一种前进音MEMS麦克风制造技术

技术编号:10978032 阅读:154 留言:0更新日期:2015-01-30 14:16
本实用新型专利技术提供了一种前进音MEMS麦克风,其包括:MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间,金属线连接所述MEMS芯片和所述ASIC芯片,所述MEMS芯片固定在所述外壳顶端内壁上,所述MEMS芯片外侧与所述外壳和所述电路板之间形成背腔;音孔开设在所述MEMS芯片内侧所对的所述壳体上,所述音孔与所述MEMS芯片内侧之间形成前腔;导连件的顶端固定在所述外壳上,底端设有焊盘且固定在所述电路板上,所述导连件通过所述金属线实现所述MEMS芯片、所述ASIC芯片和所述电路板之间的导通。本实用新型专利技术提供的前进音MEMS麦克风,背腔体积相对大,是一种能够提供相对高信噪比的MEMS麦克风。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种前进音MEMS麦克风,其包括:MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间,金属线连接所述MEMS芯片和所述ASIC芯片,其特征在于,所述MEMS芯片固定在所述外壳顶端内壁上,所述MEMS芯片外侧与所述外壳和所述电路板之间形成背腔;音孔开设在所述MEMS芯片内侧所对的所述壳体上,所述音孔与所述MEMS芯片内侧之间形成前腔;导连件的顶端固定在所述外壳上,底端设有焊盘且固定在所述电路板上,所述导连件通过所述金属线实现所述MEMS芯片、所述ASIC芯片和所述电路板之间的导通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万景明刘志永
申请(专利权)人:山东共达电声股份有限公司
类型:新型
国别省市:山东;37

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