反射回 来辐射波的时间差计算探针卡与硅片表面的距离。 上述的探针保护装置，其特征在于，探针卡与硅片表面距离计算公式为 d 其中U为辐射波在空气中的传播速度，At为传感器发出辐射波与接收到 辐射波的时间差。 上述的探针卡保护装置，其特征在于，所述警报装置为蜂鸣器。 上述的探针卡保护装置，其特征在于，所述警报装置为LED发光二极管。 综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术提出的一种探针保护装置，在探针卡 上设置距离传感器，当探针过度靠近硅片时通过警报装置发送警报以提醒探针操作者停止 探针移动的动作，以避免因探针下降过度，造成探针碰到硅片使得探针变形或压断。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术结构示意图。 【具体实施方式】 针对目前手动探针台经常会发生误操作，致使探针碰撞到硅片表面，导致导致探 针针尖弯曲变形及硅片出现较深表面划痕的情况。本专利技术涉及一种探针保护装置，主要是 在探针台横梁上安装一传感器，当探针下降的时候，传感器通过发出辐射波与接收到反射 回来辐射波的时间差计算出探针卡与硅片表面的距离，当传感器探测到的距离小于等于预 先设定的安全距离的时候就会发出警报，提醒操作者。 下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】作进一步的说明。 如图1所示为一种手动探针台，包括针座5、横梁4、探针2.本专利技术是一种探针保 护装置，在探针台横梁4上设置一传感器3,当探针2过度靠近硅片1的时候发出警报，当 然，必要的还设置一警报装置（图中未示出）与传感器3通讯连接，预先设定一探针2与硅 片1表面的安全距离，当探针2下降的时候，传感器3将探针2与硅片1表面的距离实时对 t匕，一旦实时距离小于等于安全距离，警报装置即报警，提醒操作者，避免发生误操作，从而 使得探针2碰撞到硅片1表面，将硅片1表面划伤以及探针2针尖弯曲变形。 该报警装置通过声音或者信号灯将报警信息传输出去进行报警，其中传感器3为 距离传感器，该距离传感器通过发出辐射波与接收到反射回来辐射波的时间差计算探针卡 与硅片表面的距离，探针卡与硅片表面距离的计算公式为 【权利要求】1. 一种探针卡，其特征在于，应用于对放置在承载台上的硅片进行测试的工艺中，所述 探针卡包括： 针座； 探针，固定于所述针座上； 传感器，固定设置在所述针座上，以获取该传感器与所述硅片之间的实时距离； 报警装置，与所述传感器连接； 其中，所述传感器中还预存储有一安全距离，且当所述实时距离小于或等于所述安全 距离时，触发所述报警装置报警。2. 根据权利要求1所述的探针保护装置，其特征在于，所述警报装置通过声音或信号 灯进行警报。3. 根据权利要求1所述的探针保护装置，其特征在于，所述传感器为距离传感器。4. 根据权利要求1所述的探针保护装置，其特征在于，所述传感器通过发出辐射波与 接收到反射回来辐射波的时间差计算探针卡与硅片表面的距离。5. 根据权利要求1所述的探针保护装置，其特征在于，探针卡与硅片表面距离计算公 式为d= ·Δ?其中u为辐射波在空气中的传播速度，At为传感器发出辐射波与接 收到辐射波的时间差。6. 根据权利要求2所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述警报装置为蜂鸣器。7. 根据权利要求2所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述警报装置为LED发光二极 管。【文档编号】G01R1/067GK104459230SQ201410697344【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月26日 优先权日:2014年11月26日 【专利技术者】邓娇娇, 尹彬锋, 沈蕾 申请人:上海华力微电子有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种探针卡，其特征在于，应用于对放置在承载台上的硅片进行测试的工艺中，所述探针卡包括：针座；探针，固定于所述针座上；传感器，固定设置在所述针座上，以获取该传感器与所述硅片之间的实时距离；报警装置，与所述传感器连接；其中，所述传感器中还预存储有一安全距离，且当所述实时距离小于或等于所述安全距离时，触发所述报警装置报警。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邓娇娇，尹彬锋，沈蕾，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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