真空清洗装置制造方法及图纸

本申请的真空清洗装置(100)，具备：蒸气室(200)，其生成碳化氢类清洗剂的蒸气；凝结室(120)；第1热交换器(310)，其在凝结室中由蒸气和热介质进行热交换；清洗室(102)，其能够利用在凝结室(120)中生成的凝结清洗剂来在减压下清洗工件；压缩机(340)，其将由第1热交换器加热的热介质绝热压缩并进一步加热；第2热交换器(320)，其在蒸气室中由通过压缩机而加热的热介质与碳化氢类清洗剂进行热交换；以及减压部(350)，其使由第2热交换器冷却的热介质减压膨胀而进一步冷却。由减压部冷却的热介质送回至第1热交换器，由此，热介质循环于第1热交换器、压缩机、第2热交换器、减压部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空清洗装置
本专利技术涉及将碳化氢类清洗剂的蒸气供给至处于减压下的清洗室并清洗工件的 真空清洗装置。 本申请基于2012年4月25日在日本申请的日本特愿2012-100312号而主张优先 权，将其内容引用于此。
技术介绍
-直以来，例如，已知专利文献1所示的真空清洗装置。依据该真空清洗装置，首 先，进行由真空泵对工件所被搬入的蒸气清洗干燥室进行减压的减压工序，随后，进行将碳 化氢类清洗剂的蒸气供给至蒸气清洗干燥室并清洗工件的蒸气清洗工序。接着，进行这样 的喷雾浸渍清洗工序：将碳化氢类清洗剂以雾状喷射至工件或使工件浸渍在存积于浸渍室 的碳化氢类清洗剂，尤其是，清洗在蒸气清洗工序中清洗不充分的工件的间隙等。如果这样 地完成工件的清洗，则当再次将工件搬送至蒸气清洗干燥室之后，进行将蒸气清洗干燥室 进一步减压而使附着于工件表面的清洗剂蒸发的干燥工序。然后，如果干燥工序结束，则在 使蒸气清洗干燥室恢复至大气压之后，将工件搬出，一系列的工序结束。 在这样的真空清洗装置中，已使用的碳化氢类清洗剂（附着于工件的污染物和碳 化氢类清洗剂，以下，称为已使用的清洗剂）运送至蒸气室而再生。如果具体地说明，则运 送至蒸气室的已使用的清洗剂由电加热器等加热，由此，实质上成为仅碳化氢类清洗剂的 蒸气（蒸馏）。然后，所生成的仅碳化氢类清洗剂的蒸气再次在蒸气清洗工序中被利用，或 者，在通过利用冷却水的冷却器而凝结之后，在喷雾浸渍清洗工序中被利用。 可是，在专利文献1的技术中，在蒸气室中为了生成碳化氢类清洗剂的蒸气而利 用的热被冷却器回收而抛弃。另外，为了将蒸气冷却，需要200L/min左右这样的大量的冷 却水，还需要贮水槽、冷却塔等，因而装置大型化。 于是，公开了这样的技术：在大气压的蒸气清洗装置中，由以水（液体）作为热介 质的第1热交换部将在蒸气清洗干燥室中产生的蒸气状态的已使用的清洗剂冷却，通过间 接地回收第1热交换部所得到的热的第2热交换部的2个阶段而进行热交换，将水（液体） 所得到的显热供给至蒸气室（例如，专利文献2)。 现有技术文献 专利文献1 :日本特开平7-166385号公报； 专利文献2 :日本特公平3-31113号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题 可是，在专利文献2的技术中，第1热交换部利用水的显热而回收已使用的清洗剂的 热，或通过间接地回收第1热交换部所得到的热的第2热交换部的2个阶段而进行热交换， 因而与利用热介质的潜热的情况相比较，热的回收效率低至1/10至1/100左右。因此，为 了由第1热交换部充分地回收热，必须增大第1热交换部与第2热交换部的接触面积，热交 换器大型化。因此，如果单将专利文献2的技术适用于真空清洗装置，则存在装置本身的占 有体积变大的可能性。 本专利技术的目的是，提供能够不使装置本身大型化就效率良好地回收在蒸气室中利 用的热的真空清洗装置。 用于解决课题的方案 为了解决上述课题，本专利技术的真空清洗装置所涉及的第一方式，具备：蒸气室，生成碳 化氢类清洗剂的蒸气；凝结室，连接至所述蒸气室；第1热交换器，在所述凝结室中由从所 述蒸气室导入的蒸气和热介质进行热交换，从而将所述蒸气凝结而成为碳化氢类清洗剂， 并且，将所述热介质加热；清洗室，能够利用从所述凝结室供给的经凝结的碳化氢类清洗剂 来在减压下清洗工件；压缩机，将由所述第1热交换器加热的热介质绝热压缩并进一步加 热；第2热交换器，在所述蒸气室中由通过所述压缩机而加热的热介质与所述碳化氢类清 洗剂进行热交换，从而使所述碳化氢类清洗剂气化而生成蒸气，并且，将所述热介质冷却； 以及减压部，使由所述第2热交换器冷却的热介质减压膨胀而进一步冷却，其中，由所述减 压部冷却的热介质送回至所述第1热交换器，由此，所述热介质循环于所述第1热交换器、 所述压缩机、所述第2热交换器、所述减压部。 另外，在前述第一方式中，也可以是，所述减压部由膨胀阀构成。 另外，在前述第一方式中，也可以是，所述减压部由利用被所述第2热交换器冷却 的热介质而旋转的涡轮构成，所述压缩机通过所述涡轮的旋转动力而辅助驱动。 另外，在前述第一方式中，也可以是，具备由流通于所述第1热交换器及所述压缩 机之间的热介质和流通于所述第2热交换器及所述减压部之间的热介质进行热交换的第3 热交换器。 另外，在前述第一方式中，也可以是，所述碳化氢类清洗剂是第3石油类的清洗 剂。 专利技术的效果 依据本专利技术，能够不使装置本身大型化就效率良好地回收在蒸气室中利用的热。 【附图说明】 图1是用于说明本专利技术的实施方式所涉及的真空清洗装置的概念图。 图2是说明本专利技术的实施方式所涉及的真空清洗装置的处理工序的流程图。 图3是用于说明本专利技术的变形例的真空清洗装置的概念图。 图4是用于说明本专利技术的变形例的真空清洗装置的概念图。 【具体实施方式】 以下，参照附图，同时，对本专利技术的合适的实施方式详细地进行说明。所涉及的实 施方式所示的尺寸、材料、其他具体的数值等只不过是用于使专利技术的理解变得容易的举例 说明，除了特别地讲明的情况以外，都不限定本专利技术。此外，在本说明书和附图中，对实质上 具有相同的功能、构成的要素标记相同的符号，由此，省略重复说明，另外，与本专利技术无直接 关系的要素省略图示。 (真空清洗装置100) 图1是用于说明真空清洗装置100的概念图。如该图所示，真空清洗装置100具备在 内部设有清洗室102的真空容器104。在该真空容器104,形成有开口 104a，能够通过开闭 门106而将开口 104a开闭。因此，在清洗工件W时，将开闭门106开放并将工件W从开口 104a搬入清洗室102内且载置于载置部108，并且，在将开闭门106关闭并清洗工件W之后， 再次将开闭门106开放，将工件W从开口 104a搬出。 而且，在上述的清洗室102,设有淋浴部110。淋浴部110经由蒸气供给管114、凝 结室120、凝结清洗剂供给管122、清洗剂存积部124、凝结清洗剂供给管126而连接至蒸气 室 200。 蒸气室200具备加热器202和第2热交换器320,将碳化氢类清洗剂（溶剂）加热 至例如8(T14(TC左右，优选120°C左右，生成碳化氢类清洗剂的蒸气（以下，简称为蒸气）。 在蒸气室200中生成的蒸气经由蒸气供给管114而导入凝结室120。 凝结室120具备第1热交换器310,导入凝结室120的蒸气由第1热交换器310冷 却，凝结成液体的碳化氢类清洗剂（以下，简称为凝结清洗剂）。然后，凝结清洗剂在经由凝 结清洗剂供给管122而存积于清洗剂存积部124之后，经由凝结清洗剂供给管126和淋浴 部110而供给至清洗室102。后面对基于第1热交换器310的冷却机构和基于第2热交换 器320的加热机构进行详细阐述。 另外，在真空容器104内，设有配置于清洗室102的下方的浸渍室130。在该浸渍 室130,存积有工件W能够完全地浸渍的量的碳化氢类清洗剂（液体），设有用于加热该碳 化氢类清洗剂的加热器130a。另外，在清洗室102与浸渍室130之间设有中间门140,通过 该中间门140而使得清洗室102与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空清洗装置，其特征在于，具备：蒸气室，其生成碳化氢类清洗剂的蒸气；凝结室，其连接至所述蒸气室；第1热交换器，其在所述凝结室中由从所述蒸气室导入的蒸气和热介质进行热交换，从而将所述蒸气凝结而成为碳化氢类清洗剂，并且，将所述热介质加热；清洗室，其能够利用从所述凝结室供给的经凝结的碳化氢类清洗剂来在减压下清洗工件；压缩机，其将由所述第1热交换器加热的热介质绝热压缩并进一步加热；第2热交换器，其在所述蒸气室中由通过所述压缩机而加热的热介质与所述碳化氢类清洗剂进行热交换，从而使所述碳化氢类清洗剂气化而生成蒸气，并且，将所述热介质冷却；以及减压部，其使由所述第2热交换器冷却的热介质减压膨胀而进一步冷却，由所述减压部冷却的热介质送回至所述第1热交换器，由此，所述热介质循环于所述第1热交换器、所述压缩机、所述第2热交换器、所述减压部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.04.25 JP 2012-1003121. 一种真空清洗装置，其特征在于， 具备：蒸气室，其生成碳化氢类清洗剂的蒸气；凝结室，其连接至所述蒸气室；第1热交 换器，其在所述凝结室中由从所述蒸气室导入的蒸气和热介质进行热交换，从而将所述蒸 气凝结而成为碳化氢类清洗剂，并且，将所述热介质加热；清洗室，其能够利用从所述凝结 室供给的经凝结的碳化氢类清洗剂来在减压下清洗工件；压缩机，其将由所述第1热交换 器加热的热介质绝热压缩并进一步加热；第2热交换器，其在所述蒸气室中由通过所述压 缩机而加热的热介质与所述碳化氢类清洗剂进行热交换，从而使所述碳化氢类清洗剂气化 而生成蒸气，并且，将所述热介质冷却；以及减压部，其使由所述第2热交换器冷却的热介 质减压膨胀而进一步冷却， 由所述减压部冷却的热介质送回至所述第1热交换器，由此，所述热介质循环于所述 第1热交换器、所述压缩机、所述第2热交换器、所述减压部。2. 根据权利要求1所述的真空清洗装置，其特征在于，所述减压部由膨胀阀构成。3. 根据权利要求1所述的真空清洗装置，其特征在于， 所述减压部由利用被所...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田淳，茂垣康弘，平田哲也，三好一雄，松田至康，平本升，
申请(专利权)人：株式会社IHI，IHI机械系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP