【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光加工
，更具体的说，特别涉及一种精密激光扫描加工系统。
技术介绍
激光由于其高亮度、高方向性、高单色性和高相干性的优点，已经广泛应用于科研、国防、工业等国民生产的重要方面。在工业领域，激光加工作为先进制造技术，具有高效、高精度、高质量、范围广、节能环保并能实现柔性加工和超微细加工的优点，在汽车、电子电路、电器、航空航天、钢铁冶金、机械制造等领域得到了广泛的应用，且在某些行业(例如汽车、电子行业等)已经达到较高的水平。对提高产品质量、劳动生产率、自动化、无污染、减少材料消耗等起到愈来愈重要的作用。精密激光切割、激光消除、激光蚀刻等是激光加工中比较常见，应用也比较广泛的一种方式。因为二维振镜扫描速度快，效率高等优点，随着激光精密加工在各个领域的不断发展，采用二维振镜扫描方式进行精密激光加工也被广泛使用。采用二维振镜扫描方式加工，是由平场透镜对光束聚焦，形成焦点，而采用二维扫描振镜控制光束的方向、移动速度，从而控制聚焦焦点在待加工材料上移动，从而进行蚀刻、消除、切割等。为了实现二维扫描振镜精确控制激光束的方向和移动速度等，需要对二维扫描振镜的运动进行控制，为了实现精密扫描加工，需要二维扫描振镜的运动和激光器的发射相关联、相匹配，从而实现精确加工。图1为一种常见的扫描图形的举例，即简单的折线，由A点起，在B点转折，图中转折角度90°，转折角度也可以为其他角度，最后在C点...
【技术保护点】
一种精密激光扫描加工系统，其特征在于：该加工系统包括计算机(1)、二维振镜运动控制卡(2)、X轴振镜电机(7)、Y轴振镜电机(9)、远心扫描透镜(11)、工作平台(14)、平移台x轴电机(15)、平移台y轴电机(16)、平移台x轴驱动器(17)、平移台y轴驱动器(18)、X轴振镜片(19)和Y轴振镜片(20)；其中，待加工材料设置在工作平台(14)上，工作平台(14)由平移台x轴电机(15)和平移台y轴电机(16)驱动沿x轴和y轴移动，远心扫描透镜(11)设置在待加工材料的正上方，X轴振镜片(19)和Y轴振镜片(20)分别设置在X轴振镜电机(7)和Y轴振镜电机(9)上，并位于远心扫描透镜(11)上方；所述计算机(1)根据事先设定的参数，将运动信号发送至二维振镜运动控制卡(2)，并将激光信号发送至激光器(6)，同时还将控制信号发送至平移台x轴驱动器(17)与平移台y轴驱动器(18)；所述激光器(6)根据接收到的激光信号，发射激光光束至X轴振镜片(19)、Y轴振镜片(20)上；所述平移台x轴驱动器(17)与平移台y轴驱动器(18)根据接收到的控制信号驱动平移台x轴电机(15)和平移台y轴电...
【技术特征摘要】
1.一种精密激光扫描加工系统，其特征在于：该加工系统包括计算机
(1)、二维振镜运动控制卡(2)、X轴振镜电机(7)、Y轴振镜电机(9)、
远心扫描透镜(11)、工作平台(14)、平移台x轴电机(15)、平移台y轴
电机(16)、平移台x轴驱动器(17)、平移台y轴驱动器(18)、X轴振镜片
(19)和Y轴振镜片(20)；
其中，待加工材料设置在工作平台(14)上，工作平台(14)由平移台
x轴电机(15)和平移台y轴电机(16)驱动沿x轴和y轴移动，远心扫描
透镜(11)设置在待加工材料的正上方，X轴振镜片(19)和Y轴振镜片(20)
分别设置在X轴振镜电机(7)和Y轴振镜电机(9)上，并位于远心扫描透
镜(11)上方；
所述计算机(1)根据事先设定的参数，将运动信号发送至二维振镜运
动控制卡(2)，并将激光信号发送至激光器(6)，同时还将控制信号发送至
平移台x轴驱动器(17)与平移台y轴驱动器(18)；
所述激光器(6)根据接收到的激光信号，发射激光光束至X轴振镜片
(19)、Y轴振镜片(20)上；
所述平移台x轴驱动器(17)与平移台y轴驱动器(18)根据接收到的
控制信号驱动平移台x轴电机(15)和平移台y轴电机(16)运动；
所述二维振镜运动控制卡(2)根据接收到的运动信号，控制X轴振镜
电机(7)、Y轴振镜电机(9)运动。
2.根据权利要求1所述的精密激光扫描加工系统，其特征在于：所述
加工系统还包括X轴振镜传感器(8)和Y轴振镜传感器(10)；
所述X轴振...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵建涛，肖磊，杨锦彬，宁艳华，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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