惰性气体供给设备及惰性气体供给方法技术

本发明专利技术提供惰性气体供给设备及惰性气体供给方法。第1控制装置在判定为第2控制装置成为不能输出动作指令的状态的情况下，执行基于由第2控制装置最后输出的动作指令使惰性气体供给部动作的继续动作处理。进而，第1控制装置在继续动作处理的执行中判定为满足停止条件的情况下，将继续动作处理中止，执行使惰性气体供给部停止的动作停止处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及惰性气体供给设备以及使用这样的惰性气体供给设备的惰性气体供给方法，所述惰性气体供给设备具备收存容器的收存部、向收存在上述收存部中的上述容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部、控制上述惰性气体供给部的第1控制装置、和将规定了上述惰性气体的供给状态的动作指令对上述第1控制装置输出的第2控制装置。
技术介绍
作为上述那样的惰性气体供给设备，已知有下述设备：例如如在专利文献1（特开2010－16199号公报）中记载那样，为了防止收容在容器内部的收容物（例如半导体基板等）的污损，进行向容器内部供给惰性气体（例如氮等）的净化处理。在这样的惰性气体供给设备中，可以考虑做成以下这样的结构。即做成以下的结构：在对新运入的容器开始净化处理的最初，为了将存在于容器内部的惰性气体以外的气体（例如水蒸汽或氧等）尽量快速地置换为惰性气体，第2控制装置对第1控制装置输出将惰性气体的供给流量规定为比规定流量大的初期净化用的流量的动作指令，第1控制装置基于该动作指令控制惰性气体供给部。此外，做成以下的结构：第2控制装置在通过将由上述初期净化用的流量进行的净化处理继续规定时间而容器内部的惰性气体成为规定浓度后，为了将容器内的惰性气体的浓度维持为一定的浓度，对第1控制装置输出使惰性气体的供给流量为比初期净化用的流量小的保管净化用的流量的动作指令，第1控制装置基于该动作指令控制惰性气体供给部。在上述专利文献1中，第2控制装置输出调整惰性气体的供给流量的动作指令，但可能有下述情况：例如因第2控制装置故障、或第2控制装置与第1控制装置之间的连线断线等的理由，第2控制装置成为不能输出切换惰性气体的供给流量的动作指令的状态。虽然在专利文献1中没有记载，但可以考虑构成为：第1控制装置以从第2控制装置输出的动作指令为触发事件，进行惰性气体供给部的供给流量的切换，在接收到下次的动作指令之前的期间中，基于前次的动作指令使惰性气体供给部动作。在此情况下，如果如上述那样第2控制装置成为不能输出动作指令的状态，则第1控制装置继续基于由第2控制装置最后输出的动作指令控制惰性气体供给部的状态。但是，在这样的结构中，在使惰性气体供给部的供给流量为大流量的状态下不能从第2控制装置输出动作指令的情况下，然后即使成为应使惰性气体的供给流量为小流量的时机，也不能切换供给流量，惰性气体被过量供给到设备内。因此，有可能发生空气中的惰性气体的浓度上升（或空气中的氧浓度相对下降）、或将昂贵的惰性气体白白消耗等的不良状况。
技术实现思路
所以，要求实现一种在上位的控制装置不能输出动作指令的状态下继续向容器的惰性气体的供给的情况下、能够尽量避免因不切换惰性气体的供给流量带来的不良状况的惰性气体供给设备。有关本专利技术的惰性气体供给设备，具备：收存部，收存容器；惰性气体供给部，向收存在上述收存部中的上述容器的内部供给惰性气体；第1控制装置，控制上述惰性气体供给部；和第2控制装置，对上述第1控制装置输出规定了上述惰性气体的供给状态的动作指令；这里，上述第1控制装置具备：状态判定部，判定上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态；条件判定部，判定是否满足预先决定的停止条件；和处理执行部，执行用来控制上述惰性气体供给部的动作的处理；上述处理执行部在由上述状态判定部判定为上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态的情况下，执行基于由上述第2控制装置最后输出的上述动作指令使上述惰性气体供给部动作的继续动作处理；上述处理执行部还在上述继续动作处理的执行中由上述条件判定部判定为满足上述停止条件的情况下，将上述继续动作处理中止，执行使上述惰性气体供给部停止的动作停止处理。根据上述结构，在第2控制装置成为不能输出动作指令的状态的情况下，第1控制装置基于由第2控制装置最后输出的动作指令使惰性气体供给部动作。