【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蒸发源装置,设于一真空腔室内,用于向一基板上蒸镀薄膜,所述蒸发源装置包括:蒸发器,用于蒸发放置于其中的蒸镀材料,该蒸发器包括:筒体,固定安装于所述真空腔室内;以及筒座,可滑动地配合于所述筒体内壁;以及至少一升降器,连接于所述筒座,用于驱动所述筒座沿着所述筒体滑动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨红领,龚智豪,李潍萌,
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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