【技术实现步骤摘要】
一种线切机改进硅棒底托
本技术涉及线切机的硅棒底托配件领域，尤其是一种线切机改进硅棒底托。
技术介绍
目前金刚线切割大直径硅棒，一般的硅棒底托采用的材料为树脂板，其用于粘接硅棒，但树脂板极易受外部因素影响发生翘曲变形，从而造成硅片粘胶面瑕疵率的提高，且其价格较高，在使用中会造成很大的生产浪费。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种大大减少硅片粘胶面的瑕疵率，提高硅片切割质量的线切机改进硅棒底托。 为了完成上述目的，本技术采用的技术方案是: 一种线切机改进硅棒底托，包括矩形的底托板，在底托板的上表面设置有多个降温槽，降温槽沿底托板的长轴向平行分布，在降温槽内设置有冷却液。 所述的底托板的上表面为表面光滑的平面。 所述的底托板采用矩形的玻璃板制成。 所述的降温槽的槽宽为8mm、槽深为4mm。 在底托板的上表面设置有粘接层。 所述的降温槽组成一个首尾相通的回路结构，降温槽的进口端设置在底板托的一端，降温槽的出口端设置在底板托相对应的另一端。 所述的降温槽的个数为两个，分别为第一降温槽和第二降温槽，第一降温槽和第二降温槽互相平行设置，第一降温槽的进口端设置在底板托的一端，第二降温槽的进口端设置在底板托相对应的另一端。 本技术的有益效果是:由于将底托板采用矩形的玻璃板代替了原有的树脂板，在底托板的上表面设有降温槽并与硅棒面粘接，主要用于减少切割粘胶端的面积，并在降温槽内加装了冷却液降温，冷却液从所开的槽中通过，既降低切割过程中硅棒的温度，又降低了切割成本及瑕疵率。 【附图说明】 图1是本技术的结构示意图。 图2是图1的...
【技术保护点】
一种线切机改进硅棒底托，包括矩形的底托板(1)，其特征在于：在底托板(1)的上表面设置有降温槽(2)，降温槽(2)沿底托板(1)的长轴向平行分布，在降温槽(2)内设置有冷却液；所述的降温槽(2)组成一个首尾相通的回路结构，降温槽(2)的进口端设置在底板托(1)的一端，降温槽(2)的出口端设置在底板托(1)相对应的另一端；所述的降温槽(2)的个数为两个，分别为第一降温槽(2‑1)和第二降温槽(2‑2)，第一降温槽(2‑1)和第二降温槽(2‑2)互相平行设置，第一降温槽(2‑1)的进口端设置在底板托(1)的一端，第二降温槽(2‑2)的进口端设置在底板托(1)相对应的另一端。
【技术特征摘要】
1.一种线切机改进硅棒底托，包括矩形的底托板(I)，其特征在于:在底托板(I)的上表面设置有降温槽(2)，降温槽(2)沿底托板⑴的长轴向平行分布，在降温槽(2)内设置有冷却液；所述的降温槽(2)组成一个首尾相通的回路结构，降温槽(2)的进口端设置在底板托(I)的一端，降温槽(2)的出口端设置在底板托(I)相对应的另一端；所述的降温槽(2)的个数为两个，分别为第一降温槽(2-1)和第二降温槽(2-2)，第一降温槽(2-1)和第二降温槽(2-2)互相平行设置，第一降温槽(2-1)的进口端设置在...
【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，柳丽强，及颜文，颜玉峰，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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