输送装置及具有该输送装置的曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。输送装置将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，输送装置设置有浮动辊，浮动辊位于供给卷轴与卷取卷轴之间，随着长条状工件的输送进行升降，并对长条状工件施加张力，浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，浮动辊在随着长条状工件的输送进行升降的同时，使异物去除单元与长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对长条状工件的一个面进行清扫。

【技术实现步骤摘要】
输送装置及具有该输送装置的曝光装置
本专利技术涉及将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送的、所谓卷对卷方式的输送装置及具有该输送装置的曝光装置。
技术介绍
一般而言，作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底材料，例如使用将厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上的长条状工件(感光性长条膜(在正反的至少一面涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜))设为卷状的工件。作为在这样的长条状工件形成电子电路的装置，公知有所谓的卷对卷方式的装置，该装置具有供给卷轴、卷取卷轴以及位于该供给卷轴与卷取卷轴之间的曝光部，该装置在将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送的同时，通过曝光部在长条状工件的表面曝光出图案。在卷对卷方式的装置中，通常在供给卷轴与曝光部之间设置浮动辊，该浮动辊用于通过对长条状工件施加张力来防止长条状工件产生松弛或褶皱。此外，还在供给卷轴与曝光部之间设置清洁辊，该清洁辊用于通过去除附着在长条状工件表面的异物(灰尘或脏东西)来防止曝光缺陷和显影缺陷(专利文献1、2)。【专利文献1】日本特开2001-125274号公报【专利文献2】日本特开2006-106097号公报但是，本专利技术人发现，该浮动辊和清洁辊有时会相互带来如下的不良影响。例如在专利文献1、2中，在浮动辊与曝光部之间，由清洁辊夹持着长条状工件，因此浮动辊带来的张力调整的效果难以波及至长条状工件的清洁辊之后的部分。因此，在曝光部中，长条状工件产生褶皱或松弛，或者对长条状工件施加过大的张力而使其拉伸，由此期望的图案尺寸产生误差。即，即使设置用于对长条状工件施加张力的浮动辊，其张力调整的效果在曝光部中也未被适当地发挥，因此设置浮动辊的意义显著降低。此外，事实上很难使浮动辊和清洁辊对长条状工件的进给速度严格一致，而且通常浮动辊和清洁辊施加到长条状工件的张力也产生不平衡。因此，长条状工件在输送中弯曲行进，由此长条状工件受到损伤，长条状工件的作业位置(曝光位置)的精度发生偏差，或者长条状工件的卷取精度恶化。并且，由于单独设置有浮动辊、清洁辊以及对它们进行驱动的驱动单元，因此无法避免装置整体的大型化和高成本化。
技术实现思路
本专利技术正是根据以上的问题点而完成的，其目的在于提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。本专利技术人根据现有装置的问题点是由于浮动辊和清洁辊的功能被明确划分成前者进行张力调整且后者进行异物去除这样的认识，着眼于如果对调整长条状工件的张力的浮动辊赋予去除异物的清洁辊的功能，则能够得到克服了上述技术课题的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，从而完成了本专利技术。本专利技术的输送装置在其一个方式中，将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫。也可以是，所述输送装置设置有浮动辊清扫单元，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫。也可以是，所述异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。也可以是，所述异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊以能够与所述浮动辊一体升降的方式设置在所述浮动辊的正上方位置，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊不论所述浮动辊的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。本专利技术的输送装置在另一个方式中，将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，所述输送装置设置有从动辊，该从动辊位于所述浮动辊的下方，与所述浮动辊之间夹持所述长条状工件且随着所述长条状工件的输送而从动于所述浮动辊进行升降，所述从动辊在其外周面形成有异物去除单元，所述从动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的另一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的另一个面进行清扫。也可以是，所述输送装置设置有从动辊清扫单元，该从动辊清扫单元位于所述从动辊的下方，对所述从动辊的外周面进行清扫。也可以是，所述异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，所述从动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述从动辊的下方，所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述从动辊的下降端处接触。也可以是，所述异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，所述从动辊用粘接片辊以能够与所述从动辊一体升降的方式设置在所述从动辊的正下方位置，所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊不论所述从动辊的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。本专利技术的曝光装置的特征在于，该曝光装置具有：上述任意一个输送装置；以及曝光部，其位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，对所述长条状工件的一个面或另一个面曝光出图案。根据本专利技术，能够得到一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。附图说明图1是示出本专利技术第1实施方式的曝光输送装置的整体结构的图。图2是示出本专利技术第1实施方式的张力调整单元的详细结构的图。图3是示出曝光输送装置进行的曝光输送动作的流程图。图4的(A)～图4的(G)是示出曝光输送装置进行的曝光输送动作的第1工序图～第7工序图。图5是示出本专利技术第2实施方式的曝光输送装置的整体结构的图。图6是示出本专利技术第2实施方式的张力调整单元的详细结构的图。标号说明1、1’：曝光输送装置；CV：输送部；EX：曝光部；W：长条状工件；10：供给卷轴；20：供给导辊；30、30’：张力调整单元；31、31’：浮动辊；31A、31A’：粘接层(异物去除单元)；32、32’：从动辊；32A、32A’：粘接层(异物去除单元)；33、33’：浮动辊用粘接片辊(浮动辊清扫单元)；33A：支承台；33B：支承轴；33C：旋转驱动单元；34、34’：从动辊用粘接片辊(从动辊本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫。

【技术特征摘要】
2013.09.06 JP 2013-1846161.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊和浮动辊清扫单元，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫，所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。2.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田政昭，森田亮，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP