具有实时控制机制的喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种具有实时控制机制的喷涂装置，其包括：一储料容器、一自动定量连续加料装置、一均匀喷涂组件、一调压器以及至少一传感器。所述自动定量连续加料装置用以将一喷涂材料添加至储料容器中。所述均匀喷涂组件用以将储料容器中的喷涂材料喷出。调压器将一气体源所供应的一气体经由加压管路以及控制器输送至储料容器中，以对储料容器中的喷涂材料加压。本实用新型专利技术所提供的喷涂装置将传感器所量测的喷涂材料输送物理量的信息传送给控制器，再透过控制器根据传感器所回馈的信息实时地调整对储料容器中的喷涂材料所施加的压力。

【技术实现步骤摘要】
具有实时控制机制的喷涂装置
本技术关于一种喷涂装置，特别关于一种在半导体制程中用于进行喷涂制程，并且能够根据经过阀体的喷涂材料量实时地调整其所施配的喷涂材料量的具有实时控制机制的喷涂装置。
技术介绍
喷涂装置为在半导体制程中经常使用的装置，其主要功能用于将一喷涂材料喷洒至半导体中的晶圆上，以进行半导体制程中的喷涂制程。现有的喷涂装置主要包括用于容置喷涂材料的储料容器、将喷涂材料添加置储料容器中的加料装置，以及用于将喷涂材料喷出至晶圆上的均匀喷涂组件。 在进行喷涂制程时，由于每个批次(run-to-run)结束后喷涂装置的参数皆会改变，因此，一般来说业界中会针对每个批次的执行状况，例如在每个批次中喷涂装置所喷洒的喷涂材料量进行量测，以在喷涂装置执行下个批次的喷涂制程前进行相对应参数的调整，以维持喷涂制程的质量。现有的喷涂装置仅能在各个批次结束后才能将所量测的信息回馈给计算机主机，而计算机主机也必须等待各个批次结束收到量测信息后才能进行相对应的计算，并将相对应的控制命令传送给其它组件，因此，上述的作业方式拉长了现有的喷涂装置在各个喷涂制程中的运作时间；有些现有的喷涂装置甚至只有监控的功能，无法进行自动回馈控制。另外，在现有的喷涂装置中，必须以人工的方式先将喷涂材料以正确的比例混合完成后再补充至加料装置中，使得喷涂材料的补充过程较耗时耗力，导致产量降低。
技术实现思路
基于上述理由，本技术的目的在于提供一种具有实时控制机制的喷涂装置，其可以对流经均匀喷涂组件的喷涂材料量进行监控并且及时将监控信息回馈给控制器，以调整喷涂装置所施配的喷涂材料量。 本技术的另一目的在于提供一种喷涂装置，其具有一自动定量连续加料装置，能够大幅节省替换喷涂材料的时间，藉此提高产量。 本技术的再一目的在于提供一种喷涂装置，其中的均匀喷涂组件具有可替换针头的设计，藉此增加喷涂的变化度以及维修时的方便性。 为达成前述目的，本技术提供一种具有实时控制机制的喷涂装置，其包括:一储料容器、一自动定量连续加料装置、一均匀喷涂组件、一调压器以及至少一传感器。所述储料容器具有一输出端以及一输入端。所述自动定量连续加料装置经由一加料管路连接于储料容器的输入端，用以将一喷涂材料添加至储料容器中。所述均匀喷涂组件经由一进料管路与储料容器的输出端连接，藉此将储料容器中的喷涂材料喷出。所述调压器经由一加压管路与储料容器的输入端连接。加压管路中设置有一控制器，调压器将一气体源所供应的一气体经由加压管路以及控制器输送至储料容器中，以对储料容器中的喷涂材料加压。所述至少一传感器用以量测该喷涂装置中输送的该喷涂材料的一物理量。其中，至少一传感器将所量测的物理量的信息传送给控制器，控制器根据至少一传感器所回馈的信息实时地调整对储料容器中的喷涂材料所施加的压力。 根据本技术的一实施例，喷涂装置进一步包括一循环机制。循环机制包括:一回流管路，其两端分别连接于均匀喷涂组件以及储料容器；以及一供料装置，与回流管路连接，用以将残余在均匀喷涂组件中的喷涂材料从均匀喷涂组件经由回流管路送回至储料容器中。 根据本技术的一实施例，喷涂装置进一步包括一第一传感器。第一传感器可以设置于进料管路中，用以量测从储料容器输送至均匀喷涂组件的喷涂材料的物理量；或者，第一传感器可以设置于回流管路中，用以量测循环机制所回收的喷涂材料的物理量。 根据本技术的一实施例，喷涂装置进一步包括一第一传感器以及一第二传感器。第一传感器设置于进料管路中，用以量测从该储料容器输送至该均匀喷涂组件的该喷涂材料的物理量。第二传感器设置于回流管路中，用以量测该循环机制所回收的喷涂材料的物理量。 根据本技术的一实施例，所述自动定量连续加料装置包括:一混料单元以及一溶剂供给单元。所述混料单元透过一螺杆阀连接至储料容器的输入端，藉此将一原料经由螺杆阀输送至储料容器中。所述溶剂供给单元透过一质流量控制器连接至储料容器的输入端，用以将一溶剂经由质流量控制器供给至储料容器中。其中，储料容器中设置有一储料容器搅拌装置，储料容器透过储料容器搅拌装置将原料以及溶剂均匀搅拌混合成为喷涂材料。较佳地，混料单元中设置有一混料单元搅拌装置，以将原料在混料单元中搅拌均匀。 根据本技术的一实施例，所述均匀喷涂组件进一步包括:一雾化盖体、一喷头主体、一针头以及一进气管。所述雾化盖体具有彼此连通的一容置空间、一气室、一喷口以及一进气通道。所述喷头主体具有一进料腔室以及与进料腔室联通的一穿孔。喷头主体容置于雾化盖体的容置空间中，且喷头主体透过进料腔室与进料管路连接。所述针头是可拆卸地穿设于穿孔中并且穿过气室以及喷口。所述进气管设置于进气通道中，以经由气室对喷口加压。其中，喷涂材料经由进料管路被输送至喷头主体，在流经针头后由喷口雾化喷出。均匀喷涂组件的针头的一端可以配置为自喷口突出于雾化盖体的一端或者可以配置为与雾化盖体的端面切齐；另外，针头的端可以配置为内缩于雾化盖体的喷口中。 【附图说明】 图1为显示根据本技术第一实施例的具有实时控制机制的喷涂装置的方块图； 图2为显示根据本技术第二实施例的喷涂装置的方块图； 图3为显示根据本技术第三实施例的喷涂装置的方块图； 图4为显示本技术各个实施例中所使用的自动定量连续加料装置的方块示意图； 图5A为显示本技术各个实施例中所使用的均匀喷涂组件的一第一示例的剖视图； 图5B为显示本技术各个实施例中所使用的均匀喷涂组件的一第二示例的剖视图；以及 图5C为显示本技术各个实施例中所使用的均匀喷涂组件的一第三示例的剖视图。 其中，附图标记说明如下: 10 储料容器 11 输入端 12 输出端 20 自动定量连续加料装置 21 加料管路 25 混料单元 251螺杆阀 26 溶剂供给单元 261质流量控制器 30、30a、30b、30c 均匀喷涂组件 31 进料管路 33 雾化盖体 331容置空间 332 气室 333 喷口 334进气通道 341进料腔室 342 穿孔 34 喷头主体 35a、35b、35c 针头 36 进气管 41 调压器 42 加压管路 43 控制器 44 气体源 51 第一传感器 52 第二传感器 60 循环机制 61 回流管路 62 供料装置 【具体实施方式】 以下配合图式及附图标记对本技术的实施方式做更详细的说明，使熟悉本领域的技术人员在研读本说明书后能据以实施。 图1为显示根据本技术第一实施例的具有实时控制机制的喷涂装置的方块图。如图1所示，本技术第一实施例中所提供的喷涂装置，包括了:一储料容器10、一自动定量连续加料装置20、一均匀喷涂组件30、一调压器41、一第一传感器51以及一循环机制60。 所述储料容器10具有一输出端11以及一输入端12。所述自动定量连续加料装置20经由一加料管路21连接至储料容器10的输入端11，用以将一喷涂材料添加至储料容器10中。所述均匀喷涂组件30经由一进料管路31与储料容器10的输出端12连接，藉此将被输送至储料容器10中的喷涂材料喷洒至一目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有实时控制机制的喷涂装置，包括：一储料容器，具有一输出端以及一输入端；一自动定量连续加料装置，经由一加料管路连接于该储料容器的该输入端，用以将一喷涂材料添加至该储料容器中；一均匀喷涂组件，经由一进料管路与该储料容器的该输出端连接，藉此将该储料容器中的该喷涂材料喷出；一调压器，经由一加压管路与该储料容器的该输入端连接，该加压管路中设置有一控制器，该调压器将一气体源所供应的一气体经由该加压管路以及该控制器输送至该储料容器中，以对该储料容器中的该喷涂材料加压；以及至少一传感器，用以量测该喷涂装置中输送的该喷涂材料的一物理量；其特征在于，该至少一传感器实时地将所量测的该物理量的信息传送给该控制器，该控制器根据该至少一传感器所回馈的信息实时地调整对该储料容器中的该喷涂材料所施加的压力。

【技术特征摘要】
1.一种具有实时控制机制的喷涂装置，包括: 一储料容器，具有一输出端以及一输入端； 一自动定量连续加料装置，经由一加料管路连接于该储料容器的该输入端，用以将一喷涂材料添加至该储料容器中； 一均匀喷涂组件，经由一进料管路与该储料容器的该输出端连接，藉此将该储料容器中的该喷涂材料喷出； 一调压器，经由一加压管路与该储料容器的该输入端连接，该加压管路中设置有一控制器，该调压器将一气体源所供应的一气体经由该加压管路以及该控制器输送至该储料容器中，以对该储料容器中的该喷涂材料加压；以及 至少一传感器，用以量测该喷涂装置中输送的该喷涂材料的一物理量； 其特征在于，该至少一传感器实时地将所量测的该物理量的信息传送给该控制器，该控制器根据该至少一传感器所回馈的信息实时地调整对该储料容器中的该喷涂材料所施加的压力。2.根据权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，进一步包括一第一传感器，该第一传感器设置于该进料管路中，用以量测从该储料容器输送至该均匀喷涂组件的该喷涂材料的物理量。3.根据权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，进一步包括一循环机制，该循环机制包括: 一回流管路，其两端分别连接于该均匀喷涂组件以及该储料容器；以及一供料装置，与该回流管路连接，用以将残余在该均匀喷涂组件中的该喷涂材料从该均匀喷涂组件经由该回流管路送回至该储料容器中。4.根据权利要求3所述的喷涂装置，其特征在于，进一步包括一第一传感器，该第一传感器设置于该回流管路中，用以量测该循环机制所回收的该喷涂材料的物理量。5.根据权利要求3所述的喷涂装置，其特征在于，进一步包括: 一第一传感器，设置于该进料管路中，用以量测从该储料容器输送至该均匀喷涂组件的该喷涂材料的物理量；以及 一第二传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：林武郎，周明源，郭子玮，甘东昇，方建利，郑煌玉，吕学礼，郭明伦，
申请(专利权)人：技鼎股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71