因此，能够不停止而继续向容器的惰性气体的供给，能够避免在应对该容器的内部供给惰性气体的情况下不供给惰性气体的事态。但是，例如有容器被从收存部移动到其他地方的情况等、继续由第2控制装置最后输出的动作指令在然后变得不适当的情况。所以，通过如上述那样，即使在不停止而继续惰性气体的供给的状态下，在满足停止条件的情况下也使惰性气体供给部的动作停止，能够避免下述事态：基于第2控制装置成为不能输出动作指令的状态后继续变得不适当的动作指令，使惰性气体供给部动作。这样，在上位的控制装置不能输出动作指令的状态下继续向容器的惰性气体的供给的情况下，能够尽量避免因不切换惰性气体的供给流量带来的不良状况。有关本专利技术的惰性气体供给设备的技术特征对于惰性气体供给方法也适用，本专利技术可以将这样的方法也作为权利的对象。在该惰性气体供给方法中，也能够得到有关上述惰性气体供给设备的作用效果。即，有关本专利技术的惰性气体供给方法，是使用惰性气体供给设备的方法，所述惰性气体供给设备具备：收存部，收存容器；惰性气体供给部，向收存在上述收存部中的上述容器的内部供给惰性气体；第1控制装置，控制上述惰性气体供给部；和第2控制装置，对上述第1控制装置输出规定了上述惰性气体的供给状态的动作指令；上述惰性气体供给方法包括由上述第1控制装置执行的以下的工序：状态判定工序，判定上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态；条件判定工序，判定是否满足预先决定的停止条件；和处理执行工序，执行用来控制上述惰性气体供给部的动作的处理；这里，在上述处理执行工序中，在由上述状态判定工序判定为上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态的情况下，执行基于由上述第2控制装置最后输出的上述动作指令使上述惰性气体供给部动作的继续动作处理；在上述处理执行工序中，还在上述继续动作处理的执行中由上述条件判定工序判定为满足上述停止条件的情况下，将上述继续动作处理中止，执行使上述惰性气体供给部停止的动作停止处理。以下，对本专利技术的优选的实施方式的例子进行说明。在有关本专利技术的惰性气体供给设备的实施方式中，优选的是，设有多个上述收存部；在上述多个收存部中，分别独立地设有上述惰性气体供给部；上述第2控制装置输出关于上述多个惰性气体供给部的各自的上述动作指令；上述第1控制装置基于关于上述多个惰性气体供给部的各自的上述动作指令，分别独立地控制上述惰性气体供给部。即，第2控制装置能够按照在多个收存部中分别独立地设置的惰性气体供给部输出动作指令，第1控制装置能够基于关于多个惰性气体供给部的各自的动作指令，分别独立地控制惰性气体供给部。因此，能够对在多个收存部的各自中收存的容器以不同的供给状态供给惰性气体。在有关本专利技术的惰性气体供给设备的实施方式中，优选的是，上述收存部设在与外部区划开的保管室的内部；上述第1控制装置与计测上述保管室内部的气体的特定成分的浓度的浓度计测装置通信自如地连接；上述停止条件是由上述浓度计测装置计测的上述浓度从基准状态脱离。即，在保管室内部的气体的特定成分的浓度从基准状态脱离的情况下，能够将继续动作处理中止，使惰性气体供给部停止。所谓保管室内部的气体的特定成分的浓度从基准状态脱离的情况本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种惰性气体供给设备，具备：收存部，收存容器；惰性气体供给部，向收存在上述收存部中的上述容器的内部供给惰性气体；第1控制装置，控制上述惰性气体供给部；和第2控制装置，对上述第1控制装置输出规定了上述惰性气体的供给状态的动作指令；其特征在于，上述第1控制装置具备：状态判定部，判定上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态；条件判定部，判定是否满足预先决定的停止条件；和处理执行部，执行用来控制上述惰性气体供给部的动作的处理；上述处理执行部在由上述状态判定部判定为上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态的情况下，执行基于由上述第2控制装置最后输出的上述动作指令使上述惰性气体供给部动作的继续动作处理；上述处理执行部还在上述继续动作处理的执行中由上述条件判定部判定为满足上述停止条件的情况下，将上述继续动作处理中止，执行使上述惰性气体供给部停止的动作停止处理。

