处理设备制造技术

本发明专利技术的处理设备构成为在由容器支撑体支撑着容器的状态下，容器侧接合面与支撑体侧接合面接合，供给孔或者排出孔与连通孔连通，容器侧接合面是至少连通孔的周围平坦地形成，支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种处理设备，具备：容器，收容收容物；容器支撑体，对前述容器以与设定位置对位的状态从下方进行支撑；容器侧连接部，设在前述容器的底部，具有能够使容器内空间与外部之间连通的连通孔；以及支撑体侧连接部，设在前述容器支撑体上，具备用于进行气体向前述容器内空间供给的供给孔或者用于进行气体从前述容器内空间排出的排出孔；在前述容器由前述容器支撑体支撑的载置状态下，作为前述容器侧连接部的下表面的容器侧接合面与作为前述支撑体侧连接部的上表面的支撑体侧接合面接合，前述供给孔或者前述排出孔与前述连通孔连通。
技术介绍
作为这种处理设备的一例有如下构成的净化设备，即：在收容半导体晶片的FOUP等容器由容器支撑体支撑的载置状态下，防止容器内收容的半导体晶片的汚损地进行净化气体向容器内空间供给、或者污染气体从容器内空间排出（例如参照日本国特开2010－147451号公报（专利文献1））。在专利文献1的净化设备中，支撑体侧连接部在上端部具备俯视为圆形的给排气用的给排孔，在该给排孔的周围，形成有越远离该给排孔越朝向下方的侧视为直线状的倾斜面。而且，作为容器侧连接部，具备将容器内空间与外部连通的连通孔和弹性部件制的密封部，该密封部设在连通孔的周围，形成为载置状态下侧视时以多点与支撑体侧连接部的倾斜面相接的形状。因此，在载置状态下，因容器侧连接部的密封部侧视时以多点与支撑体侧连接部的倾斜面抵接、并且密封部因容器的自重被支撑体侧连接部推压而变形，能够密封成净化气体等气体不从支撑体侧连接部与容器侧连接部的接合部向外部漏出。在如上述专利文献1那样构成容器侧连接部以及支撑体侧连接部的情况下，需要将容器侧连接部的密封部形成为载置状态下侧视时以多点与倾斜面抵接的形状，容器侧连接体的结构复杂。为此，考虑将支撑体侧接合面上供给孔或者排出孔的周围以及容器侧接合面上连通孔的周围均形成平坦面，将支撑体侧连接体以及容器侧连接部形成为在载置状态下容器侧连接部的平坦面部与支撑体侧连接体的平坦面部为面接触的状态。但是，在这种结构中，由于支撑体侧连接部与容器侧连接部的接触面积大，所以使容器为长时间载置状态的情况下，支撑体侧连接体与容器侧连接部将相互吸附，在为了使容器从容器支撑体向别的处理用部位移动等而解除载置状态的情况下，担心发生在支撑体侧连接体或者容器侧连接部的一方或者双方施加过大的力而变形等不良情况。为此，希望实现容器侧连接体的结构简洁，并且能够抑制支撑体侧连接部与容器侧连接部吸附的事态发生的处理设备。
技术实现思路
本专利技术所涉及的处理设备具备：容器，收容收容物，容器支撑体，对前述容器以与设定位置对位的状态从下方进行支撑；容器侧连接部，设在前述容器的底部，具有能够将容器内空间与外部之间连通的连通孔；支撑体侧连接部，设在前述容器支撑体上，具备用于进行气体向前述容器内空间供给的供给孔或者用于进行气体从前述容器内空间排出的排出孔；在此，在前述容器由前述容器支撑体支撑的载置状态下，作为前述容器侧连接部的下表面的容器侧接合面与作为前述支撑体侧连接部的上表面的支撑体侧接合面接合，前述供给孔或者前述排出孔与前述连通孔连通；前述容器侧接合面是至少前述连通孔的周围平坦地形成，前述支撑体侧接合面为随着离开前述供给孔或者前述排出孔而逐渐朝向下方的形状。根据该结构，在容器由容器支撑体支撑的载置状态下，容器侧接合面与支撑体侧接合面成为供给孔或者排出孔与连通孔的连通部分的周围接合的状态，能够密封成气体不从支撑体侧连接部与容器侧连接部的接合部向外部漏出。此时，由于支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状，所以成为越离开供给孔或排出孔与连通孔的连通部分，则容器侧接合面与支撑体侧接合面越分离的状态。因此，能够减小容器侧接合面与支撑体侧接合面接合的面积，即使由容器支撑体长时间支撑容器，也能够抑制支撑体侧连接体与容器侧连接部吸附的事态。这样，能够实现使容器侧连接体的结构简洁，并且能够抑制支撑体侧连接体与容器侧连接部吸附的事态发生的处理设备。以下，对本专利技术的优选实施方式的例子进行说明。在本专利技术所涉及的处理设备的实施方式中，优选前述支撑体侧接合面为沿着球面的形状。根据该结构，由于支撑体侧接合面为沿着球面的形状，所以在供给孔或者排出孔与连通孔的连通部分的周围，支撑体侧接合面与容器侧接合面接近。另外，作为比较例，在例如支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者前述排出孔而直线状地朝向下方的形状的情况下，容器侧接合面与支撑体侧接合面的接合部分留有在供给孔或者排出孔与连通孔的连通部分的周围形成径向的厚度小的环状。相对于此，在支撑体侧接合面形成为沿着球面的形状的情况下，与上述比较例的情况相比，能够增大容器侧接合面与支撑体侧接合面的接合部分的径向的厚度。因此，能够恰当地密封成气体不从支撑体侧连接部与容器侧连接部的接合部向外部漏出。在本专利技术所涉及的处理设备的实施方式中，优选在前述支撑体侧连接部与前述容器支撑体之间夹有弹性部件，前述支撑体侧连接部由弹性系数比前述弹性部件大的材质构成。根据该结构，由于在为载置状态时弹性部件弹性变形，所以能够使容器支撑体稳定地支撑容器，并且使容器侧接合面与支撑体侧接合面恰当地接合。而且，在载置状态下容器振动的情况下，通过弹性部件弹性变形，能够维持容器侧接合面与支撑体侧接合面接合的状态。这样，通过弹性部件弹性变形，能够恰当地密封成气体不从支撑体侧连接部与容器侧连接部的接合部向外部漏出。在本专利技术所涉及的处理设备的实施方式中，优选在前述支撑体侧连接部的周围设有将该支撑体侧连接部向水平方向以及上下方向的移动限制在预先限定的范围内的限制部件。根据该结构，通过将支撑体侧连接部以将其向水平方向以及上下方向的移动限制在预先限定的范围内的状态安装在容器支撑体上，能够允许支撑体侧连接部仅向上下方向移动弹性部件的变形量，并且将支撑体侧连接部恰当地安装成不从俯视时的容器支撑体的规定位置移动。在本专利技术所涉及的处理设备的实施方式中，优选前述支撑体侧连接部具有：顶部，形成俯视为圆形，具有前述支撑体侧接合面；缩径部，直径比前述顶部小、比前述供给孔或者前述排出孔大，与前述顶部的下方邻接地形成；以及脚部，直径比前述缩径部大，与前述缩径部的下方邻接地形成，前述限制部件具备形成为厚度比前述缩径部的上下方向尺寸薄的插入部，前述插入部设成位于与前述缩径部重合的高度，并且俯视时与前述顶部以及前述脚部双方重合。根据该结构，由于插入部的上下方向尺寸形成为厚度比缩径部的上下方向尺寸薄，所以能够允许支撑体侧连接部向上下方向仅移动相当于插入部的上下方向尺寸与缩径部的上下方向尺寸的差的上下方向尺寸量。而且，由于插入部为上下方向插入顶部与脚部之间的状态，所以能够限制支撑体侧连接部向上下方向的移动，将支撑体侧连接部恰当地安装在容器支撑体上。因此，能够将支撑体侧连接部以限制了向上下方向的移动，并且允许弹性部件弹性变形时的移动的形态安装在容器支撑体上。在本专利技术所涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理设备，具备：容器，收容收容物，容器支撑体，对前述容器以与设定位置对位的状态从下方进行支撑；容器侧连接部，设在前述容器的底部，具有能够将容器内空间与外部之间连通的连通孔；支撑体侧连接部，设在前述容器支撑体上，具备用于进行气体向前述容器内空间供给的供给孔或者用于进行气体从前述容器内空间排出的排出孔；在此，在前述容器由前述容器支撑体支撑的载置状态下，作为前述容器侧连接部的下表面的容器侧接合面与作为前述支撑体侧连接部的上表面的支撑体侧接合面接合，前述供给孔或者前述排出孔与前述连通孔连通；前述处理设备的特征在于，前述容器侧接合面是至少前述连通孔的周围平坦地形成，前述支撑体侧接合面为随着离开前述供给孔或者前述排出孔而逐渐朝向下方的形状。

【技术特征摘要】
2013.06.26 JP 2013-1342641.一种处理设备，具备：
容器，收容收容物，
容器支撑体，对前述容器以与设定位置对位的状态从下方进行支撑；
容器侧连接部，设在前述容器的底部，具有能够将容器内空间与外部之间连通的连通孔；
支撑体侧连接部，设在前述容器支撑体上，具备用于进行气体向前述容器内空间供给的供给孔或者用于进行气体从前述容器内空间排出的排出孔；
在此，在前述容器由前述容器支撑体支撑的载置状态下，作为前述容器侧连接部的下表面的容器侧接合面与作为前述支撑体侧连接部的上表面的支撑体侧接合面接合，前述供给孔或者前述排出孔与前述连通孔连通；
前述处理设备的特征在于，
前述容器侧接合面是至少前述连通孔的周围平坦地形成，
前述支撑体侧接合面为随着离开前述供给孔或者前述排出孔而逐渐朝向下方的形状。
2.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，
前述支撑体侧接合面为沿着球面的形状。
3.如权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：大塚洋，河村真辅，吉本忠浩，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP