提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，防止两个电极焊盘间的短路。振动片是石英振动片(1)，其在支撑臂(23)的下表面设置有第1、第2电极焊盘(37、38)，在第1与第2电极焊盘(37、38)之间，以在平面视图中与支撑臂(23)的两主面(上下表面)重叠的方式设置有切口部(18a、18b)，该振动片的特征在于，切口部(18a、18b)从支撑臂(23)的+X轴方向的侧面(20a)起朝－X轴方向切入并延伸，并具有与X轴大致垂直的第1面(19c、19d)，和具有在+X轴方向上延伸的第1、第2倾斜面(19a、19b)的倾斜部。
【技术实现步骤摘要】
振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。
技术介绍
在HDD (Hard Disk Drive:硬盘驱动器)、移动计算机、或者IC卡等小型信息设备，以及移动电话、智能手机、或者平板终端等移动通信设备等中，作为提供定时信号和同步信号的器件，广泛使用了振子和振荡器等电子器件。 一直以来，作为振子和振荡器，公知有在封装中收纳振动片的振子和振荡器(例如，参照专利文献I)。在专利文献I所公开的振动片中，为了缩短振动片的全长来实现小型化而具有:基部；从基部以彼此平行的方式排列并延伸的两个振动臂；以及从基部起延伸并位于两个振动臂之间的支撑臂。此外，在各振动臂上，在构成外周的4个面的各个面配置有电极，各电极经由设置于支撑臂侧面的布线图案与排列设置于支撑臂的一个主面的彼此不同极的两个电极焊盘中的任意一个连接。这种振动片在所述两个电极焊盘的部分，经由导电性粘接剂被固定于封装，且与封装侧的电极电连接。 所述各电极、所述布线图案以及所述两个电极焊盘使用光刻技法和湿蚀刻技法形成。 但是，对于在支撑臂的侧面成膜的金属中的不需要区域的金属，即便使用光刻技法和湿蚀刻技法有时也不能完全去除。在专利文献I所公开的振动片中，产生不能去除要去除的金属、特别是布线图案中的要作为不同极而分离的区域的金属的不良情况。即，支撑臂的侧面大致沿着石英的Z晶轴相对于主面大致垂直地形成，因此在该侧面的图案形成中，产生在曝光工序中不能对设置于成膜的金属表面的抗蚀剂膜进行良好感光，不能如目标那样削除要去除的区域的金属的不良情况，结果要去除的金属不能去除而残留于所述支撑臂的侧面，由此无法将布线图案电分离为不同极，结果存在两个电极焊盘间短路的问题。 因此，在专利文献2中记载了如下技术:通过形成具有倾斜面的缺口，去除形成于振动片的规定侧面的布线图案中的要电分离的区域的金属。 在将专利文献2所记载的技术思想应用到形成于支撑臂侧面的布线图案的电分离时，预测图14所示那样的形状。第2实施方式的支撑臂23a在设置于支撑臂23a的下表面的第1、第2电极焊盘37、38之间的上表面具有切口部118a。切口部118a从支撑臂23a的+X轴方向的侧面120a起朝一 X轴方向延伸，并如图14(b)所示，具有与X轴大致垂直的侧面119c、和在+X轴方向上延伸的倾斜面119a。 【专利文献I】日本特开2006- 345519号公报 【专利文献2】日本特开2004- 072609号公报 但是，如图14所示，缺口的斜面的进深变深，因此存在为了确保强度而结果必须在宽度方向上增大支撑臂，难以小型化的问题。
技术实现思路
本专利技术正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。 [应用例I]本应用例的振动片是包含以下部分的石英振动片:基部；一对振动臂，它们从所述基部的端部起朝第I方向延伸，并在与所述第I方向垂直的第2方向上排列；支撑臂，其从所述基部的所述端部起朝第I方向延伸，并配置在所述一对振动臂之间，所述振动片的特征在于，所述支撑臂包含:切口部，其在所述支撑臂的+X轴侧的侧面朝向一 X轴方向切入，且从一 X轴侧朝向+X轴侧延伸，所述切口部包含凸状的倾斜部，所述凸状的倾斜部包含随着朝向+X轴方向而从Z轴的一 Z轴侧朝+Z轴侧倾斜的第I倾斜面、和从+Z轴侧朝一 Z轴侧倾斜的第2倾斜面；彼此不同极的第I电极焊盘和第2电极焊盘；以及第I引出电极和第2引出电极，它们设置于与石英的X晶轴交叉的侧面中的+X轴侧的侧面，所述第I引出电极与所述第I电极焊盘连接，所述第2引出电极与所述第2电极焊盘连接，所述第I引出电极和所述第2引出电极在所述切口部处是不导通的。 根据本应用例，能够得到具有第I倾斜面和第2倾斜面的进深较浅的切口部，因此能够实现小型化。 [应用例2]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述第I倾斜面和所述第2倾斜面断续地倾斜。 根据本应用例，能够减小切口部的沿着Z轴方向的面在Z轴方向的长度，因此容易对沿着Z轴方向的面进行曝光。 [应用例3]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述切口部配置于平面视图中的所述第I电极焊盘与所述第2电极焊盘之间、以及所述支撑臂的末端与所述第I电极焊盘之间中的至少任意一处。 根据本应用例，存在能够使两个电极焊盘间更可靠地断线的效果。 [应用例4]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，在平面视图中，所述第I倾斜面与所述第2倾斜面重叠。 根据本应用例，存在能够使两个电极焊盘间更可靠地断线、实现小型化的效果。 [应用例5]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述切口部的沿着Y晶轴方向的长度LI为5 μ m以上500 μ m以下。 根据本应用例，通过将切口部的沿着Y晶轴方向的长度LI设为5μπι以上500μπι以下的范围，具有在使两个电极焊盘间断线的同时实现小型化的效果。 [应用例6]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述LI为20μ m以上100 μ m以下。 根据本应用例，通过将切口部的沿着Y晶轴方向的长度LI设为20 μ m以上100 μ m以下的范围，具有实现进一步的小型化的效果。 [应用例7]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述切口部的沿着所述X晶轴方向的长度Wl为5μπι以上300μπι以下。 根据本应用例，通过将切口部的沿着X晶轴方向的长度Wl设为5μπι以上300μπι以下的范围，具有在使两个电极焊盘间可靠断线的同时实现小型化的效果。 [应用例8]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述Wl为10μ m以上50 μ m以下。 根据本应用例，通过将切口部的沿着X晶轴方向的长度Wl设为1ym以上50μπι以下的范围，具有实现进一步的小型化的效果。 [应用例9]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，在所述支撑臂上设置有多个所述切口部。 根据本应用例，通过在支撑臂上设置具有倾斜部的多个切口部，能够更可靠地去除支撑臂的侧面的电极，因此具有能够防止两个电极焊盘间的短路的效果。 [应用例10]本应用例的振子的特征在于，该振子具有:上述应用例所述的振动片；以及收纳有所述振动片的容器。 根据本应用例，通过将振动片收纳到容器，能够防止温度变化、湿度变化等干扰的影响和污染的影响，因此有能够得到频率再现性、频率温度特性、Cl温度特性和频率时效特性优异的振子的效果。 [应用例11]本应用例的电子器件的特征在于，该电子器件具有:上述应用例所述的振动片；以及电路。 根据本应用例，电子器件通过实现了小型化的振动片和激励振动片的振荡电路等构成，因此有能够得到具有稳定的振荡特性的小型电子器件的效果。 [应用例12]本应用例的电子设备的特征在于，该电子设备具有上述应用例所述的振动片。 根据本应用例，采用了小型的振动片，因此有如下效果:可构成具备小型电子器件的电子设备，该小型电子器件具有稳定的振荡特性。 [应用例13]本应用例的移动体的特征在于，该移动体具有上述应用例所述的振动片。 根据本应用例，能够使用具有小型的振动片、且频率再现性和频率时效特性优异的小型振子，因此存在如下效果:本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种振动片，其是包含以下部分的石英振动片：基部；一对振动臂，它们从所述基部的端部起朝第1方向延伸，并在与所述第1方向垂直的第2方向上排列；支撑臂，其从所述基部的所述端部起朝所述第1方向延伸，并配置在所述一对振动臂之间，所述振动片的特征在于，所述支撑臂包含：切口部，其在所述支撑臂的+X轴侧的侧面朝向－X轴方向切入，且从－X轴侧朝向+X轴侧延伸，所述切口部包含凸状的倾斜部，所述凸状的倾斜部包含随着朝向+X轴方向而从Z轴的－Z轴侧朝+Z轴侧倾斜的第1倾斜面、和从+Z轴侧朝－Z轴侧倾斜的第2倾斜面；彼此不同极的第1电极焊盘和第2电极焊盘；以及第1引出电极和第2引出电极，它们设置于与石英的X晶轴交叉的侧面中的+X轴侧的侧面，所述第1引出电极与所述第1电极焊盘连接，所述第2引出电极与所述第2电极焊盘连接，所述第1引出电极和所述第2引出电极在所述切口部处是不导通的。
【技术特征摘要】
2013.06.24 JP 2013-1319351.一种振动片，其是包含以下部分的石英振动片: 基部; 一对振动臂，它们从所述基部的端部起朝第I方向延伸，并在与所述第I方向垂直的第2方向上排列； 支撑臂，其从所述基部的所述端部起朝所述第I方向延伸，并配置在所述一对振动臂之间， 所述振动片的特征在于， 所述支撑臂包含: 切口部，其在所述支撑臂的+X轴侧的侧面朝向一 X轴方向切入，且从一 X轴侧朝向+X轴侧延伸，所述切口部包含凸状的倾斜部，所述凸状的倾斜部包含随着朝向+X轴方向而从Z轴的一 Z轴侧朝+Z轴侧倾斜的第I倾斜面、和从+Z轴侧朝一 Z轴侧倾斜的第2倾斜面；彼此不同极的第I电极焊盘和第2电极焊盘；以及 第I引出电极和第2引出电极，它们设置于与石英的X晶轴交叉的侧面中的+X轴侧的侧面，所述第I引出电极与所述第I电极焊盘连接，所述第2引出电极与所述第2电极焊盘连接， 所述第I引出电极和所述第2引出电极在所述切口部处是不导通的。2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第I倾斜面和所述第2倾斜面断续地倾斜。3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述切口部配置于平面视图中...
【专利技术属性】
技术研发人员：山田明法，吉田周平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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