【技术特征摘要】
2013.06.26 JP 2013-1342711.一种惰性气体供给设备，具备：
收存部，收存容器；
惰性气体供给部，向收存在上述收存部中的上述容器的内部供给惰性气体；
第1控制装置，控制上述惰性气体供给部；和
第2控制装置，对上述第1控制装置输出规定了上述惰性气体的供给状态的动作指令；
其特征在于，
上述第1控制装置具备：状态判定部，判定上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态；条件判定部，判定是否满足预先决定的停止条件；和处理执行部，执行用来控制上述惰性气体供给部的动作的处理；
上述处理执行部在由上述状态判定部判定为上述第2控制装置成为不能输出上述动作指令的状态的情况下，执行基于由上述第2控制装置最后输出的上述动作指令使上述惰性气体供给部动作的继续动作处理；
上述处理执行部还在上述继续动作处理的执行中由上述条件判定部判定为满足上述停止条件的情况下，将上述继续动作处理中止，执行使上述惰性气体供给部停止的动作停止处理。
2.如权利要求1所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
设有多个上述收存部；
在上述多个收存部中，分别独立地设有上述惰性气体供给部；
上述第2控制装置输出关于上述多个惰性气体供给部的各自的上述动作指令；
上述第1控制装置基于关于上述多个惰性气体供给部的各自的上述动作指令，分别独立地控制上述惰性气体供给部。
3.如权利要求1或2所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
上述收存部设在与外部区划开的保管室的内部；
上述第1控制装置与计测上述保管室内部的气体的特定成分的浓度的浓度计测装置通信自如地连接；
上述停止条件是由上述浓度计测装置计测的上述浓度从基准状态脱离。
4.如权利要求1或2所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
在上述收存部中，设有检测收存有上述容器的存货状态和没有收存上述容器的非存货状态的存货状态检测装置；
上述第1控制装置与上述存货状态检测装置通信自如地连接；
上述停止条件是由上述存货状态检测装置检测到上述非存货状态。
5.如权利要求1或2所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
上述第1控制装置具备判别自己是否故障的自己故障诊断功能；
上述停止条件是由上述自己故障诊断功能判别为故障。
6.如权利要求1～5中任一项所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
上述惰性气体供给部是调节向收存在上述收存部中的上述容器供给的上述惰性气体的流量的流量调节装置；
上述惰性气体供给设备还具备：
中间控制装置，对上述流量调节装置输出流量控制指令，控制上述流量调节装置；和
上位控制装置，对上述中间控制装置输出上位指令；
上述上位控制装置具备：监视部，监视上述流量调节装置的动作状态；和指令输出部，基于由上述监视部监视的上述流量调节装置的动作状态，对上述中间控制装置输出上述上位指令；
上述第1控制装置是上述中间控制装置；
上述第2控制装置是上述上位控制装置；
上述动作指令是上述上位指令。
7.如权利要求1～5中任一项所述的惰性气体供给设备，其特征在于，
上述惰性气体供给部是调节向收存在上述收存部中的上述容器供给的上述惰性气体的流量的流量调节装置；
上述惰性气体供给设备还具备：
中间控制装置，对上述流量调节装置输出流量控制指令，控制上述流量调节装置；和
上位控制装置，对上述中间控制装置输出上位指令；
上述上位控制装置具备：监视部，监视上述流量调节装置的动作状态；和指令输出部，基于由上述监视部监视的上述流量调节装置的动作状态，对上述中间控制装置输出上述上位指令；
上述第1控制装置是上述流量调节装置；
上述第2控制装置是上述中间控制装置；
上述动作指令是上述流量控制指令。
8.一种惰性气体供给方法，使用惰...

【专利技术属性】
技术研发人员：进武士，西川直，高原正裕，上田俊人，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP