惯性力传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种惯性力传感器，其具备：固定部、与固定部连接的梁部、与梁部的另一端连接且在通过惯性力使梁部变形的同时进行移位的锤部、设置于锤部的导电部、设置于梁部来检测梁部的变形的应变电阻、设置于固定部的第一和第二故障诊断电极、经由梁部来连接第一故障诊断电极与导电部的第一故障诊断布线、以及经由梁部来连接第二故障诊断电极与导电部的第二故障诊断布线。该惯性力传感器即使在锤部发生裂化时也不会持续输出错误的输出信号，具有高可靠性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本技术提供一种惯性力传感器，其具备：固定部、与固定部连接的梁部、与梁部的另一端连接且在通过惯性力使梁部变形的同时进行移位的锤部、设置于锤部的导电部、设置于梁部来检测梁部的变形的应变电阻、设置于固定部的第一和第二故障诊断电极、经由梁部来连接第一故障诊断电极与导电部的第一故障诊断布线、以及经由梁部来连接第二故障诊断电极与导电部的第二故障诊断布线。该惯性力传感器即使在锤部发生裂化时也不会持续输出错误的输出信号，具有高可靠性。【专利说明】惯性力传感器
本技术涉及用在车辆或便携式终端等中来检测加速度或角速度等的惯性力的惯性力传感器。
技术介绍
图19是现有的惯性力传感器501的俯视图。惯性力传感器501是检测加速度的加速度传感器。框部I具有按照包围中空区域2的方式环状地连结的固定部Ia?Id。梁部3?6的各自的一端与框部I连接，朝中空区域2延伸。锤部7从梁部3的另一端起朝着倾斜的方向延伸。锤部8从梁部5的另一端起朝着倾斜的方向延伸出来。锤部9与梁部4的另一端连接。锤部1a与梁部6的另一端连接。在梁部3的上表面设置有应变电阻11。在梁部5的上表面设置有应变电阻13。在梁部4的上表面设置有应变电阻12。在梁部6的上表面设置有应变电阻14。应变电阻11?14通过布线而被电连接并构成了桥接电路。 在现有的惯性力传感器501中，对应于被施加的加速度，锤部7?10在上下方向上移位，对应于该移位，应变电阻11?14的电阻值变化。根据基于这些电阻值的变化而从桥接电路输出的信号来检测加速度。 此外，与惯性力传感器501类似的现有的惯性力传感器例如记载在专利文献I中。 图20是现有的其他的惯性力传感器502的截面图。惯性力传感器502也是检测加速度的加速度传感器。惯性力传感器502具备:固定部201、以及设置于固定部201的上表面的对置基板208。固定部201具有:外框部203、锤部202、以及一端与外框部203连接且另一端与锤部202连接的应变引起部204。对置基板208按照与锤部202对置的方式与外框部203连接。惯性力传感器502具备:形成于锤部202的上表面的自我诊断用电极207、以及设置于对置基板208的下表面的对置电极206。对置电极206空出给定的空隙与自我诊断用电极207对置。 在该构成中，通过对自我诊断用电极207与对置电极206之间施加电压Vd来对锤部202赋予静电力Fd，能仿佛像加了加速度似地使锤部202移位。由此，惯性力传感器502能确认是否在正常地发挥功能。 与惯性力传感器502类似的现有的惯性力传感器例如记载在专利文献2中。 在先技术文献 专利文献 专利文献I JP特开2007-85800号公报 专利文献2 JP特开平5-322925号公报
技术实现思路
惯性力传感器具备:固定部、与固定部连接的梁部、与梁部的另一端连接且在通过惯性力使梁部变形的同时进行移位的锤部、设置于锤部的导电部、设置于梁部来检测梁部的变形的应变电阻、设置于固定部的第一和第二故障诊断电极、经由梁部来连接第一故障诊断电极与导电部的第一故障诊断布线、以及经由梁部来连接第二故障诊断电极与导电部的第二故障诊断布线。 该惯性力传感器即使在锤部发生裂化时也不会持续输出错误的输出信号，具有高可靠性。 【专利附图】【附图说明】 图1是实施方式I中的惯性力传感器的俯视图。 图2是实施方式I中的惯性力传感器的俯视图。 图3是实施方式I中的惯性力传感器的俯视图。 图4A是实施方式I中的惯性力传感器的俯视图。 图4B是实施方式I中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 图4C是实施方式I中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 图4D是实施方式I中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 图5是实施方式I中的惯性力传感器的电路图。 图6是表示实施方式I的惯性力传感器中的故障诊断电路的输出电压的图。 图7是实施方式2中的惯性力传感器的俯视图。 图8是实施方式2中的惯性力传感器的电路图。 图9是实施方式3中的惯性力传感器的俯视图。 图10是图9所示的惯性力传感器的线10-10处的截面图。 图1lA是实施方式3中的惯性力传感器的示意图。 图1lB是实施方式3中的惯性力传感器的示意图。 图12是实施方式3中的惯性力传感器的电路图。 图13是比较例的惯性力传感器的俯视图。 图14是实施方式4中的惯性力传感器的俯视图。 图15是图14所示的惯性力传感器的线15-15处的截面图。 图16A是实施方式4中的惯性力传感器的俯视图。 图16B是实施方式4中的惯性力传感器的电路图。 图16C是实施方式4中的惯性力传感器的电路图。 图16D是实施方式4中的惯性力传感器的电路图。 图17A是表示实施方式4中的惯性力传感器动作的俯视图。 图17B是表示实施方式4中的惯性力传感器动作的电路图。 图17C是表示实施方式4中的惯性力传感器动作的电路图。 图17D是表示实施方式4中的惯性力传感器动作的俯视图。 图17E是表示实施方式4中的惯性力传感器动作的俯视图。 图18是实施方式4中的其他的惯性力传感器的俯视图。 图19是现有的惯性力传感器的俯视图。 图20是其他的现有的惯性力传感器的截面图。 【具体实施方式】 (实施方式I) 图1是实施方式I中的惯性力传感器1001的俯视图。惯性力传感器1001是对作为被施加的惯性力的加速度进行检测的加速度传感器。惯性力传感器1001具备:框部20 ；与框部20连接的梁部23a?26a，23b?26b ；以及与梁部23a?26a，23b?26b连接且经由梁部23a?26a，23b?26b而与框部20连接的锤部27?30。框部20具有按照包围中空区域22的方式以矩形环形状连结的固定部21a?21d，固定部21a，21b形成框部20的矩形环形状的彼此对置的对边，固定部21c，21d形成框部20的矩形环形状的彼此对置的另一对边。梁部23a?26a，23b?26b从框部20起朝中空区域22延伸。梁部23a，23b各自的一端与框部20的固定部21a连接。梁部24a，24b各自的一端与框部20的固定部21b连接。梁部25a，25b各自的一端与框部20的固定部21c连接。梁部26a，26b各自的一端与框部20的固定部21d连接。 锤部27与梁部23a，23b各自的另一端连接。锤部28与梁部24a，24b各自的另一端连接。锤部29与梁部25a，25b各自的另一端连接。锤部30与梁部26a，26b各自的另一端连接。锤部27基于作为被施加的惯性力的加速度而在使梁部23a，23b变形的同时进行移位。锤部28基于加速度而在使梁部24a，24b变形的同时进行移位。锤部29基于加速度而在使梁部25a，25b变形的同时进行移位。锤部30基于加速度而在使梁部26a，26b变形的同时进行移位。在梁部23a，23b的上表面分别设置有应变电阻31a，31b。另外，在梁部25a，25b的上表面分别设置有应变电阻33a，33b。在梁部24a，24b的上表面分别设置有应变电阻32a，32b。在梁部26a，26b的上表面分别设置有应变电阻34a，34b。梁部23a本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种惯性力传感器，检测被施加的惯性力，具备： 第一固定部； 第一梁部，其具有与所述第一固定部连接的一端、以及另一端； 第一锤部，其与所述第一梁部的所述另一端连接，在通过所述惯性力使所述第一梁部变形的同时进行移位； 第一导电部，其设置于所述第一锤部； 第一应变电阻，其设置于所述第一梁部，检测所述第一梁部的变形； 第一故障诊断电极，其设置于所述第一固定部； 第二故障诊断电极，其设置于所述第一固定部； 第一故障诊断布线，其经由所述第一梁部来连接所述第一故障诊断电极与所述第一导电部；和 第二故障诊断布线，其经由所述第一梁部来连接所述第二故障诊断电极与所述第一导电部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：今中崇，相泽宏幸，横田武志，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP